现代光学测试技术

,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,1 领域与特点,一、研究领域,但凡利用光学原理进展精细测量的技术，都称为光学测试技术。主要方向有：计量、测量 、检验与测试一般说计量是泛指对物理量的标定、传递与控制；测量是泛指各种物理量与技术参数的获取方法；检验是泛指产品质量的评估技术与方法；而测试那么是测量、试验与检验的总称，侧重于方法与技术的研究，而不是产品质量的标定方法研究，光学测试技术的主要研究领域如表 01 所示。,二、技术特色,三、技术现状,光电仪器 光加工设备,图01 光学产业开展砚状,现代光学测试技术主要介绍：干预技术、全息技术、散斑技术、莫尔技术、衍射技术、光扫描技术、光纤传感技术、激光多普勒技术、激光光谱技术、信息与图像技术、光学纳米技术等。随着激光器的出现和傅里叶光学的形成，特别是激光技术与微电子技术、计算机技术的结合，出现了光机电算一体化的现代光学测试技术。上图为光机电算金字塔构造，塔顶是光学。,支撑根底：,2,方法的选择,面对一个计量测试任务，首先碰到的问题是如何合理而可靠地选择一种好的测试原理。,合理选择光学测试方法的原那么是根据五点：1测定对象；2测定范围；3灵敏度或精度；4经济性；5测试环境。测定对象是指被测的类型，例如是测量长度，还是测量角度，是测量速度还是测量位移；是测量温度还是测定温度变化。不同测定对象，有完全不同的测试方法。同样，同一测定类型但测定范围不同时，也有不同的测试方法可供选择。,表,0,4,， 由测定对象和测定范围来选择的测试方法,选择测试方法的另一,主要原那么是测量灵敏,度和要求的精度。图,03 是主要光学测试,方法在尺寸上能达,到的灵敏度分辨率。,43技术开展方向,随着新世纪的开场，科学技术必然是高新技术的日新月异和工业生产的精细化、自动化和智能化，这就对光学测试技术提出新的要求，促使光学测试技术的近代开展走向如下几个方向： ( l 亚微米级、纳米级的高精细光学测量方法首先得到优先开展 ； ( 2 快速开展小型的、微型的非接触式光学传感器; ( 3 半导体激光器 LD 及其阵列，光开关，光滤波器，光电探测阵列等新器件将在过程控制、在线测量与控制上得到广泛应用；4微光学这类微构造系统将崭露头角;5快速、高效的 3 -D 三维测量技术将取得突破；6开展带存贮功能的全场动态应变测量仪器； 7 开展闭环式光学测试技术，实现光学测量与光学控制的一体化；8以微细加工技术为根底的高精度、小尺寸、低本钱的集成光学和其他微传感器将成为主流方向；9开展光学诊断和光学无损检测技术。,总复习,第一章 光干预技术,一、泰曼格林干预仪的构造和工作原理,泰曼-格林干预仪的构造如图 1-16 所示：,准单色点光源和透镜 L1提供入射的平面波平行光束，干预仪的一臂装有参考反射镜 M 1 ，另一臂那么装上被测试的光学元件M 2 。光源发出的光经分光镜分光后分别由M 1和被测试的光学元件M 2反射在观察孔处相遇干预，形成干预条纹，干预条纹可用目视观察或用照相机镜头应位于 L2 的焦点处把干预条纹拍摄下来进展分析。根据干预条纹的变化，就可判断被测光学元件的质量。在图 116 中所示泰曼一格林干预仪中，球面镜 M 2的曲率中心和被测透镜的焦点重合。如果待测透镜没有像差，那么，返回到分束器的反射波将仍是平面的。然而，如果被测透镜有球差、彗差或像散引起波阵面的变形，那么就会清楚地看到具有畸变的一幅干预条纹图，并且可把干预条纹拍摄下来进展分析。假设把 M 2换成平面镜，就可以检验许多别的光学元件，如梭镜，光学平板等。