PVD技术制程介绍课件

按一下以編輯母片標題樣式,按一下以編輯母片,第二層,第三層,第四層,第五層,*,PVD,技術,/,制程簡介,2,Content,PVD,原理介紹,PVD,生產流程介紹,PVD,顏色介紹及開發系統,PVD,信賴性測試項目介紹,3,1. PVD,原理及特點,PVD(Physical Vapor Deposition),即物理氣相沉積技朮,即在電場作用下形成的等離子體中,塊體材料被濺射出來,而沉積在工件表面,形成一定厚度的薄膜,.,濺射出的靶材粒子,氣體離子,電子,靶材,工件,4,第一步 氣體離化,e,Ar,+,Ar,能量,離子化,Argon,氣體團,Ar + e Ar,+,+2e,5,第二步 濺射,靶材,被濺射出的靶材粒子,Power,氣體離子,Ar,+,Ar,+,+ Ti Ti(Atom) +Ar,+,接地,6,第三步 反應成膜,Ar,+,+ N,2,2N +Ar,+,Ti + N TiN,基底材料,7,PVD,技術,應用于金屬外殼之優點,高金屬質感和艷麗飽滿的色彩效果,優異的功能性,(,與基材的良好結合,高的硬度和耐磨性等,),底材選擇的多樣化,(,如不鏽鋼,鈦合金,甚至鋁合金,),制程的良好的穩定性和再現性,適應現代環保潮流,8,2.1,不銹鋼產品,PVD,清洗流程圖,SS Product Cleaning Flow Chart,上,挂,Racking,除,蠟,Dewax,氧,化,Oxidation,烘,烤,Baking,除,蠟,Dewax,酸,洗,Acid rinsing,下挂,Unracking,純水洗,Pure water,cleaning,NLV-LH PVD,廠 承制,脫,脂,Degrease,9,2.2,真空鍍膜流程圖,Physical Vapor Deposition Flow Chart,打靶,Target,burnish,ing,清潔擋板,S,hield,cleaning,清潔轉架,S,pindle fixture,cleaning,清潔腔體,Chamber,cleaning,冷卻,Substrate cooling,離子濺射,Sputtering,抽氣,Vacuuming,裝工件,Parts loading,洗靶,Target cleaning,放氣,Venting,出爐,Unloading,輝光清洗,Glow discharge,NLV-LH PVD,廠 承制,10,2.3,防指紋烤漆流程圖,Anti-Fingerprint Painting Flow Chart,上治具,Racking,靜電除塵,Static dust-disposal,噴塗,Painting,進爐,L,oading,冷卻,Substrate cooling,固化,Curing,流平,Levelling,下治具,Unracking,全檢,Inspection,NLV-LH PVD,廠 承制,出爐,Unloading,11,T1,T2,:,工件,:,工件的運動軌跡,:,靶材,Tn,:,反應氣體,(N2, C2H2),T3,T4,T5,T6,T7,T8,3.,PVD,設備,Type 1:,連續式鍍膜機,12,3.,PVD,設備,Type 2:,單筒式鍍膜機,:,工件,:,工件的運動軌跡,:,靶材,Tn,:,反應氣體,真空室前門,T1,T2,T3,T4,13,4.,PVD,技術魚骨圖,挂具設計,設備,真空,系統,電控,系統,激發,系統,加熱,系統,气体,材料,靶材,基材,制程,偏壓電源,氣路,膜系設計,真空度,鍍膜時間,工件旋轉速度,濺射電源,旋轉方式,裝夾系統,遮蔽系統,材料,（,SUS, Ti）,等離子監控儀,(PEM),氣體分壓控制器,( OGC),殘余氣體分析儀,(RGA),氣體流量控制器,(MFC),監控系統,膜厚,可靠度,耐磨耗,光澤度,色差,硬度,附著力,檢測系統,環境,濕度,潔淨度,防震動,防靜電,溫度,流量,分壓,位置,電流,電壓,功率,電流,電壓,佔空比,O,2,Ar,C,2,H,2,N,2,Ti,Ni,Cr,Zr,SUS,Ti,塑膠,公轉,自轉,可操作性,形狀,尺寸,彈性,導電性,14,5.,PVD,成色膜係,TiN, ZrN,HfN,及這些金屬氮化物與,Au,的復,合膜係如,TiN+Au,TiC, TiAlN, SixNy, CrAlC, SUSC,單純的金屬膜,Me,及金屬的氮化物,MeN,如,: CrN,金屬,(,Ti, Cr, Zr, Al, In),的氧化物形成的干涉膜,稀有金屬的硼化物如,: CeB,6 ,SmB,6,TiCN, ZrCN, CrAlN,15,收到,目標色,Target Sample,測量色差,和光澤,L, a, b,& Gloss,顏色調試,Color