电子气体化学品应用与安全培训课件

,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,电子气体化学品应用与安全,电子气体化学品应用与安全,1,本节内容,一、气体输送系统,二、化学品输送系统,三、气体化学品监测系统,四、工艺安全管理及事故案例分析,五、个人防护用品（PPE）及应急反应,六、厂务运行管理实务,本节内容,2,一、气体输送系统,1,、半导体厂常用气体分类及其输送方式,一、气体输送系统1、半导体厂常用气体分类及其输送方式,3,气体输送系统,2,、气柜的作用：,、实现对工艺设备的连续供气：采用双瓶切换系统；,、安全地输送工艺气体至工艺设备：,、对工艺设备的安全考虑：压力调节、气体净化、吹扫；,、对操作人员的安全考虑：柜体隔离、排风系统、报警系统、紧急切断、全自动控制系统；,、对环境的安全考虑：工艺生产要求、气体的不同性质、当前项目预算、将来项目扩展需求。,3、气柜使用中常见问题及注意事项：,、调压时不准或者不稳：,原因是减压阀具有机械滞后性，工作使用中可将调压阀调至比所需压力低一些，,气体输送系统2、气柜的作用：、实现对工艺设备的连续供气：采,4,气体输送系统,然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。,、日常工作如需操作气柜，只需开窗操作，只有在换瓶时才开门,!,、换钢瓶时需要至少,2,个人共同操作，一个人操作，另一个人需要确认每一步是否正确、规范。,气源、气瓶的配管要用塑料管或者尼龙管，这样发生燃烧事故时可烧掉从而切断气源，降低危险性。,、气柜上的过流保护开关参数不可调，安装时必须垂直安装。,、,SiH,等易燃气体的钢瓶最好配置,Auto Guard,（钢瓶接口保护器），以防止在换钢瓶时发生事故。,、对于在我们管线分布上有潜在泄露点的地方，比如焊接点等连接点，要配置带抽风的罩子，这样可以更好的对人员和设备进行保护。,气体输送系统然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。,5,气体输送系统,、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，另一侧自动供气，这样可以实现对工艺设备的连续供气。,、不同特气对减压阀的选型也会有不同的要求，对于阀门的选型也是需要注意的地方。比如如果我们有阀门坏了，需要更换，就需要注意更换阀门的型号。,、过流保护开关是个非常有必要安装的部件，作用就是气体流量异常变大的时候可以把气体停掉，一般正帆都会建议客户安装过流保护开关。,气体输送系统、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，,6,二、化学品输送系统,1,、化学品在半导体工艺中的作用：,清洗芯片上的杂质、微粒子；,刻蚀芯片图案；,显影芯片图案；,研磨芯片；,清洗制程设备零配件,2,、常用化学品性质和分类：,、酸性：,腐蚀性：,H SO,、,HCL,、,HNO,、,HF,、,H PO,毒性：,HF,、,Acetone,二、化学品输送系统1、化学品在半导体工艺中的作用：,7,化学品输送系统,、碱性：NH OH、KOH、Developer,、有机溶剂：IPA、光阻液 EKC、EBR、HMDS,、氧化性：H SO、H O,、悬浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）,3、化学品输送系统操作安全,、化学系统运行需要的证照与认证,操作人员的安全管理非常重要，所有操作人员应具备以下资质：,压力容器操作许可证,危险化学品操作许可证,叉车操作许可证（如有使用）,化学品输送系统、碱性：NH OH、KOH、Develope,8,化学品输送系统,、熟知化学品安全技术说明书（,MSDS/CSDS,）,操作人员可以从中学习到化学品的特性，毒性，危害性，中毒预防措施，紧急事故处理等。,、化学品系统的,PPE,使用,如酸桶更换作业时需使用的,PPE,：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。