,三、共路干预仪测试,在泰曼-格林干预仪中，由于参考光束和测量光束沿着彼此分开的光路行进，它们受到环境的振动和温度的影响不同，如果不采取适当的隔震和恒温措施，那么观察面或接收面上的干预条纹是不稳定的，就不可能进展准确的测量。共路干预仪可以较好地解决上述问题。所谓共路干预仪，就是干预仪中参考光束与测量光束经过同一光路，对环境的振动和温度、气流的变化能产生彼此共模抑制，一般无需隔震和恒温条件也能获得稳定的干预条纹。,一斐索共路干预仪测试,二散射板分束器及散射板干预仪,1 散射板分束器,散射板分束器是一块利用特种工艺制作的弱散射体，会聚的入射光束经这一散射板以后被一分为二：一局部光束直接透过散射板到达被测外表的中心区域；另一局部光束经散射板后，被散射到被测外表的全孔径，如图 131 所示。这两支光束均由被测外表反射后复经散射板第二次透射、散射后产生干预。,散射板分束器上各点的相位不是随机分布的，每一散射点都具有对散射板中心反转对称的相位分布，即相对于散射板中心的每一对对称散点都是同相点，但相邻散射点的相对位相呈随机分布。制板时为了使散射板上的散射点位相具有反转对称的性质，在同一全息干板上要作,二次曝光，并在二次曝光时把全息干板绕轴准确地旋,转 1800。,2 散射板干预仪, 1 光路原理, 1 3多通道干预仪测试,一、双通道干预仪,一用双通道干预仪进展像差别离,在泰曼格林干预仪中，当被测透镜存在多种像差时，要从干预图中对个别像差进展估计是很困难的，假设改成双通道排列来使用，就可以使对称,的波像差和非对称的波像,差以别离的干预图显示出,来。双通道泰曼格林干,涉仪如图170所示。, 1 -5 长度间隔、高度、振幅的激光干预测量,一、激光干预测长的工作原理及特点,干预测长仪器是用光波波长为基准来测量各种长度如各种线纹尺、量块、曲率半径、高度等的仪器。干预测长仪是属测量干预场上指定点上位相随时间而变化的干预仪。,激光干预测长仪与用其它准单色光源的干预测长仪相比，具有以下的显著优点：,1 测量范围大：,干预仪的相干长度取决于光源的单色性，可由下式表示：,现在已有测量距离大于1000的干预测长仪。,2 测量速度高,用光谱灯来检定一米长的线纹尺，一般要用几个小时的时间，用激光作光源来进展检定一般只要数分钟就够了。测长时，速度的快慢不仅是效率的问题，而且还关系到测量精度。测量速度愈高，外界干扰因素如温度、气流及振动等)的影响愈小，愈有利于提高测量精度。,3.仪器构造简化,激光干预测长的工作原理如图 1-101 所示。, 1 -6 激光外差干预测长与测振,激光光波干预比长仪以光波波长为基准来测量各种长度，具有很高的测量精度。这种仪器中，由于动镜在测量时一般是从静止状态开场移动到一定的速度，因此干预条纹的移动也是从静止开场逐渐加速，为了对干预条纹的移动数进展正确的计数，光电接收器后的前置放大器一般只能用直流放大器，而不能用交流放大器，因此在测量时，一般对测量环境有较高的要求，一般的干预比长仪不能 用于车间现场进展精细测量。为了适应在车间现场实现干预计量的需要，必须使干预仪不仅具有高的测量精度，而且还要具有抑制车间现场中气流及灰雾引起的光电信号直流漂移的性能，光外差干预 技术是为解决车间现场测量问题而开展起来的。,这种技术的一个共同点是在干预仪的参考光路中引入具有一定频率的副载波，干预后被测信号是通过这一副载波来传递，并被光电接收器接收，从而使光电接收器后面的前置放大器可以用一交流放大器代替常规的直流放大器，以隔绝由于外界环境干扰引起的直流电平漂移，使仪器能在车间现场环境下稳定工作。,一、双频激光外差干预仪图,1 -141 示出双频激光外差干预仪的光学系统。