PCW系统简介--课件

按一下以編輯母片標題樣式,按一下以編輯母片本文樣式,第二層,第三層,第四層,第五層,ppt课件,*,-CONFIDENTIAL-,PCW,系统简介,1,ppt课件,PCW系统简介1ppt课件,内容提要,PCW,维护,四,.,PCW,组成,三,.,PCW,架构,二,.,PCW,定义,一,.,PCW,异常教训,五,.,2,ppt课件,内容提要PCW 维护四.PCW 组成三.PCW 架构二.PC,一、,PCW,定义,物体的热量一般在空气中以对流,传导,辐射三种方式在空气进行冷却；,热传递基本公式：,=KA,T,:,散热量,K:,导热系数,A:,传热面积,T:,温度差,当机台发热量大或温度管控精度高时：在空气中散热就满足不了设备要求,;,3,ppt课件,一、PCW定义 物体的热量一般在空气中以对流,传导,辐射,PCW,Heat Exchanger,热交换器,Hot Side,高温侧流体,Cold Side,低温侧流体,空气,冰水,水,油,发热源,PCW:,P,rocess,C,ooling,W,ater,制程冷却水英文缩写,;,液体冷却,:,热导系数大,液体,温度低,容易控制且在低温在工厂易实现,;,4,ppt课件,PCWHeat ExchangerHot SideCold,PCW,机理：通过水的流动实现热量在不同介质的热量交换；,二、,PCW,架构,Pressurized,Pump,水泵,Heated,COG,区,Cooled,Heat Exchanger,热交换器,Chilled Water,冰水,Tank,桶槽,补水,排水,Filter,过滤器,实验室,Heated,T,温度传感器,压力传感器,P,P,背压阀,P,背压阀,PCW,架构：桶槽，水泵，热交换器，过滤器及水调节设备组成,5,ppt课件,PCW机理：通过水的流动实现热量在不同介质的热量交换；,三、,PCW,设备介绍,1,、,水泵：,是输送液体并使之增压的机械,;,容积泵：利用其工作室容积的变化来传递能量；,隔膜泵,力量强劲但流量不均,常见的废水厂的隔膜泵：,按工作原理可分为容积泵和叶片泵；,6,ppt课件,三、PCW设备介绍1、水泵：是输送液体并使之增压的机械;容,叶片泵：利用回转叶片与水的相互作用来传递能量；常见的离心泵,离心泵,叶轮高速旋转产生的离心力将流道里的水甩向四周，压入到出口，这样叶轮入口形成真空，水池的水在大气压力下被吸入补充这个空间。继而吸入的水又被叶轮甩出进入出水管。离心泵叶轮不断旋转，则可连续吸水、压水，将水增压流动；,离心泵出水量大且稳定,;,7,ppt课件,叶片泵：利用回转叶片与水的相互作用来传递能量；常见的离心泵离,水泵,按安装方式分为立式和卧式泵：,、结构简单，方便维修；,卧式,立式,、扬程高,(,出水压力大,),；,卧式与立式泵在性能上是相同的,卧式泵,立式泵,轴封位置,轴封位置,、轴封不易损坏；,、流量大,;,、直接安装在管道上,占地少；,8,ppt课件,水泵按安装方式分为立式和卧式泵：、结构简单，方便维,对于我们公司的,PCW,系统,:,1,机台多,且需要稳定连续的冷却水供应，选用的是离心泵；,2,受机房空间限制，只能选择是立式泵；,9,ppt课件,对于我们公司的PCW系统:1,机台多,且需要稳定连续的冷却,水泵的选型,、,流量,Q:,单位时间内输送出去的液体量；单位为,L/S,m/h;,、,扬程,H:,液体从泵中获得的动量,即能达到的高度，单位为,kgf.m/kgf,；,、,功率,P,和效率,:,电动机传到泵轴上的功率,P,与液体在泵中获得的能量的比为效率，用,表示,;,效率曲线,0.85-0.95,调整阀件开度,来改变泵的出水特性,10,ppt课件,水泵的选型、流量Q:单位时间内输送出去的液体量；单,、,必需汽蚀余量,NPSH,：,液体从泵吸入口流至叶片进口压力最低处的压力降；,NPSHr,越小泵抗气蚀能力越强,;,汽蚀：离心泵运转中,液体压力沿着泵入口到叶轮入口而下降，在叶片入口附近压力,Pk,最低。此后由于叶轮对液体作功，液体压力很快上升。当压力,pK,小于液体输送温度下的饱和蒸汽压力,pv,时，液体就汽化。同时，使溶解在液体内的气体逸出。它们形成许多汽泡。当汽泡随液体流到叶道内压力较高处时，外面的液体压力高于汽泡内的汽化压力，则汽泡又重新凝结溃灭形成空穴，瞬间内周围的液体以极高的速度向空穴冲来，造成液体互相撞击，对金属表面因冲击疲劳而剥裂。,泵壳,叶轮,气泡,11,ppt课件,、必需汽蚀余量NPSH：汽蚀：离心泵运转中,液体压力沿着泵,选用,NPSH,小的泵浦,在安装时减少进口侧耳弯头,阀件使进水管通畅，,抬高进水压力，保证水管气密可有效减少气蚀的发生；,正常叶轮,叶轮,水泵壳体,气蚀产生振动和噪音,;,气泡的馈灭使液体打击金属表面,造成对金属表面剥裂,;,汽泡大量产生,会堵塞流道,使泵的流量、扬程、效率等均明显下降。