IC行业特种气体简介课件

Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,11/7/2009,#,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,IC,行业特种气体简介,主讲部门：华特销售部,主讲部门负责人：张均华,主讲人：李渊,IC行业特种气体简介主讲部门：华特销售部,IC的定义,IC,即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。,IC,行业通常包括设计、制造及封装三大块。与我们气体相关主要是其制造模块，另外封装模块也涉及很少的一部分。,2024/10/1,IC的定义 IC即集成电路，是采用半导体制作工,特气在IC行业里面的应用,电子特气广泛应用于,IC,行业的如下工艺：,薄膜沉积；,刻蚀；,掺杂；,钝化；,清洗；,或用作载气、保护气氛等等。,2024/10/1,特气在IC行业里面的应用电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺,2024/10/1,特气在,IC,体制造中的应用,-,工艺,Wafer-Probe Test,(Front end or back end),Assembly,Final Text,Ship to Customer,Other,Processing:,-,Ion Implant,Diffusion,CMP,Photolithography,-,Resist Coat,-Bake,-Exposure,Etch Film,-Plasma,-Wet Etching,Deposit,or Grow Film,-Oxidation,-Metallization,-CVD,Material Preparation:,Epitaxial Growth,(Optional),LPCVD,Metal CVD,PECVD,SACVD,APCVD,EPI,Dry Etch,特气使用,2022/9/23特气在IC体制造中的应用-工艺Wafer-,2024/10/1,特气在,IC,制造中的应用,-,原理,CVD Deposition:,SiH4+N2(Carrier gas)+NH3,plasma&heat,SixNy +H2+N2+other volatiles,CVD Chamber clean,NF3+SixNy,plasma,SiF4+N2+other volatile,掺杂,:(,如,Implant/DOPOS)PH3+H2,混气等,刻蚀,:,SiO2+CF4*SiF4+CO+CO2,反应气,载气,清洁气体,固态,气态,可被排出腔体,固态,刻蚀气体,气态,可被排出硅片及腔体,主要应用：,反应,载气,腔体清洁,掺杂,刻蚀,2022/9/23特气在IC制造中的应用-原理 CVD D,2024/10/1,特气在,IC,制造中的应用,-,分类,大宗,气体,N2 O2 Ar,离子注入,BF3 SF6 Xe,（红磷、黄磷、金属砒霜）,PR,（印刷）,F2 He Kr Ne,扩散,H2 POCl3,DRY,He CF4 C4F8 C5F8 CHF3 CH2F2 Cl2,HBr BCl3 SF6 CO,CVD,TEOS T,EB,T,EPO,PH3 ClF3,SiH2Cl2,NF3,SiH4 NH3 He,N2O WF6 C2F6 TiCl4 CH4,2022/9/23特气在IC制造中的应用-分类 大宗气体,2024/10/1,特气在,IC,制造中的应用,-,用量,一个八寸的芯片厂每年气体的使用金额约为,5,千万元人民币。,感官认识：,2022/9/23特气在IC制造中的应用-用量一个八寸的芯片,国内6寸以上芯片客户不完全统计,所在区域,名称,规模,备注,长三角,台积电（中国）,8寸,已在供应,中芯国际,8寸,正在评估,华力微电子,12寸,上海先进半导体,8寸,初试已经通过,华宏,NEC,8寸,已在供应,宏力半导体,8寸,无锡海力士,12寸,无锡华润上华,8寸,、,6,寸,已在供应,苏州和舰,8,寸,正在评估,珠三角,深圳深爱半导体,6寸,深圳方正微电子,6寸,深圳中芯国际,12寸,已报价,京津唐,及陕西,天津中芯国际,8寸,北京中芯国际,8,寸,西安三星,12寸,华中,武汉中芯国际,12寸,长沙创芯,6,寸,南车,6,寸,西北,成都德州仪器,8寸,中航微电子,8,寸,已发样品,重庆渝芯,8,寸,已发样品,东北,大连因特尔,12寸,2024/10/1,国内6寸以上芯片客户不完全统计所在区域名称规模备注长三角台积,芯片厂商对客户要求,合法,安全,可靠的质量管理体系,有效的质量监控手段,稳定有效的管理团对,强大的技术研发实力,物流能力,专用危险品仓储场所,2024/10/1,芯片厂商对客户要求合法2022/9/23,芯片厂商对特气评价流程,供应厂商的资质,气体规格的确认,/,比较,控片,/,实验片上基础数据的确认,小量产品的实验评价,中量产品的实验评价,大量产品的实验评价,品质管理体系的审核,量产审查通过,成为合格供应商,2024/10/1,芯片厂商对特气评价流程供应厂商的资质2022/9/23,IC行业有竞争力的气体公司和产品,氟碳化合物（,C2F6,、,CF4,、,SF6,等,C1-C4,产品）,日本企业（昭和、住友以及大阳日酸）,绿菱气体（,CF4,、,C2F6,、,CHF3,等）,黎明化工院（,SF6,、,C2F6,等）,N02:,林德气体,NF3,和,WF6:718,所,硅烷：,AP,2024/10/1,IC行业有竞争力的气体公司和产品氟碳化合物（C2F6、CF4,华特气体在芯片行业的竞争力,国内本土厂商,:,承担国家,02,专项项目（,C2F6,、,CHF3,）。,产品种类齐全：,C2F6,、,CF4,、,SF6,、,CHF3,、,C3F8,、,C4F8,、,NO,（,3N,）、,NH3,、,C02,、,CO,（,4N,）、,SiH4,等。,良好的品牌效应（已经供应的客户）,性价比高，确实降低客户的成本,快捷的物流配送（交货期短、应急反映迅速）,2024/10/1,中芯国际（,8,寸、,12,寸）,华特气体在芯片行业的竞争力国内本土厂商:承担国家02专项项目,如何开发芯片行业客户,个人经验，与大家探讨。,要有信心，相信自己的产品；心态很重要,熟悉自己的产品（规格、用户、市场行情）,如何开拓客户,信息收集（统计相关区域内的所有,IC,厂商）,信息处理（筛选具有价值的客户）,找到相关联系人（关键人：每个公司的情况不一样）,与客户沟通（了解客户的使其用情况；,成本,、性价比、交货期等；邮件、电话、展会、拜访）,维护客户（评估更多的产品；客户的口碑是最好的广告）,自我总结、加强学习、提升自我,2024/10/1,如何开发芯片行业客户个人经验，与大家探讨。2022/9/23,谢谢！,交流时间,2024/10/1,谢谢！交流时间2022/9/23,