干预仪的光源为一双频 He-Ne 激光器，这种激光器是在全内腔单频 HeNe 激光器上加上约 300 特拉斯的轴向磁场，由于塞曼效应和频率牵引效应，使该激光器输出一束有两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光，它们频率,差 约为 1.5MHz 。这两束光,经分光镜4分成两路,反射光经,检偏器5产生拍,其拍频即为,1.5MHz ,经探测器转电信号,经放大器后送给计算机.,频率牵引效应：在激光器中，,由于激活介质的存在，与空的,光学谐振腔不同，其振荡模工,作频率会因色散的存在位置有所移动，会向激活介质的中心频率稍微靠近，形成所谓频率牵引现象。,假设测量镜以速度为运动(移动或振动，那么由于多普勒效应，从测量镜返回光束的光频发生变化，其频移为 ，该 光与返回光会合，形成“拍，其拍频信号可表示为：,计算机先将拍频信号 与参考信号 进展相减处理后，就得到所需的测量信息 .,设在动镜移动的时间 t 内，由 引起的条纹亮暗变化次数为 N ，那么有：,上式中 为在时间内动镜移动的距离L，于是有：,第三章 散斑技术,一、散斑的形成及其性质,当一束激光射到物体的粗糙外表例如铝板上时，在铝板前面的空间将布满明暗相间的亮斑与暗斑；假设再置一纸屏于铝板的前面，会更明显地看到这一现象，这些亮斑与暗斑的分布是杂乱的，故称为散斑。不管将纸屏置于近处或远处，都可以看到这一现象，这说明铝板前面的整个空间都布满着散斑，仅在纸屏靠近铝板时，散斑较小，远离铝板时，散斑较大。假设所用铝板的外表不是粗糙的，而是光滑的话，那么入射光线被铝板反射，而不成散射，所以在纸屏上将看不到散斑。假设所用的虽是粗糙的外表，但入射的不是激光，而是白光或钠光，这时虽发生散射光，但由于光线并不相干，会聚到P点的各散射光不发生干预，即不会形成暗斑和亮斑。,二、形成散斑必须具备的条件：,1 必须有能发生散射,光的粗糙外表。为了使,散射光较均匀，那么粗糙,外表的深度必须大于波,长；,2 入射光线的相干度,要足够高，例如使用激光。当激光射到毛玻璃,上时，因为符合以上两个条件，所以，在毛玻璃后面的整个空间充满着散斑。,三、离焦记录时的拍摄装置,图 3 -7 为离焦记录时的拍摄装置。在图中，位于成像平面 P点的散斑是由观察面上的P点所决定的，而P点散,斑又是由位于物面,上M点的面积元d,所形成的。,离焦量大，那么物点,上较大的面积形成P点的散,斑，测得的是该面元对P点,影响的平均值，因而降低,了测量精度；另一方面，离,焦量大测量灵敏度高，所,以在测量中要合理选择离焦,量。,在散斑测量中，为了使各方,向的转动或移动有同样的灵敏,度，一般取垂直于外表的方,向观察或拍摄。在实际,应用中亦是这样的。,第四章 莫尔条纹技术, 4 -2 光栅读数头,一、莫尔条纹信号的特点,一条纹把位移放大,上面已经介绍，以微小角度叠合的两块光栅得到的是横向条纹，这种莫尔条纹是位移测量的基准。由于 W =P / ，因此条纹放大 1 / 倍，就是说光栅副起到一个高质量的可调前置放大器的作用。它能将微小位移变化合理放大，获得信噪比很大的稳定输出。由于条纹宽度比光栅节距放大几百倍，所以有可能在一个条纹间隔内安放细分读数装置，以读取位移的分度值，即进展细分。,二误差的平均效应,光电接收元件接收的信号，是进入视场的光栅线数 N 的叠加平均的结果。而一般进入视场的光栅线条有几十线对甚至上千线对，这样光电元件接收的信号是这些线条的平均结果。因此当光栅有局部误差时，由于平均效应，使光栅缺陷或局部误差对测量精度的影响大大减小，大致的关系是：,为平均误差。,三光栅信号与位移的对应关系,光栅副中任一光栅沿横向垂直于线纹方向移动时，莫尔条纹就沿垂直方向移动，而且移过的条纹数与栅距是一一对应的。