,12,ppt课件,选用NPSH小的泵浦,正常叶轮叶轮水泵壳体气蚀产生振动和噪音,2,、,热交换器：,将系统负荷端产的热量通过热交换，传至冰水系统中；,管式交换器,板式交换器,按传热面的形状与结构来看，有管式和板式交换器；,厂区冰机,厂区冷热水交换,13,ppt课件,2、热交换器：将系统负荷端产的热量通过热交换，传至冰水系统中,PCW,采用的是板式热交换器：,冰水下进上出，,PCW,上进下出，,使冰水尽量带走热量，充分进行热交换，并保证,PCW,出水温度稳定；,侧面,板换与管路用橡塑材料,保温隔热处理,正面,冰,水,进,冰,水,回,P,C,W,进,P,C,W,回,14,ppt课件,PCW采用的是板式热交换器：冰水下进上出，PCW上进下,3,、,过滤器：,过滤水中的固态微粒；选用的重点在于滤网滤径,;,将,PCW,送至机台前进行过滤，减少污染物影响制程；,外壳材料为不锈钢制作，滤芯材质为聚丙烯滤芯；,滤芯滤径为,50m,；,PCW IN,PCW OUT,PCW IN,PCW OUT,PCW OUT,15,ppt课件,3、过滤器：过滤水中的固态微粒；选用的重点在于滤网滤径;,4,、,桶槽,:,提供循环管路回水的暂存，或当补充水中断后暂时供系统提供用水；,也是管路中空气排放重要场所；,材质一般为,FRP,（玻璃纤维强化塑料）或不锈钢制成；,安装在泵的进水口，保证进水的稳定；或制程机台相对低点；,因制程机台的不同需求，需要水质较好的水源供给（,RO,，,DI,水等）；,DI,补水,PCWR,PCWS,安全阀,逸流管,排水阀,16,ppt课件,4、桶槽:提供循环管路回水的暂存，或当补充水中断后暂时供系统,5,、,背压阀：,它的功能实现在阀门前形成一定的压力，压力一般可以调节,；,液体进入阀门后被膜片阻挡，于是液体对膜片产生向上的压力。当压力足够大时，弹簧被压缩，流体顶起膜片形成通道，从阀门出口流出；若流体压力不够，就会形成憋压，来保证管路压力维持在额定压力下；,背压安装每路支管路回水侧，以保证此支管路进机台的压力；,17,ppt课件,5、背压阀：它的功能实现在阀门前形成一定的压力，压力一般可,机台,6,、,机台衔接,管路采用不锈钢,304,材质，用丝牙连接，使用厌氧胶密封；完成机台衔接后，需做排水去除衔接时使用的胶水与铁屑,;,进行保压测量检测有无泄漏,压,力,表,流,量,计,温,度,计,减,压,阀,PCWS,PCWR,球,阀,球,阀,减压阀,活塞,18,ppt课件,机台6、机台衔接 管路采用不锈钢304材质，用丝牙连接，,四、,PCW,运行维护,1,、,FMCS,监控,:,压力,sensor,数据反馈给变频器控制泵浦频率,保证出水压力在,3.7kg;,温度,sensor,控制阀门开度,以保证出水温度为,18,;,19,ppt课件,四、PCW运行维护1、FMCS监控:压力sensor数据反馈,2,、水箱控制：,防止在排水量大或补水不及时,排水阀有需在最低液位,1.30m,限制,;,通过,FMCS,的自动控制，排水后的补水动作，用新进的,DI,水中和水箱水质,以提高电阻率,;,1.35m,1.50m,3.0us,2.8us,1.30m,20,ppt课件,2、水箱控制：防止在排水量大或补水不及时,排水阀有需在,FMCS,对,PCW,的自动控制，可以保证温度与压力的平衡运行；,3,、工程师检查：,导电度,液位计,工程师每班对机房的仪器仪表,变频器巡查及早发现隐患,;,变频器,每季度泵浦的振动量测确保轴承无损伤,;,21,ppt课件,FMCS对PCW的自动控制，可以保证温度与压力的平衡运行；3,五、,PCW,异常,1,、温度,sensor,电路板失效,电动阀,0%,显示,0,度低温,BPS,高温当机,解决方法：,1,，增加双探头；且两个温度值都设置报警值；,2,，两个,sensor,可以做切换，都可控制阀门；,3,，阀门开度也设置报警；,22,ppt课件,五、PCW异常1、温度sensor电路板失效电动阀0%显示,2,、泵浦切换瞬间压力降低；,泵浦在做切换动作时：,（,1#,在运行，,2#,做备机）,手动开启泵浦,2#,，运行,2m;,手动停止泵浦,1#,；,把,2#,由手动换到自动档；,手动换到自动时，,有,0.,s,做台数判断,解决方法：,两台同时运行,30m,后，修改到一台运行,;1#,会自动停止，当备机使用；,修改台数到,2,台，,2#,自动运行起来；,23,ppt课件,2、泵浦切换瞬间压力降低；泵浦在做切换动作时：（1#在运行,Thank you,！,24,ppt课件,Thank you！24ppt课件,