磁电式传感器教学课件

磁电式传感器磁电式传感器1磁敏式传感器磁敏式传感器21一、工作原理一、工作原理 根据电磁感应定律，当根据电磁感应定律，当w w 匝线圈在恒匝线圈在恒定磁场内运动时，设穿过线圈的磁通为定磁场内运动时，设穿过线圈的磁通为，则线圈内的感应电势则线圈内的感应电势e e与磁通变化率与磁通变化率d/dtd/dt有如下关系：有如下关系：根据这一原理，可设计成根据这一原理，可设计成两种两种结构：结构：磁电式传感器磁电式传感器12（一）恒定磁通磁电式传感器（一）恒定磁通磁电式传感器动圈式动圈式动铁式动铁式 这种传感器工作磁场恒定，线圈和磁铁两者间这种传感器工作磁场恒定，线圈和磁铁两者间产生相对运动，切割磁场线而产生感应电势。产生相对运动，切割磁场线而产生感应电势。二、结构与分类二、结构与分类恒磁通式和变磁通式恒磁通式和变磁通式3恒磁通式磁电传感器的结构原理图恒磁通式磁电传感器的结构原理图4（二）变磁通式磁电式传感器（磁阻式）（二）变磁通式磁电式传感器（磁阻式）线圈和磁铁部分都是静止的，与被测物连线圈和磁铁部分都是静止的，与被测物连接而运动的部分是用导磁材料制成的，在运动接而运动的部分是用导磁材料制成的，在运动中，它们改变磁路的磁阻，因而改变贯穿线圈中，它们改变磁路的磁阻，因而改变贯穿线圈的磁通量，在线圈中产生感应电动势。的磁通量，在线圈中产生感应电动势。1 1永久磁铁永久磁铁2 2软铁软铁3 3感应线圈感应线圈4 4齿轮齿轮 5磁电式传感器磁电式传感器1磁敏式传感器磁敏式传感器26测量原理：测量原理：测量原理：测量原理：半导体材料中的自由电子及半导体材料中的自由电子及半导体材料中的自由电子及半导体材料中的自由电子及空穴随磁场改变其运动方向。空穴随磁场改变其运动方向。空穴随磁场改变其运动方向。空穴随磁场改变其运动方向。结构结构结构结构结型结型结型结型体型体型体型体型霍尔传感器霍尔传感器霍尔传感器霍尔传感器磁敏电阻磁敏电阻磁敏电阻磁敏电阻磁敏二极管磁敏二极管磁敏二极管磁敏二极管磁敏三极管磁敏三极管磁敏三极管磁敏三极管磁敏式传感器磁敏式传感器27一、霍尔传感器一、霍尔传感器（一）霍尔效应（一）霍尔效应（一）霍尔效应（一）霍尔效应1.1.1.1.定义定义定义定义霍尔：霍尔：霍尔：霍尔：1879187918791879年年年年半导体半导体8UHbldIFLFEvB2.2.2.2.霍尔电势的产生霍尔电势的产生霍尔电势的产生霍尔电势的产生洛仑兹力洛仑兹力洛仑兹力洛仑兹力电场力电场力电场力电场力动态平衡动态平衡动态平衡动态平衡9UHbldIFLFEvB动态平衡动态平衡动态平衡动态平衡电流电流电流电流10令令令令霍尔系霍尔系数数设设设设灵敏度系灵敏度系数数霍尔电势霍尔电势霍尔电势霍尔电势3.3.3.3.霍尔系数及灵敏度霍尔系数及灵敏度霍尔系数及灵敏度霍尔系数及灵敏度半导体半导体绝缘体绝缘体 金金 属属11（二）霍尔元件（二）霍尔元件（二）霍尔元件（二）霍尔元件基于霍尔效应工作的半导体器件称为霍尔元件。基于霍尔效应工作的半导体器件称为霍尔元件。基于霍尔效应工作的半导体器件称为霍尔元件。基于霍尔效应工作的半导体器件称为霍尔元件。霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成输入引线：激励电极输入引线：激励电极输入引线：激励电极输入引线：激励电极输出引线：霍尔电极输出引线：霍尔电极输出引线：霍尔电极输出引线：霍尔电极CDAB121.1.1.1.