即光栅移动一个栅距，莫尔条纹移动一个条纹宽度 w ，所以测出了莫尔条纹移动的数目，也就知道了光栅移动的距离。这种严格的线性关系就是用莫尔条纹进展长度与角度测量的原理。,四信号波形的正弦性,莫尔条纹光场的亮度分布符合正弦规律，经由光电元件转换之后，如果接收狭缝比条纹宽度窄得多，那么输出信号的瞬时波形也和莫尔条纹的亮度分布一样，非常接近于正弦波。由于亮度没有负值极限为零，因此光电元件所取得的信号总,是叠加在一个平均信号,之上平均信号反映了,平均亮度，即背景。,所以，经光电元件转换,后，形成了带有平均电,压的交变信号，如图 4 ,6 所示。,五共模漂移,光栅的平均背景引起共模电压，但是，光栅全长上透光量并非处处一样，工作期间光源的亮度也难保持不变，这样，在光栅不同位置上，将有不同的平均背景，于是产生共模漂移。共模及共模漂移都影响光栅系统的工作性能。在信号曲线上，只有与Vcp相交的那些点见图 4 - 6 中的 b 和 d 称过零点灵敏度最高，稳定性最好，因此作为对准定位和触发脉冲等用途的工作点，幅度调制系统的细分也是以这些过零点作依据。如果共模电压相对地大，那么系统指工作点是不稳定的，如有共模漂移，即实际工作点就会偏离过零点，由此引起脉冲间隔的变化。容许的漂移值应由插补系数或定位精度确定。,六反差,光电信号的反差即衬度，常用调制系数 K 0，调制度 M d或比照度 C来评价见图 4 - 6 ),二、光栅读数头组成,实际应用中，常根据读数头的构造特点和使用场合分为：分光读数头、直接接收式或硅光电池式读数头、镜像读数头以及反射光栅读数头等。就光学系统而言，不外乎夫琅和费系统和费涅尔衍射系统两类。,读数头由光源、准直透镜、指示光栅、光电元件和必要的光阑、接收狭缝及调整机构等局部组成。光源的灯丝应安置于准直透镜的焦点上。准直透镜也有一定的像差要求，灯丝必须细而直，照度要稳定，否那么会因背景变化而引起直流漂移造成计量误差。光电元件主要有硅光电池、光电二极管和光电三极管。光电管的空间位置应能调整，以便能对准所需要的光谱级和谱带，并准确地配置在透镜的后焦面上。还应放置必要的接收光阑，以便获得一定强度的信号和提高信号的信噪比,三、分光读数头,一单相型图 4-7 ),从光源 S 出发并经透镜 L ，准直的光束，以 角入射到光栅副 G 1和 G2 ，从光栅副衍射的各级群光束的方向均由光栅方程确定：,二多相型,为了适应判别方向和补偿直流漂移的需要，通常要求二相或四相信号，它们之间在相位分别有或/2的相移。,产生多相信号的方法，一种是采用分开的组合透镜，并成像于不同的光导管上，一种可采多相指示光栅，并相应地由多相的光导管接收。也可以用远心光路方法，在光栅像面上用多硅光电池接收莫尔条纹像的信号。,图,4-9,表示直读分光型读数头。,四、直接接收式读数头,一单相型,如图 410 所示，平行光束垂直入射到主光栅上，硅光电池接近指示光栅直接接收光把戏。由于是单相型读数头，故必须接收同相位的信号，因此应该采用光闸式莫尔条纹，即两块,光栅节距是相等的，而线纹方,向是平行的，并采用小间隙布,置。因此视场中的亮度应是一,样的而且是均匀的，以保证整,个视场中位相的一致性。,二四相型,四相型分为四相指示光栅和四极硅光电池两种。采用硅光电池时，条纹宽度应调到四极硅,光电池的有效通光尺寸，以得到 0、/4、/2、3/2四相信号，,近年来，采用发光二级,管作为光源，光电三极,管作为接收元件的系统,十分盛行，指示光栅上,的四块光栅位置，相互,保持 00 , 900, 1800 。，,2700 的相位见图,4 -11 。,五、镜像式读数头,一单块光栅成像式,如图 412 所示，原理上属于分光系统，只是不用指示光栅，而由适当的光学系统形成主光栅像来代替。