特气控制系统课件

,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,特气系统控制,2005年9月20日,特气系统控制,1,特气系统控制,特气系统控制,气柜,VMB/VMP,PLC,盘面,电磁阀,气动阀,GAS,CYLINDER,SENSORS,易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/,ASH3/PH3,无毒：AR/HE/CF4/N2O/,C2F6/SF6/O2-HE,有毒：CL2/HBR/NH3/,NF3/SIH2CL2/BCL3,设备,LAM,易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/,ASH3/PH3,有毒：CL2/HBR/NH3/,NF3/SIH2CL2/BCL3,无毒：AR/HE/CF4/N2O/,C2F6/SF6/O2-HE,AMEM,TCPM,AMS101,MRC,CVD,APWJ,DFUR,EPSL,IMP,特气系统控制特气系统控制 气柜VMB/VMPPLC盘面,2,气柜,组成:,1.电控,2.COMPUTER,3.GAS PANEL,气柜,3,1.,电气控制,STATUS LEDS LOCAL SD,RED,YELLOY,GREEN SWITCH,电磁阀,SENSORS,1.电气控制STATUS LEDS,4,2.,COMPUTER,koyo philips,2. COMPUTER koyo,5,3.,盘面(一),双,盘,面 单盘面示意图,3.盘面(一)双盘面,6,(二)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD,(二)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM,7,一.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤:,如果是液态类气体需要输入“净重”确认。,1 接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。,2 输入password，按确认。,3 L盘面进入“In shutdown”按“commands”菜单。,4 选择“terminate purge”按“Yes”。,5 选择“select purge”按“Cylinder change”，按“Yes”，按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过程。,6 L-Cylinder shutoff test，执行process Gas removal置换。,7 更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循环次数。,8 Cylinder change更换钢瓶，按“ACK”确认。,9 Process Gas removal执行工艺气体置换。,10 Auto leak test自动检漏测试,11 Manual leak test手动检漏测试，按“ACK”确认。,12 Leak Repair泄漏维护，按“ACK”确认。,13 Repair Leak test维护后泄漏测试，按“ACK”确认。,14更换钢瓶后Post-purge后吹扫，执行完循环次数。,15 Regulator调压阀 shutoff及测试。,16缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈，进入钢瓶压力测试。,17缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。,18按“service ready”进入钢瓶供气或备用。,4,.更换钢瓶操作（依照L钢瓶为例）,4.更换钢瓶操作（依照L钢瓶为例）,8,1 选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。,2 关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。,3 确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。,4 进行低压释放。,5 进行预吹扫，完成设置的循环次数。,6 钢瓶检测结束报警，按“close”，按“下一步”。,7 更换钢瓶，结束后按“下一步”。,8 进行钢瓶Fitting测漏，正常后按“确认”。,9 进行后吹扫，完成循环次数。,10 钢瓶检测结束，按“close”。,11 如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。,12 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。,13 选择供气或备用。,14 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。,二.半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：,二.半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：,9,三.手动气柜更换钢瓶操作步骤,：,要求PN2钢瓶的出口压力80+/-10PSI。,1 关闭钢瓶手动阀。,2 打开低压放空的左抽空开关（V3L、V4L、V7L），使之管道内气体完全放空，然后关闭此阀，同时关闭Regulator。,3 更换钢瓶前的Pre-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。,4 执行更换钢瓶的过程。,5 更换钢瓶后的Pigtail Fitting检漏：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关，然后再关闭，进行Pigtail Fitting的check leak。检漏通过后进行Pigtail后吹扫。,6 更换钢瓶后的Post-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。,7 关闭L盘面上所有气动阀件，打开L钢瓶手动阀，调节Regulator的压力使之满足工艺设备的供气压力。 如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重”确认。,8 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。,9 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。,10 按“供气开关”或“备用开关”。,三.手动气柜更换钢瓶操作步骤：要求PN2钢瓶的出口压力80,10,5.,气柜操作流程图,SCREEN,MENU,SCREEN,INPUT,PASSWORD,OPERATION,SCREEN,A PANEL,Or,B PANEL,SELECT GO TO,A or B PANEL,NO,AUTO PURGE,(PREPURGE),FINISH,CHANGE NEW,CYLINDER,THEN PRESS,ACK. BUTTON,NO,POST,PURGE,FINISH,PROCESS,(INSTALL ESV),YSE,YSE,CONFIRM,LOAD CELL,(NEW or OLD,OPEN,CYLINDER,LOW DELIVERY,PRESSURE&HIGH,DELIVERY,PRESSURE,(DO YOU WANGT TO,PROCESS OR,STANDBY?,SELECT,PROCESS,or,STANDBY,PROCESS,PROCESS,STANDBY,STANDBY,5.气柜操作流程图SCREENMENUINPUTOPERAT,11,6,.钢瓶更换分解图示,前吹扫：,）放空（图一）,开,）通,关,开,）抽真空,开,图一,6.钢瓶更换分解图示前吹扫：图一,12,后吹扫：,1 )Pigtail Fitting检漏,）通吹扫,关,开,）抽真空,开,）保压,后吹扫：,13,VMB/VMP,Valve Manifold Box Valve Manifold Panel,VMB/VMP,14,THANK S！,特气控制系统课件,15,