霍尔元件的电磁特性霍尔元件的电磁特性霍尔元件的电磁特性霍尔元件的电磁特性(1)(1)霍尔输出电势与控制电流之间的关系霍尔输出电势与控制电流之间的关系霍尔输出电势与控制电流之间的关系霍尔输出电势与控制电流之间的关系(2)(2)霍尔输出电势与磁场之间的关系霍尔输出电势与磁场之间的关系霍尔输出电势与磁场之间的关系霍尔输出电势与磁场之间的关系(3)(3)霍尔元件的输入霍尔元件的输入霍尔元件的输入霍尔元件的输入R Ri i或输出电阻或输出电阻或输出电阻或输出电阻R R0 0与磁场之间的关系与磁场之间的关系与磁场之间的关系与磁场之间的关系R Ri i 控制电流电极间的电阻控制电流电极间的电阻控制电流电极间的电阻控制电流电极间的电阻R R0 0 输出霍尔电势电极间的电阻输出霍尔电势电极间的电阻输出霍尔电势电极间的电阻输出霍尔电势电极间的电阻142.2.2.2.霍尔元件的测量电路霍尔元件的测量电路霍尔元件的测量电路霍尔元件的测量电路（1 1 1 1）基本测量电路基本测量电路基本测量电路基本测量电路输出电势：输出电势：输出电势：输出电势：mVmVmVmV量级量级量级量级四端器件四端器件四端器件四端器件15（2 2 2 2）霍尔电势的输出电路）霍尔电势的输出电路）霍尔电势的输出电路）霍尔电势的输出电路线性测量：比例放大器线性测量：比例放大器线性测量：比例放大器线性测量：比例放大器线性度好、低噪声放大器线性度好、低噪声放大器线性度好、低噪声放大器线性度好、低噪声放大器开关应用：射极跟随器开关应用：射极跟随器开关应用：射极跟随器开关应用：射极跟随器灵敏度高，一般放大器灵敏度高，一般放大器灵敏度高，一般放大器灵敏度高，一般放大器163.3.3.3.霍尔元件的误差及其补偿霍尔元件的误差及其补偿霍尔元件的误差及其补偿霍尔元件的误差及其补偿 霍尔元件在加控制电流但不加外磁场时出现霍尔元件在加控制电流但不加外磁场时出现霍尔元件在加控制电流但不加外磁场时出现霍尔元件在加控制电流但不加外磁场时出现的霍尔电势称为零位误差。的霍尔电势称为零位误差。的霍尔电势称为零位误差。的霍尔电势称为零位误差。不等位电势不等位电势不等位电势不等位电势原因：原因：原因：原因：两个霍尔电极不在两个霍尔电极不在两个霍尔电极不在两个霍尔电极不在同一等位面上；同一等位面上；同一等位面上；同一等位面上；材料不均匀。材料不均匀。材料不均匀。材料不均匀。半导体固有特性半导体固有特性半导体固有特性半导体固有特性半导体制造工艺缺陷半导体制造工艺缺陷半导体制造工艺缺陷半导体制造工艺缺陷零位误差零位误差零位误差零位误差温度误差温度误差温度误差温度误差(1)(1)(1)(1)零位误差及补偿零位误差及补偿零位误差及补偿零位误差及补偿17（a a）（b b）（c c）电桥补偿方法电桥补偿方法电桥补偿方法电桥补偿方法18(2)(2)(2)(2)温度误差及补偿温度误差及补偿温度误差及补偿温度误差及补偿电阻率、迁移率、载流子浓度：电阻率、迁移率、载流子浓度：电阻率、迁移率、载流子浓度：电阻率、迁移率、载流子浓度：T T T T霍尔元件内阻、霍尔电势：霍尔元件内阻、霍尔电势：霍尔元件内阻、霍尔电势：霍尔元件内阻、霍尔电势：T T T T 采用恒流源供电，输入回路并联电阻采用恒流源供电，输入回路并联电阻采用恒流源供电，输入回路并联电阻采用恒流源供电，输入回路并联电阻 霍尔元件霍尔元件霍尔元件霍尔元件的输入电阻随的输入电阻随的输入电阻随的输入电阻随温度而变化温度而变化温度而变化温度而变化19 利用输出回路的负载进行补偿利用输出回路的负载进行补偿利用输出回路的负载进行补偿利用输出回路的负载进行补偿 霍尔元件的霍尔元件的霍尔元件的霍尔元件的输出电阻随温度输出电阻随温度输出电阻随温度输出电阻随温度而改变而改变而改变而改变只要补偿电阻选择适当，就可达到温度补偿的目的。只要补偿电阻选择适当，就可达到温度补偿的目的。