因此，不必考虑光栅间隙，而且由于光学系,统保证了光栅和光栅,像之间移动方向相反，,因而信号频率提高一,倍。这种读数头尺寸,大，如果把光学系统,改为中心反射式，那么,读数头的外形尺寸可,以缩短。,二两块光栅式,这是一种投影式的光学系统，其图形见 4 -13 。这种型式的读数头可按最小偏角法或垂直入射式布置。光栅 G 1经照明之后，在 L2 的焦平面上产生光谱面，在这个面上可以用滤波小孔，让需要的光谱级次通过，然后在 G2 光栅面上产生光栅 G 1的谱点所形成的光栅像。,六、反射式读数头,由于机床制造行业的需要，开展了金属反射型光栅读数头。金属光栅大多以钢带为基体，上面涂以超微粒乳剂或光刻胶作为感光层，然后通过投影光刻法获得光栅线纹。如采用不锈钢钢带作为反射光栅基体，可以减小因膨胀系数不同而影响精度的因素。如图 414 。,第五章 光衍射技术,二、计量原理,激光衍射计量的根本原理是利用激,光下的夫朗和费衍射效应。夫朗和费衍射,是一种远场衍射。图 5 1 是远场和近场,衍射的原理示意图。如图a所示，当光,源 s 照明E1平面上的一个孔 H 时，在距离,R的观察屏 E2 上将看到孔 H 的阴影。按照,几何光学的观点，光线是直线前进的，光,在孔 H 的边缘通过的方向应是 sa 与 sa,虚线所示。但实际上的阴影却扩大了，,这是由于光在孔 H 的边缘上发生了衍射，,光线向外曲折实线所示，因此，光的,衍射区是 a b与 a b 。当 时称为菲,涅尔衍射。图b和图c为夫朗和费衍射。,图,5,2,是衍射计量的原理图。它是利用被测物与参考物之间的间隙所形成的远场衍射来完成的。,在观察屏,E,上由单缝形成衍射条纹，其光强,I,的分布由物理光学知道有：,式中：,三、根本公式,先讨论衍射的一般性情况，如图 5-3 ，设 E 1平面上光孔的瞳函数为 F ，当略去光能损失，孔 F ，,在E 2上的衍射分布为：,式中：,是孔平面图上的复振幅分布。,在E 2平面上的任意一点p的光强为：,当光孔的形状为矩形孔，矩,形的高为 ，宽为 ，如,图 5-4 所示。这时可用一个二,维矩形函数来表示：,E2 面上任一点P的振幅，应该是此二维矩形函数的傅里叶变换，略去光能损失，那么：,因此，对矩形孔，在 E 2平面上的衍射像有两列，呈十字格线分布，如图 5-4 a所示。每一列的光强分布，如图 5-4b 所示。两个方向上光强的大小按式 5-3 ) ，可写出：,当光孔为单缝时， ,除中央零级以外，光强很Iy很小，通常观察不到。所以衍射条纹只沿x方向分布。,设 w 缝宽，那么衍射条纹的光强分布为：,对 sinc辛格 函数，其定义是：,设 ，那么有：,上式就是远场衍射光强分布的根本公式。此式说明：,1 衍射条纹是平行于单缝方向的；,2 当 0 ， ， 2 ， 3 ， ， n时，出现一系列 暗条纹。利用暗条纹作为测量指标，就可以进展计量。,因为 ，对暗条纹那么有：,当不大时，从远场条件，有：,所以有：,即：,上式就是衍射计量的根本公式。,四、技术特点,衍射计量在技术上有四个特点：,1灵敏度高。, 2 精度有保证。这首先是激光下的夫琅和费衍射条纹十分清析、稳定。其次，这是一种非接触测量。而且采用照相或光电系统测量衍射条纹是可行的，精度可以微米级。,3 装置简单、操作方便、测定快速。, 4 可实现动态的联机测量和全场测量，测定时物体不必固定，能为工艺过程提供反响信号，显著提高工艺效率。,衍射计量的缺乏之处是绝对量程比较小，量程范围约 0 . 011.5mm 。超过此范围必须用比较测量法。另外，当 w 小时，衍射条纹本身比较宽，不容易获得准确测量。而且R大，装置外型尺寸不能紧凑。