,4,、化学品输送管道材质：,酸碱类：内管,PFA,，外管,CPVC,溶剂类：工艺管线,SUS316EP,，或外管,SUS304+PFA,内管方式,化学品输送系统、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSD,9,三、气体化学品监测系统,1,、气体化学品监控系统关键部件,三、气体化学品监测系统1、气体化学品监控系统关键部件,10,气体化学品监测系统,气体化学品监测系统,11,气体化学品监测系统,2,、气体监控系统设计,、必须监测气体种类,自然气体（如,SiH4,），可燃性气体（如,CH4/H2,）、毒性气体（如,PH3/AsH3,）、腐蚀性气体（如,HCL/HBR,）、氧化性气体（如,O2/CL2,）、惰性气体密闭区域（安装,O2,探头）,、侦测器安装,、侦测器取样管长度规定：,烷类气体和氢气取样管最长,30,米，氨气取样管最长,10,米，,HCL,等酸类气体取样管最长,5,米,、侦测器安装高度要求：,距地面,1.7,米左右，方便操作和观察,气体化学品监测系统2、气体监控系统设计,12,气体化学品监测系统,、侦测器取样点位置规定：,特气设备释放源壳体排风，特气相对密度小于或等于,0.75,时，取样点同时放置在释放源上方和厂方最高点易积气处；特气相对密度大于,0.75,时，取样点设置在释放源下方距地面高度,0.5,米处,、侦测器安装环境要求：,环境温度,0,至,40,，环境湿度,20%,至,80%RH,，远离强电干扰,、侦测器探头选型,、每种特气原则上采用对应气体探头,、同类型气体混合排放采用毒性最强特气探头,、混合气体侦测，采用最先到达报警浓度值特气探头,、特殊化学品泄露侦测，根据空气反应决定特气探头,气体化学品监测系统、侦测器取样点位置规定：,13,气体化学品监测系统,、GDS逻辑控制,气体化学品监测系统、GDS逻辑控制,14,气体化学品监测系统,、基于数据总线网络架构,基于,POE,网络通信环形网络架构,3,、工作人员更换阀门时的操作注意事项：,、更换一个阀门时如果太紧不能强行拆卸，可以把上方或者下方阀门的螺,丝拧松一点，再拧需要更换的阀门就比较容易。,、用两个扳手拧阀门螺丝时两个扳手的夹角不能太大，而且最好用一只手两个扳手一块用力。,、换垫片时要换干净的手套，每次换阀门都要换垫片。,、拧紧螺丝的时候用手拧紧后再用扳手拧,1/8,圈就可以，不能使太大劲去拧，容易使垫片变形。,气体化学品监测系统、基于数据总线网络架构,15,四、工艺安全管理及事故案例分析,工艺安全管理（,PSM,）,：通过执行工程标准、最大实践、工艺设计、系统操作和维护程序，以最大限度地降低或消除化工过程运行时造成的人员伤亡、财产损失和环境破坏。,工艺安全管理的,14,个要素：,工艺安全信息（,PSI,），工艺危害分析，变更管理，开工前安全检查（,ORI,），操作规程，培训，机械完整性（,MI,），动火作业许可证，承包商，应急准备和响应，事件调查，商业机密，符合性审查，员工参与,四、工艺安全管理及事故案例分析工艺安全管理（PSM）：通过执,16,五、个人防护用品（,PPE,）及应急反应,1,、,PPE,：,主要用于保护雇员免受由于接触化学辐射、电动设备、人力设备、机械设备或在一些危险工作场所而引起的严重的工伤或疾病。,2,、,PPE,的等级和分类,五、个人防护用品（PPE）及应急反应1、PPE：,17,个人防护用品（,PPE,）及应急反应,个人防护用品（PPE）及应急反应,18,个人防护用品（,PPE,）及应急反应,3,、使用,PPE,时应注意事项！,、脱衣服时，需抓紧衣服内侧脱下；,、防护衣最好为一次性使用，若多次使用需要清洗时，洗过之后不可晒干，需晾干；,、,A,级防护衣需定期做气密性检查；,、穿,A,级防护衣时，穿戴者最好携带通讯工具和小刀。,4,、启动应急反应的六个关键：,、应急人员组织：分工明确，职能清晰，要求需清楚；小组成员要固定，并有培训计划。,、应急器材设备的准备及使用：须列出物资清单及负责人；器材使用有效,个人防护用品（PPE）及应急反应3、使用PPE时应注意事项！,19,个人防护用品（,PPE,）及应急反应,及安全检查。,、人员疏散：逃生通道及集结点安全；广播明确指示；疏散路线人员布点指挥，确保安全有序离开危险区域；人员清点。,、流程节点的沟通：汇报现场状况须掌握要点；现场指挥须条理清晰；所有处置措施有效到位；进现场人员必须先进性防护装备及器材的使用有效及安全检查。,、人员培训及协调：应急处置技能训练；体能训练；各应急小组的协调及沟通；工业安全知识培训。,、危险区域的隔离及管制：危险区域、影响区域及安全区域的划分；危险区域明显及有效的隔离；进出危险区域的人员记录及管制。,个人防护用品（PPE）及应急反应及安全检查。,20,六、厂务运行管理实务,电子气体化学品系统的,1,、操作安全管理,2,、日常管理,3,、用量管理,4,、设备管理,六、厂务运行管理实务电子气体化学品系统的,21,