只要补偿电阻选择适当，就可达到温度补偿的目的。只要补偿电阻选择适当，就可达到温度补偿的目的。20E E1 1w w3 3E E2 2w w1 1w w2 2R R2 2R R3 3R R4 4R R1 1R Rt tU UHH 实际补偿电路实际补偿电路实际补偿电路实际补偿电路温度补偿电桥温度补偿电桥温度补偿电桥温度补偿电桥W W W W1 1 1 1 的作用的作用的作用的作用21霍尔元件霍尔元件测量线路测量线路集成霍尔传感器集成霍尔传感器（三）集成霍尔传感器（三）集成霍尔传感器（三）集成霍尔传感器（三）集成霍尔传感器 集成霍尔传感器具有集成霍尔传感器具有体积小、重量轻、体积小、重量轻、功耗低、可靠性高功耗低、可靠性高等优点。等优点。221.1.开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器 开关型集成霍尔传感器是把霍尔元件的开关型集成霍尔传感器是把霍尔元件的输出经过处理后输出一个高电平或低电平的输出经过处理后输出一个高电平或低电平的数字信号。（开关信号）数字信号。（开关信号）稳压稳压稳压器、霍尔片、稳压器、霍尔片、差分放大器，施差分放大器，施密特触发器和输密特触发器和输出级等部分组成。出级等部分组成。结构：结构：结构：结构：23稳压稳压工作原理：工作原理：工作原理：工作原理：有磁场：有磁场：有磁场：有磁场：U U U UH H H H 开启阈值，开启阈值，开启阈值，开启阈值，高电平，高电平，高电平，高电平，VTVTVTVT导通导通导通导通磁场减弱：磁场减弱：磁场减弱：磁场减弱：U U U UH H H H 断开阈值，断开阈值，断开阈值，断开阈值，低电平，低电平，低电平，低电平，VTVTVTVT截止截止截止截止开状态开状态开状态开状态关状态关状态关状态关状态 12 12 10 10 8 8 6 6 4 4 2 2 0 0工作特性工作特性工作特性工作特性 工作点工作点工作点工作点“开开开开”释放点释放点释放点释放点“关关关关”磁滞磁滞磁滞磁滞高高高高低，开状态低，开状态低，开状态低，开状态低低低低高高高高，关状态，关状态，关状态，关状态24输出电压与外加磁场强度呈线性比例关系。输出电压与外加磁场强度呈线性比例关系。输出电压与外加磁场强度呈线性比例关系。输出电压与外加磁场强度呈线性比例关系。结构：霍尔元件、差结构：霍尔元件、差结构：霍尔元件、差结构：霍尔元件、差分放大器、稳压、电分放大器、稳压、电分放大器、稳压、电分放大器、稳压、电流放大输出级。流放大输出级。流放大输出级。流放大输出级。稳压稳压单端输出：单端输出：单端输出：单端输出：SL3501TSL3501TSL3501TSL3501T2.2.2.2.线性集成霍尔传感器线性集成霍尔传感器线性集成霍尔传感器线性集成霍尔传感器 广泛用于位置、力、重量、厚度、速度、磁场、广泛用于位置、力、重量、厚度、速度、磁场、广泛用于位置、力、重量、厚度、速度、磁场、广泛用于位置、力、重量、厚度、速度、磁场、电流等的测量或控制。电流等的测量或控制。电流等的测量或控制。电流等的测量或控制。251.1.1.1.霍尔位移传感器霍尔位移传感器霍尔位移传感器霍尔位移传感器磁场梯度越大，灵敏度越高磁场梯度越大，灵敏度越高磁场梯度越大，灵敏度越高磁场梯度越大，灵敏度越高磁场梯度越均匀，输出线性越好磁场梯度越均匀，输出线性越好磁场梯度越均匀，输出线性越好磁场梯度越均匀，输出线性越好测量范围：测量范围：测量范围：测量范围：1 1 1 12 mm2 mm2 mm2 mm（四）霍尔传感器的应用（四）霍尔传感器的应用（四）霍尔传感器的应用（四）霍尔传感器的应用262.2.2.2.