限制了衍射计量的应用范围。,5,2,激光衍射计量技术,一、根本方案及其分析,利用衍射条纹进展精细测试，其方法归纳起来分为两大类：, l 记录固定点衍射强度的方法图 55a 中 A 和 B 点 ;,( 2 记录衍射分布特征尺寸指衍射分布极值点之间的距离或角量的方法图 55b 中的t).,二、间隙计量法,间隙计量法是衍射技术的根本方法，主要适合于三种用途：,( l 作尺寸的比较测量图 5-8a ) ;,( 2 作工件形状的轮廓测量图 5-8b ) ;,( 3 作应变的传感器使用图 5-8c) .,这三种用途的根本装置如图59所示：,间隙法的计算公式：,或:,其中， ，为条纹间隔,三、反射衍射法,从原理上说，主要是用反射镜形成狭缝。图,5,13,是反射衍射法的原理图，狭缝由刀刃,A,与反射镜,B,组成。反射镜的作用是用以形成,A,的像,A,。这时，相当于以,角入射的，缝宽为,2w,的单缝衍射。显然，当光程差满足下式时，出现暗条纹：,按三角级数将上式展开：,对远场衍射有：,代入前式：,整理后有：,四、别离间隙法,别离间隙法是利用参考物和试件不在一个平面内所形成的衍射条纹来进展精细计量的方法。别离间隙法的原理图示于图 5 15 。,对于P1点，出现暗条纹的条件是：,对于P2点，出现暗条纹的条件是：,因为：,那么有：,由上式可得：,五、互补测定法,激光衍射互补测定法的原理是基于巴俾涅定理。此定理的原理示于图 517 。,图 518 是利用互补法测量细丝直径 d 或薄带截面尺寸的原理图。,细丝直径与衍射,条纹之间的关系为：,为获得明亮的远场条纹，,一般用透镜在焦面上形,成夫朗和费条纹，如图,5-19 所示。设透镜的焦距为 f , 那么计算公,式为：,那么：,六、爱里圆测定法,由物理光学知道，平面波照射的开孔不是矩形而是圆孔时，如图,5-20,所示，其远场的夫朗和费衍射像，是中心为一圆形亮斑，外面绕着明暗相间的环形条纹。这种环形衍射像就称为爱里圆。,爱里圆中心亮斑的直径,d,为：,第九章 激光光谱技术, 9-3 激光喇曼光谱技术,一、根本原理,当单色光作用于试样时，除了生产频率和入射光一样的、称为瑞利散射光以外，还有一些强度很弱的，频率和入射光不同的散射光对称分布在瑞利光的两侧。这种散射光被称为喇曼散射光，在瑞利光低频一侧的叫斯托克斯线 stokes 线，高频一侧的叫反斯克斯线 Antistokes 线。,喇曼散射可以看成一个入射光子和一个处于初态 E的分子作非弹性碰撞。在碰撞过程中，光子和分子之间发生能量交换，光子不仅改变运动方向，还把一局部能量传递给分子，或从分子取得一局部能量。因此，在碰撞后被检测到的光子，其能量比原来的低些或高些。,喇曼散射过程也可用能级图作定性的说明，如图 9-8 所示。在散射过程中，中间态经常被描述为受激虚态，它是不稳定的，并且不一定是真实的分子本征态。如果这个虚能级和分子本征态之一相符合，那么被称为共振喇曼效应。,二、激光喇曼分光计,线性激光喇曼光谱研究和分析用的实验装置激光喇曼分光计不仅已经商品化，而且构造日趋完善。 典型的仪器通常由 5 个根本局部组成：激发光源，前置光路或称外光路，单色仪，探,测放大系统和计算机,系统，如图9-10,所示。,三单色仪,单色仪是激光喇曼分光计的核心部件，决定着整台仪器的根本特性。,激光喇曼光谱技术对单色仪的要求比一般在可见光区工作的仪器要高得多。对分辨率和波数精度要求很高，约为 0 . 2 -2cm -1 ，这在波长为 5000 处，相当于 0 .05- 0 . 5 。另外还要求单色仪聚光本领强，有大的相对孔径，而且对抑制杂散光提出特别苛刻的要求。