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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,光学部品表面外观标准,(,依据美国军用标准,MIL-O-13830B,),2,一,.,定义:,表面缺陷标准,:依据美国军用标准,MIL-O-13830B,用两组数字表示表面缺陷大小。例如,40/20,(或,40-20,)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。,道子、亮路、伤、擦痕都统称为划痕。,斑点、坑点、点子 都称为麻点。,规定,长与宽的比大于,4,:,1,的为划痕;,长与宽的比小于,4,:,1,的为麻点。,点子,划痕,3,当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。,划痕,点子,A,区,20-10,B,区,80-50,如左图元件表面质量要求不同,则在判定,A,区是否符合要求时,应取内圆直径进行计算。而,B,区则取整个元件的圆直径,4,三角的面积为(低,高),/2=(a b)/2,三角等效直径,D,长方形面积,=,长,宽,=a b,长方形的等效直径,D,D,面积,=(D/2),2,a,b,美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。,a,h,A,区:,20-10,B,区:,80-50,3mm,1mm,4mm,2mm,对于长方形元件(当长与宽的比,5mm,元件最大划痕的长度和,超过,元件直径的,1/4,。所以元件,不合格。,60#,划痕长,3mm,60#,划痕长,3mm,左图是看到的样品(图片是放大的不是实际尺寸),图中的划痕为,20#,,,且长度,1/4D,。对于表面质量要求,20-10,该产品不合格。但本次样品未提出表面质量要求,而是要大家自已决定光洁度等级。因此该产品划痕可判为,40#,。,7,3.,当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过,1/4D,,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。,例:,有一长,30mm,宽,10mm,的元件,元件的表面质量要求为,6040,,,元件上有,2,条,2mm,的,60#,划痕,,3,条,4mm,的,40#,划痕。,它的等效,直径,为,20mm,1/4D,为,1/420=5mm,最大划痕的,长度和,为:,2mm+2mm=4mm,4mm30,;,因此,元件,不合格,。,60#,划痕长,2mm,40#,划痕长,4mm,8,如左图所示的产品,则,20#,划痕,长度,0.7mm,。,10#,划痕,长度,2mm,对于表面质量要求,20-10,该产品最大划痕长度,1mm1/5,。,所有级数的,划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积,之和为:,20,0.7/5+10 2/5=2.8+2=4.860,;因此,元件,不合格。,左图看到的样品,图片是放大的不是实际尺寸,.,图中有,20#,划痕,长度,2.2mm,。,10#,划痕,长度,7mm,对于表面质量要求,20-10,该产品不合格。对于表面质量要求,40-20,则该产品所有级数,乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:,20,2.2/5+10,7/5=8.8+17=25.8,25.840,。元件符合,40-20,10,5.,当元件质量指标要求划痕等级为,20,或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个,6.35mm,面积的区域,不允许有,4,条或,4,条以上的大等于,10#,划痕,。,20,m,m,左图是看到的样品,图片是放大的不是实际尺寸,.,图中有,5,条划痕,该元件直径为,6mm,;,对于表面质量要求,20-10,该产品不合格,。对于表面质量要求,40-20,则该产品所有级数,乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:,20,2.2/5+10,7/5=8.8+17=25.8,25.840,元件,不合格,。,2.,每,20mm,直径上只允许有,1,个最大麻点。,例:元件为,20mm,,质量指标要求为,60,40,,元件有,2,个直径,0.4mm,的麻点元件,不合格,0.4mm,的点子,元件,20mm,内有二个直径,0.4mm,的点子,元件不合格,.,元件,20mm,内只有一个直径,0.4mm,的点子,符合本条,13,3.,每,20mm,直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的,2,倍,例:,40mm,40mm,的元件,质量指标要求为,60-40,,其中一个,20mm,的区域有,40#,点子一个,,20#,点子一个,,10#,点子一个,同时在另一个,20mm,区域中,,20#,点子,2,个,,10#,点子,4,个,,5#,点子,1,个。,A,区的麻点直径的和,:,=40+20+10=70 80,,,B,区不合格。,因此元件,不合格,。,B,区,A,区,C,区,0.2mm,左图元件表面质量要求,60-40,:,A,区麻点直径和为,10+10+20=4080.,C,区麻点直径和为,20,2+10=5080.,B,区不合格该元件不合格。,14,左图是本次样品,图片是放大的不是实际尺寸,.,有,1,个,5#,点子,,1,个,3#,点子。(但然这些点子有可能擦掉就看不到了这里只是作为例子来说明)。这产品如果不考虑两点间距可以判定点子为级数,5,。为什么?因为产品只有,1,个最大点子,5#,,而所有的点子之和为,0.05+0.03=0.080.1(5#,点子的两倍),所有点子可判定为级数,5#,。,15,4.,当麻点质量要求为,10,或更优等级时,任何两个麻点的间距必须,大于,1mm,。,例,:,元件,40mm,40mm,的元件,,质量指标要求为,20-10,有两个,5#,的点子,点子,之间的距离为,0.8mm.,0.8mm1mm,元件,不合格,0.05mm,的点子,距离,0.8mm,左图是本次样品,图片是放大的不是实际尺寸,.,有,1,个,5#,点子,,1,个,3#,点子。是上面的例子,刚才将它判定为,5#,,但对于,5#,级数两点间距必须大于,1mm,,因此元件不符合要求,所有本元件的点子只能判为,20#,。,16,5.,小于,2.5um,的麻点略去不计,。,图为放大,50,倍显微镜观察到,2.5um,的麻点,(,相当于,0.12mm,比正常,10#,麻点大一些,),此麻点可略去不计!,6.,当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小。,以图中外圆为麻点大小,如果超过表面质量要求则该元件不合格。,光洁度写成两位数据形式时必须按标准写,如产品点子判为,0#,,但划痕判为,40#,,则产品光洁度为,40-20,而不是,40-0,。如果产品点子判为,20#,而划痕判为,0#,,则产品光洁度为,40-20,而不是,0-20,。,
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