硅片插片机使用说明

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,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,2012-3-15,#,单击此处编辑母版标题样式,清洗培训,插片机,2012,年清洗工序小组,1,主要内容:,插片机的主要构成,插片机操作,插片机注意事项,2,机台,插片机结构,篮具,插片机主要构成,3,插片机操作,点击此按钮开机,1,、开机,4,开机请点击“开机复位”,5,2,、装片,插片机篮具每台机配,2,个,篮具中有两层垫片。,在使用篮具前认真检查篮具四面的挡板是否完好,尤其检查挡板与底板连接的螺丝处是否有裂痕。,6,1,、打开硅片盒,粗检硅片边缘是否有崩点、崩边 等不合 格品;,2,、测量硅片尺寸;,3,、以,100,片为单位,将硅片放入篮具中,每篮具放片以,400,片为限,。,7,3,、加料,8,1,、一手拿着篮具挡板。一手拖住篮具底板,整个篮具向身体的方向倾斜,避免由于篮具突然损坏造成摔片。,2,、准备加料:将篮具底板一边先放在插片机台面上,向里推,平放,3,、双手同时提起篮具上料挡板,放入上料位,使得篮具下小孔与上料位定位销重合,左右晃动,检查篮具是否放稳。,9,4,、装载小花篮,双手握住小花篮两边,先装前,后装后,10,花篮边缘务必要贴紧定位挡板,11,5,、插片,开机复位后,警示灯黄灯亮,绿灯闪。确认两侧小花篮均已放好,点击“自动启”或者,同时,按下插片机台面上的两个绿色按钮,此时花篮位置下降到下位,警示灯黄灯灭,绿灯闪。,12,待两个花篮均已装满时,即绿灯亮,黄灯亮,蜂鸣器响。操作者可将花篮拿下来放在小车上,检查是否有双片、破片、隐裂片,是否有硅片插斜等异常现象,若无,即可准备上花篮夹。,13,5,、关机,插片结束后,进行关机操作。点击“加料”,使得上料位处于下位,即可按,PLC,下方的“停止”按钮,进行关机。,14,自动插片时的紧急情况处理,在自动启动状态下插片时常有花篮堵片、拖片、破片等不良状况,此时操作者需按“急停”按钮,常出现如下状况:,点击触摸屏上“回放”即可。回放操作可将吸盘上的硅片自动放入上料篮具中,以便继续装片。,15,1,、硅片堵塞,若出现如左图的硅片堵塞情况时,首先操作者应及时按下触摸屏下方的“急停”红色按钮。待设备处于停止状态时,将急停按照顺时针方向松开,其次,观察吸盘上是否有硅片,若有,请按“回放”,然后将堵塞的硅片取出放回上料篮具中,即可点击“续装”继续装片。,16,2,、掉片报警,出现此报警经常由于硅片厚薄或是应力而导致硅片分离较差,吸盘无法吸住硅片,处理方法:,1,、判断来料硅片是厚薄还是应力,若是厚薄,可点击“加料”,将篮具取出,旋转,180,,放入点击“续装”即可。若是应力,拿出手动插片。,2,、若硅片既不是厚薄也不是应力,即通知机修或技术员。,17,3,、上料位有阻挡物报警,若出现此报警,是由于吹气分片太高,阻挡感应器接收到信号所致。,处理方法:点击“加料”,将篮具取出,旋转,180,翻放入继续装片。,若无改善及时通知机修或技术员。,18,注意事项:,1,、各班交接时,要仔细检查插片机篮具、插片机玻璃条是否完好。,2,、自动状态下,插片时,若发现变形的花篮要及时做上“,”的标记。,3,、在插片前,要检查小花篮是否放好,4,、在插片时,避免硅片倒角与小花篮相撞,5,、在插片时,注意观察拖片、碎片、卡片等异常,并及时进行操作,6,、加料时注意检查篮具是否有损坏,19,
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