磁感应强度测量仪磁感应强度测量仪磁感应强度测量仪磁感应强度测量仪ASL3501M SL3501M SL3501M SL3501M：霍尔线性集成传感器霍尔线性集成传感器霍尔线性集成传感器霍尔线性集成传感器RPRPRPRP1 1 1 1：调整表头量程：调整表头量程：调整表头量程：调整表头量程RPRPRPRP2 2 2 2：调零：调零：调零：调零C C C C1 1 1 1 ：低通滤波：低通滤波：低通滤波：低通滤波测量上限：测量上限：测量上限：测量上限：0.3 T0.3 T0.3 T0.3 T3.3.3.3.直流功率测量仪直流功率测量仪直流功率测量仪直流功率测量仪V274.4.4.4.转速测量转速测量转速测量转速测量永磁体安装在轴端永磁体安装在轴端永磁体安装在轴端永磁体安装在轴端永磁体安装在轴侧永磁体安装在轴侧永磁体安装在轴侧永磁体安装在轴侧285.5.5.5.测量电流测量电流测量电流测量电流测量大直流电流（测量大直流电流（测量大直流电流（测量大直流电流（10kA10kA10kA10kA）：电阻器分流）：电阻器分流）：电阻器分流）：电阻器分流霍尔元件测量电流：检测通电导线周围的磁场霍尔元件测量电流：检测通电导线周围的磁场霍尔元件测量电流：检测通电导线周围的磁场霍尔元件测量电流：检测通电导线周围的磁场（1 1 1 1）导线旁测法）导线旁测法）导线旁测法）导线旁测法（2 2 2 2）导线贯穿磁芯法）导线贯穿磁芯法）导线贯穿磁芯法）导线贯穿磁芯法简单、测量精度差、简单、测量精度差、简单、测量精度差、简单、测量精度差、受外界干扰大受外界干扰大受外界干扰大受外界干扰大环形铁芯集中磁力线，环形铁芯集中磁力线，环形铁芯集中磁力线，环形铁芯集中磁力线，提高电流测量精度提高电流测量精度提高电流测量精度提高电流测量精度296.6.6.6.自动凭票供水装置自动凭票供水装置自动凭票供水装置自动凭票供水装置控制电路301.1.1.1.磁阻效应磁阻效应磁阻效应磁阻效应 载流导体置于磁场中，其电阻随磁场而变化载流导体置于磁场中，其电阻随磁场而变化载流导体置于磁场中，其电阻随磁场而变化载流导体置于磁场中，其电阻随磁场而变化磁阻效应方程：温度恒定、弱磁场、只有电子导电磁阻效应方程：温度恒定、弱磁场、只有电子导电磁阻效应方程：温度恒定、弱磁场、只有电子导电磁阻效应方程：温度恒定、弱磁场、只有电子导电 磁感应强度为磁感应强度为磁感应强度为磁感应强度为B B B B时的电阻率时的电阻率时的电阻率时的电阻率 零磁场下的电阻率零磁场下的电阻率零磁场下的电阻率零磁场下的电阻率 电子迁移率电子迁移率电子迁移率电子迁移率 磁感应强度磁感应强度磁感应强度磁感应强度式中，式中，式中，式中，电阻率变化电阻率变化电阻率变化电阻率变化电阻率相对变化电阻率相对变化电阻率相对变化电阻率相对变化磁敏电阻：磁敏电阻：磁敏电阻：磁敏电阻：InSbInSbInSbInSb、InAsInAsInAsInAs二、磁敏电阻二、磁敏电阻31-5 -3 -1 0 1 3 5 -5 -3 -1 0 1 3 5 700700 600600 500500 400400 300300 200200 100100 0 20 40 60 800 20 40 60 80 150 150 100 100 50 502.2.2.2.磁敏电阻的特性磁敏电阻的特性磁敏电阻的特性磁敏电阻的特性 磁阻元件的温磁阻元件的温磁阻元件的温磁阻元件的温度特性不好。在应度特性不好。在应度特性不好。在应度特性不好。在应用时，一般都要设用时，一般都要设用时，一般都要设用时，一般都要设计温度补偿电路。计温度补偿电路。计温度补偿电路。计温度补偿电路。