Tuning,全套,STR,測試,STR Testing,顏色重復性驗証,Color Stable Verification,簽認金樣,Golden Sample Signature,製作,1X,5,（,or 3,x,3,）,限度樣板,Prepare 1x,5,（,or 3,x,3,）,Limit Range,新色承認,New Color Approval,制程,能力,驗証,Process Capability Verification,1X,5,（,or 3,x,3,）,限度樣板承認,1x,5,Limit Range,（,or 3,x,3,）,Signature,新專案,/,新色需求,New Project/Color Demand,送候選金樣,Golden Sample,6.,PVD,新色開發流程,P,VD Color Development Flowchart,16,PVD,新色承認,P,V,D New Color Approval Items,PVD,新色承認,樣品製作,Sample Preparation,參數,記,錄,Development Record,性能測試,SPR Test,製程能力分析,Process Capability Analysis,新色樣品標示,Sample Marking,顏,色限度樣板,Color Limit Board,新色樣品,製作參數表,Sample Preparation,Record,顏色限度樣板,製作參數表,Limit Board,Record,膜厚測試,Film thickness,硬度測試,Hardness,耐擦花測試,Rod-scratch test,鹽霧測試,Salt Mist test,QUV,耐候,測試,QUV test,振動研磨測,試,Vibration wear test,製程,穩定性驗證,Process Stability,Verification,製程,良率驗證,Yield Rate,Verification,etc,17,PVD,顏色銀行,PVD Color Bank,目前,PVD,可量產顏色達,17,種,There are more than 17 colors available for mass production;,目,前,最,新,開,發,顏,色有十,種,以上,There are more than 10 new colors under development;,PVD,顏色,PVD Colors,18,7. PVD,主要,SPR,測試項目匯總,No.,SPR Testing Item,允收標準,1,震動研磨（,Vibration wear Test,）,No peel off, no color change;,2,硬度測試（,Hardness Test,）,HV400 or HV600,以上,3,耐刮測試（,Rod-scratch Test,）,1N or 2N No scratch,4,膜厚測試（,Film Thickness Test,）,通常要求,1um2um;,有的專案要求,2.6um,以上,5,鹽霧測試,(Salt mist Test),No change after test,19,7.1,震動研磨測試方法介紹,將產品放置于左側圖示的研磨機中，研磨時間為,2hrs;,其中,0.5hr, 1.0hr & 2.0hrs,產品分別取出，觀察產品變化並拍照；,2hrs,耐磨結束后，觀察產品表面變化，有無顏色光澤變化，刮傷情況，或者脫落情況；,20,7.2,硬度測試方法介紹,加載,25g,力的荷重，獲得如左上圖所示的菱形壓印，量測菱形對角綫的長度而獲得產品的表面硬度,；,硬度測試儀器,21,7.3,膜厚測試方法,採用切片方法，利用光學顯微鏡量測產品鍍層厚度；,切片設備,切片設備,膜厚照片,22,色,差,儀,是,利,用,三,原,色,(,紅,，,綠,，,藍,),的,原,理,，,通,過,光,照,對,顏色,進,行,分,解,，,通,過,電,子,計算,機,運,算,以,後,，,以,上,L * ,a * ,b *,的數據形式在顯示器上顯示出來，,L,表示明度，有正負之分，,a * ,b *,表示不同色調方向，,a+,呈現紅色調，,a-,呈現綠色調，,b+,顯示黃色調，,b,顯示藍色調。,7.4,色差量測,23,7.4,耐刮測試方法介紹,使用如左圖所示的測量筆，利用彈簧力來設定不同載荷，來划過產品表面；,耐刮測試后，目視觀察產品表面有無刮痕來判定；,24,7.5,鹽霧測試方法介紹,將產品放置在鹽霧試驗箱内，噴霧,2hrs;,然後將產品放置在高溫高濕箱内,168hrs;,測試完成后，將產品清洗乾淨后，檢查產品表面有無顔色變化，腐蝕或者其他不良。,鹽水噴霧機,