真空泵知识大全--课件

,.,Vacuum Pump,Introduction,.Vacuum Pump,Vacuum Pump Classifies,Dry Pump-,3,Oil Pump-,7,CRYO Pump-,9,Turbo Pump-,14,Diffusion Pump-,17,The Comparison of Pump-,20,Vacuum Pump Classifies Dry Pu,Dry Pump,The Principle,Dry Pump,是最基本的真空,pump,，它是利用螺杆原理來工作的，它,主要的特点是可以从大气压下直接开始抽气,所以可以单独使用。,一般真空度要求不高,（,E-3torr,以下,）,，如,CVD,及,furnace,仅使用,dry,pump,即可,。,The Characteristic,Fewer moving parts,Higher Reliability,Less complexity,High speed,Dry PumpThe Principle,The Working Principle,氣體從中間進入的優點：,1.,縮短了氣體通過,pump,的路徑，減少了,particle,的沉積,2.,減少了進口与出口壓差對軸的影響，減小徑向扭矩,The Working Principle氣體從中間進,Dry pump,用在,chamber,由大氣壓下直接抽真空，可以維持進出口,壓差,10,5,倍。,Dry pump,有電源（電源使馬達帶動螺杆式轉子轉動,),。,N,2,purge,(,稀釋防止,particle,沉積在間隙内），而 且,N,2,形成气帘防止,rotor,润滑油进入，产生污染。,N,2,可以调整,Ballast,来选择性调整,N,2,流量。,Cooling water,(,防止溫度過高使,pump,無法運轉,),。,The Function Description,Dry pump用在chamber由大氣壓下直接抽真空，可以,P,practicality,D,iagram,Ppracticality Diagram,The Characteristic,Oil temperature controlled,有很長的,lifetime,Oil pump,中,oil,的品質對,pump,有很大影響，油品好，,pump,抽气能力強，使用時間長,。,The Oil Function,潤滑,降溫,密封,Oil Pump,The Characteristic Oil Pump,真空泵知识大全-课件,The Pumping Procedure,1,吸入,2,压缩,3,过压,4,排气,The Pumping Procedure1 吸入2,CRYO Pump,The Working Principle,CRYO Pump,為高真空,pump,，應該和低真空,pump,配合使用，,工作前真空度應該達到,10,-2,mbar,，,否則無法工作,。,當吸附氣體飽和后,，,要做,regeneration,，即將高溫,N2,通入使凝結,的氣體釋放而排出,pump,。,入口處擋片吸附水泡，裏面的特殊氣體吸附（成液態狀）。,CRYO pump,需要接一个,compressor,通压缩的,He,。,CRYO Pump The Working Princ,真空泵知识大全-课件,Principle Diagram,Principle Diagram,The Function Description,Compressor,将,he,气压缩至约,230psi,，,并将因气体压缩而产生的高温由,cooling water,冷却,，,冷却后的高压,he,由管路送至,PUMP,，,在,cylinder,中膨胀,，,气体膨胀时会降温,，,因此丛周围吸收大量热量,，,使,80Karray,及,15K,分别降温至,80K,及,15K,（,-193C,-258C,）,。,膨胀后的,he,压力约,80psi,，,再经管路回至,compressor,中,。,当气体分子撞击此低温的,array,时,，,会凝结于,array,上,，,而达到减少空间中气体分子数量,。,事实上气体分子并未离开,chamber,，,只是被保留在,PUMP,上,。,80Karray,用以吸附,H,2,O,、,碳氢化合物等易凝结的气体,，,15Karray,则用以吸附,N2,、,O2,、,Ar,、,CO,2,、,CO,等气体,。,至于需要更低温度才凝结的气体,，,如,H2,、,He,、,Ne,等则使用活性碳（,active charcoal,）吸附,。,当,array,吸附太多气体后其效率会明显降低，此时须做,REGEN,。,The Function DescriptionComp,Regeneration Procedure,Purge,Vacuum controller:,AUTO,切,MANUAL,Turn off ion gauge,Turn off power,通入热的,N,2,After 4 hours to roughing,Regeneration Procedure Purge,Roughing,Close N2 valve,Open valve(if blow 50mtorr),Chilling Down,通入,He,进行,chilling,，,until T=105k,(,利用冷冻原理，用,compressor,进行,chilling,，,循环使用,),Regeneration Procedure,RoughingRegeneration Procedu,Turbo Pump,The Working Principle,由多級葉片組成,，,高速馬達驅動着,Rotor,，,当气体分子因为扩散进,入,pump,，,将会受到,rotor,撞击而向后极加速前进,。,The characteristic of the Turbo pump,间隙很小,，,很容易堵塞,间隙不一样长,，,从上注下,，,间隙逐渐变小,rotor,Turbo PumpThe Working Princip,真空泵知识大全-课件,Principle Diagram,Principle Diagram,The Turbo Pump Protection,The damage factors,外物,：,高速旋转的,rotor,若有外物掉入,，,会严重毁坏,rotor,，,因此在入口处均有一金属网防止异物,。,突然,vent,：,运转时突然有大量的气体进入,，,会撞击轴承,会造成,Turbo Pump,的寿命缩短,，,一般,Turbo Pump,，,可承,受,30,至,50,次此情况,。,同时,，,Turbo Pump,还有,UPS,蓄电,池保护,。,Turbo Pump,不能即停,，,会影响,rotor,和叶片,，,影响,Pump,寿命,。,The Turbo Pump ProtectionThe,The Working Principle,真空油被加热之后，获得极高的热能,分子由喷嘴处向下喷射，且与周围气体分子碰,撞,，,由动量转移,通过外接低真空,pump,将聚集在出口处的气体,分子带走,由此导致入口处与出口处因气体分子数浓度不,同而产生扩散现象,Diffusion Pump,The Working Principle Di,真空泵知识大全-课件,Principle Diagram,Principle Diagram,Cold Head,能防止油蒸气回流至,Chamber,Fore line,管路中的,Buffer,防止油蒸气被,Pump,抽走,油挡板和冷凝井使用都是为了进一步防止油蒸气,回流至真空系统,加,Pump,油时，最好由前级口灌入，也可由进气,口添加，须避免最顶部之喷嘴罩杯被油沾湿，否则,易造成蒸气回流,The Function Description,Cold Head能防止油蒸气回流至Chamber Th,The Comparison of Pumps,The Comparison of Pumps,真空泵知识大全-课件,End,Thanks!,End,