为了满足上述高分辨率，强聚光本领，尤其是低杂散光的要求，通常把两个单色器串联成双单色仪，串联的方式可以是色散相加的或色散相减的。从理论上讲，后者可以很好消除光栅不完善所形成的杂散光。但由于它的色散率只相当于一个单色仪，不利于提高分辨率，因此一般都采用色散相加的形式。也有的仪器可以根据需要由使用者方便地把相加型改为相减型或反之。,还有用三个单色器串联成三单色仪的喇曼分光计，可以进一步抑制仪器的杂散光。,四探测放大系统,喇曼分光计的灵敏度标志着仪器所能探测的最小光信号。它除和光学系统的聚光本领及杂散光有关外，还取决于探测和放大系统的灵敏度和噪音。由于喇曼散射光极弱，一般估计当激发光的功率为 lw 时，到达探测器的散射光功率仅约为 10 -10 - 10 -11w ，甚至更低。因此对探测放大系统最主要的要求就是高灵敏度和高信噪比，以便把被噪音所干扰，甚至是淹没在噪音中的有用微弱信号检测出来。光电转换元件和弱信号探测技术上的新进展有效地满足了上述要求，促进了喇曼光谱技术的开展。,在喇曼光谱的单通道或双通道测量技术中，应用宽的光谱响应范围、高灵敏度和极低噪音的光电倍增管作探测器。,光子计数器工作原理：,光子计数器一般包括前置放大器、脉冲高度鉴别器、脉冲计数器、数模转换器。计数的结果可以数字的形式也可以模拟电压输出。其工作原理如图,9,一,17,所示。,由上式可知，隧道电流强度对针尖与样品外表之间的距离非常敏感，如果距离 S 减小 0 . 1nm ，隧道电流 I 将增加一个数量级，因此，利用电子反响线路控制隧道电流的恒定，并用压电陶瓷材料控制针尖在样品外表扫描，那么探针在垂直于样品方向上上下的变化就反映出了样品外表的,起伏，图 11-,3 ( a 。将,针尖在样品,外表扫描时,运动的轨迹,直接记录显,示出来，就,得到了样品,外表态密度的,分布或原子,排列的图像。,这种扫描方式可用于观察外表形貌起伏较大的样品，且可通过加在Z向驱动器上的电压值推算外表起伏高度的数值，这是一种常用的扫描模式。对于起伏不大的样品外表，可以控制针尖高度守恒扫描，通过记录隧道电流的变化亦可得到外表态密度的分布，见图 11-3 ( b 。这种扫描方式的特点是扫描速度快，能够减小噪音和热漂移对信号的影响，但一般不能用于观察外表起伏大于 1.0nm 的样品。,从式 11-1 可知，在V和 I 保持不变的扫描过程中，如果功函数随样品外表的位置而异，也同样会引起探针与样品外表间距 S 的变化，因而也会引起控制针尖高度的电压 V的变化。如样品外表原子种类不同，或样品外表吸附有原子、分子时，由于不同种类的原子或分子团等具有不同的电子态密度的功函数，此时 STM 给出的等电子态密度轮廓不再对应于样品外表原子的起伏，而是外表原子起伏与不同原子和各自态密度组合后的综合效果。,一、 AFM 的工作原理,AFM 的工作原理示于图 11-6 。将一个对微弱力敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，试祥相对针尖运动，当针尖接近试样时，起初针尖得到一个很小微弱拉力，然后由针尖上最后一个原子和试样外表相对的那个原子之间的原子力而产生一个排斥力 10-8-10-6N 。由于这个力使弹性微悬臂弯曲。这个弯曲运动由 STM 或用光学方法检测出来。像 STM 一样，令试样作X、 Y 向扫描，在扫描过程中，试样 Z 向的高度变化由压电陶瓷进展跟踪。控制上述这种排斥力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应针尖与样品外表原子之间作用力的等位面在垂直于样品的外表方向起伏运动，于是压电陶瓷 z 向位移即是试样外表起伏的量度，从而获得样品外表形貌的信息。,谢谢！,