磁敏电阻的灵磁敏电阻的灵磁敏电阻的灵磁敏电阻的灵敏度一般是非线性敏度一般是非线性敏度一般是非线性敏度一般是非线性的，且受温度的影的，且受温度的影的，且受温度的影的，且受温度的影响较大。响较大。响较大。响较大。32（一）磁敏二极管（一）磁敏二极管1.1.1.1.结构结构结构结构PNPN结型的磁电结型的磁电转换元件转换元件I I I I 区：高阻本征区区：高阻本征区区：高阻本征区区：高阻本征区P P P P、N N N N：重掺杂区：重掺杂区：重掺杂区：重掺杂区P-I-NP-I-NP-I-NP-I-N结结结结I I I I 区两侧处理：区两侧处理：区两侧处理：区两侧处理：光滑：光滑：光滑：光滑：I I I I 面面面面打毛：复合面（打毛：复合面（打毛：复合面（打毛：复合面（r r r r 面）面）面）面）三、磁敏二极管和磁敏三极管三、磁敏二极管和磁敏三极管33PNH+电流电流（b）i iPNH-电流电流（c）i iPNH=0电流电流（a）i i电子电子空穴空穴复合区复合区2.2.工作原理工作原理磁场磁场磁场磁场H=0H=0H=0H=0：少量电子和空穴少量电子和空穴少量电子和空穴少量电子和空穴 在在在在 I I I I 区、区、区、区、r r r r区复合区复合区复合区复合正向磁场正向磁场正向磁场正向磁场 H H H H+：电子和空穴偏向电子和空穴偏向电子和空穴偏向电子和空穴偏向 r r r r 区，区，区，区，电流因复合增大而减小电流因复合增大而减小电流因复合增大而减小电流因复合增大而减小反向磁场反向磁场反向磁场反向磁场 H-H-H-H-：电子和空穴偏向电子和空穴偏向电子和空穴偏向电子和空穴偏向 I I I I 区，区，区，区，电流因复合减少而增大电流因复合减少而增大电流因复合减少而增大电流因复合减少而增大34 磁敏二极管在正、反向磁场作用下，其电磁敏二极管在正、反向磁场作用下，其电流发生变化，于是就实现磁电转换。流发生变化，于是就实现磁电转换。磁敏二极管磁敏二极管H=0PNi iH+PNi iH-PNi i35 1 3 5 7 9 1 3 5 7 9根据某一电压下的电流值可确定磁场的大小和方向。根据某一电压下的电流值可确定磁场的大小和方向。根据某一电压下的电流值可确定磁场的大小和方向。根据某一电压下的电流值可确定磁场的大小和方向。（1 1 1 1）伏安特性）伏安特性）伏安特性）伏安特性3.3.主要特性主要特性 磁敏二极管正向磁敏二极管正向磁敏二极管正向磁敏二极管正向偏压和通过其上电流偏压和通过其上电流偏压和通过其上电流偏压和通过其上电流的关系。的关系。的关系。的关系。不同磁场强度不同磁场强度不同磁场强度不同磁场强度HH作用下，磁敏二极作用下，磁敏二极作用下，磁敏二极作用下，磁敏二极管伏安特性不同。管伏安特性不同。管伏安特性不同。管伏安特性不同。36（2 2 2 2）磁电特性）磁电特性）磁电特性）磁电特性-0.1 0.1 0.2 0.3 0.4-0.1 0.1 0.2 0.3 0.42.02.01.5 1.5 1.01.00.50.5 0 0-0.5-0.5-1.0-1.0（3 3 3 3）温度特性）温度特性）温度特性）温度特性 -40 -20 0 20 40 60 -40 -20 0 20 40 60 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 0.5 在给定的条件下，在给定的条件下，在给定的条件下，在给定的条件下，磁敏二极管输出的电磁敏二极管输出的电磁敏二极管输出的电磁敏二极管输出的电压变化与外加磁场的压变化与外加磁场的压变化与外加磁场的压变化与外加磁场的关系。关系。关系。关系。输出电压变化量随温输出电压变化量随温输出电压变化量随温输出电压变化量随温度的变化比较大。度的变化比较大。度的变化比较大。度的变化比较大。37（二）磁敏三极管（二）磁敏三极管（二）磁敏三极管（二）磁敏三极管1.1.1.1.结构结构结构结构2.2.2.2.工作原理工作原理工作原理工作原理复合基区输运基区38复合基区输运基区复合基区输运基区复合基区输运基区无磁场作用：无磁场作用：无磁场作用：无磁场作用：e i-b e i-b e i-b e i-b：基极电流：基极电流：基极电流：基极电流 输运基区：集电极电流输运基区：集电极电流输运基区：集电极电流输运基区：集电极电流正向磁场作用：正向磁场作用：正向磁场作用：正向磁场作用：载流子偏向发射极一侧，载流子偏向发射极一侧，载流子偏向发射极一侧，载流子偏向发射极一侧，集电极电流减小集电极电流减小集电极电流减小集电极电流减小反向磁场作用：反向磁场作用：反向磁场作用：反向磁场作用：载流子偏向集电极一侧，载流子偏向集电极一侧，载流子偏向集电极一侧，载流子偏向集电极一侧，集电极电流增大集电极电流增大集电极电流增大集电极电流增大39磁敏三级管磁敏三级管 磁敏三极管在正、反向磁场作用下，其集磁敏三极管在正、反向磁场作用下，其集电极电流出现明显变化，于是就实现磁电转换。电极电流出现明显变化，于是就实现磁电转换。复合基区复合基区复合基区40（三）（三）（三）（三）应用应用应用应用例：漏磁探伤仪例：漏磁探伤仪例：漏磁探伤仪例：漏磁探伤仪显示显示仪表仪表激励线圈放大器铁芯钢棒磁敏二极管探头显示显示仪表仪表激励线圈放大器铁芯钢棒裂纹磁敏二极管探头钢棒：转动、磁化钢棒：转动、磁化钢棒：转动、磁化钢棒：转动、磁化无损伤部分：闭合磁路、无泄漏磁通，无输出信号无损伤部分：闭合磁路、无泄漏磁通，无输出信号无损伤部分：闭合磁路、无泄漏磁通，无输出信号无损伤部分：闭合磁路、无泄漏磁通，无输出信号裂纹：泄漏磁通、磁敏二极管探头输出信号裂纹：泄漏磁通、磁敏二极管探头输出信号裂纹：泄漏磁通、磁敏二极管探头输出信号裂纹：泄漏磁通、磁敏二极管探头输出信号411.1.磁电式传感器磁电式传感器2.2.磁敏式传感器磁敏式传感器小结：小结：霍尔传感器霍尔传感器霍尔传感器霍尔传感器磁敏电阻磁敏电阻磁敏电阻磁敏电阻磁敏二极管磁敏二极管磁敏二极管磁敏二极管磁敏三极管磁敏三极管磁敏三极管磁敏三极管恒磁通式和变磁通式恒磁通式和变磁通式恒磁通式和变磁通式恒磁通式和变磁通式（了解）（了解）（重点）（重点）理解：理解：工作原理工作原理 误差及其补偿误差及其补偿了解：了解：结构特性及应用结构特性及应用421.1.若一个霍尔器件的若一个霍尔器件的KH=4mV/(mAkGs)，控制电流控制电流I=3mA，将它置于将它置于1Gs5KGs变化的变化的磁场中，它输出的霍尔电势范围多大？磁场中，它输出的霍尔电势范围多大？2.2.已知某霍尔元件尺寸为长已知某霍尔元件尺寸为长L=10mm，宽宽b=3.5mm，厚厚d=1mm。沿。沿L L方向通以电流方向通以电流I=1.0mA，在垂直于，在垂直于Lb方向上加均匀磁场方向上加均匀磁场B=0.3T，输出霍尔电势，输出霍尔电势UH=6.55mV。求该霍尔。求该霍尔元件的灵敏度系数元件的灵敏度系数KH和载流子浓度和载流子浓度n是多少？是多少？作业题：作业题：432.2.霍尔电势的大小与方向和那些因素有关？霍尔电势的大小与方向和那些因素有关？3.3.总结一下霍尔元件的误差及其补偿的办法。总结一下霍尔元件的误差及其补偿的办法。思考题：思考题：4.4.简述磁敏二极管和磁敏三极管的工作原理。简述磁敏二极管和磁敏三极管的工作原理。1.1.磁电式传感器和电感式传感器有哪些不同？磁电式传感器和电感式传感器有哪些不同？44谢谢！谢谢！45