第十一章---数字式位置传感器-《自动检测技术及应用(第2版)》ppt课件

介绍介绍几种常用数字式位置传感器的结构、几种常用数字式位置传感器的结构、原理，如原理，如角编码器角编码器、M M法测速、法测速、光栅传感光栅传感器器、莫尔条纹、莫尔条纹、磁栅传感器磁栅传感器、容栅传感容栅传感器器等等，并讨论他们在，并讨论他们在直线位移直线位移和和角位移角位移精密测量以及机床位置控制中的应用。精密测量以及机床位置控制中的应用。第十一章第十一章 数字式位置传感器数字式位置传感器7/1/20241介绍几种常用数字式位置传感器的结构、原理，如角编码器、M法测11.1 位置测量方式位置测量方式11.2 角编码器角编码器11.3 光栅传感器光栅传感器11.4 磁栅传感器磁栅传感器11.5 容栅传感器容栅传感器第十一章第十一章 数字式位置传感器数字式位置传感器 目录目录进入进入进入进入进入进入进入进入进入进入7/1/2024211.1 位置测量方式第十一章 数字式位置传感器 目录进入第十一章-数字式位置传感器-自动检测技术及应用(第2版)ppt课件第十一章-数字式位置传感器-自动检测技术及应用(第2版)ppt课件5间接测量间接测量示意图示意图 随动刀具随动刀具7/1/202455间接测量示意图 随动刀具8/11/2023567/1/2024668/11/202361.1.直接测量直接测量回转工作台回转工作台旋转运动旋转运动利用角位移利用角位移传感器直接测传感器直接测量工作台的角量工作台的角位移位移7/1/202471.直接测量回转工作台旋转运动利用角位移传感器直接测量工作直接利用数字式直线位移传感器直接利用数字式直线位移传感器测量直线机床的位移量测量直线机床的位移量直接测量直接测量没有转换没有转换误差误差光栅光栅工作台运动方向工作台运动方向7/1/20248直接利用数字式直线位移传感器测量直线机床的位移量直接测量没2.2.间接测量间接测量 在在间接测量中，间接测量中，多使用旋转式位置多使用旋转式位置传感器传感器。测量到的。测量到的回转运动参数仅仅回转运动参数仅仅是中间值，但可由是中间值，但可由这中间值再推算出这中间值再推算出与之关联的移动部与之关联的移动部件的直线位移。件的直线位移。间间接测量须使用丝杠接测量须使用丝杠-螺母副、齿轮螺母副、齿轮-齿齿条副等传动机构条副等传动机构。工作台工作台丝杠丝杠编码器编码器进给电机进给电机 x7/1/202492.间接测量 在间接测量中，多使用旋转式位置传感器齿轮齿轮-齿条副的位移转换演示齿条副的位移转换演示.例例：设齿轮的分度圆设齿轮的分度圆直直径为径为200mm,齿数齿数z=100,传感器测得齿轮转过了传感器测得齿轮转过了 =180度。度。求求：1）所转过的齿数所转过的齿数N；2）齿条的齿距齿条的齿距t；3)齿条所移动的距离齿条所移动的距离 x。齿轮齿轮齿条齿条-x齿条为直线运动，齿条为直线运动，齿轮作旋转运动齿轮作旋转运动+x解解：1）所转过的齿数所转过的齿数N=(z360)=(100/360)180=50 2）齿条的齿距齿条的齿距 t=D/z=6.28mm；3）齿条所移动的距离）齿条所移动的距离x=N t=506.28=314mm.测出齿轮的角位移测出齿轮的角位移,就可测得齿条的直线位移就可测得齿条的直线位移D7/1/202410齿轮-齿条副的位移转换演示.例：设齿轮的分度圆直径为20传动机构传动机构滚珠丝杠滚珠丝杠-螺母螺母副副、齿轮齿轮-齿条副齿条副等传动机构等传动机构能够能够将旋转运动转换将旋转运动转换成直线运动成直线运动。但。但应设法消除传导应设法消除传导过程产生的过程产生的间隙间隙误差误差。齿距齿距t t齿条齿条齿轮齿轮 x7/1/202411传动机构滚珠丝杠-螺母副、齿轮-齿条副等传动机构能够将旋转运滚珠丝杠螺母副滚珠丝杠螺母副滚珠滚珠丝杠丝杠-螺母螺母副能够副能够减小传动减小传动磨檫力磨檫力，延长使，延长使用寿命，减小间用寿命，减小间隙误差。隙误差。螺母螺母丝杠丝杠x 平均螺距误差大于平均螺距误差大于10m7/1/202412滚珠丝杠螺母副滚珠丝杠-螺母副能够减小传动磨檫力，延长使用寿传动分析传动分析 设：螺距设：螺距t=4mm，丝杠在，丝杠在4s时间里转动了时间里转动了10圈，圈，求：丝杠的平均转速求：丝杠的平均转速n(r/min)及螺母移动了多少毫及螺母移动了多少毫米？螺母的平均速度米？螺母的平均速度v又为多少？又为多少？滚珠滚珠螺母螺母丝杠丝杠螺距螺距t=4mmxN=10圈时，圈时，=？度？度x=？mm 齿轮齿轮-齿条副、齿条副、螺母丝杆副等螺母丝杆副等直直线线-旋转转换设备旋转转换设备均存在间隙误差均存在间隙误差,特别是从正转切特别是从正转切换到反转时换到反转时,间隙间隙将导致测量死区将导致测量死区,必须予以补偿。必须予以补偿。7/1/202413传动分析 设：螺距t=4mm，丝杠在4s时间里转动了1 二、增量式和二、增量式和 绝对式测量绝对式测量 在在增量式增量式测量中，移动测量中，移动部件部件每移动一个基本长度每移动一个基本长度单位，位置传感器便发出单位，位置传感器便发出一个测量信号一个测量信号，此信号通，此信号通常是脉冲形式。这样，常是脉冲形式。这样，一一个脉冲个脉冲所代表的基本长度所代表的基本长度单位就是单位就是分辨力分辨力，对脉冲，对脉冲计数计数，便可得到位移量。，便可得到位移量。绝对式绝对式测量的特点是：测量的特点是：每一被测点都有一个对应的每一被测点都有一个对应的编码编码,常以常以二进制数据二进制数据形式来表示（形式来表示（例如例如:10 1011 0010:10 1011 0010）。）。即使断电之后即使断电之后再重新上电再重新上电,也能读出绝对式测量传感器当前位置的也能读出绝对式测量传感器当前位置的数据数据。典型的绝对式位置传感器有。典型的绝对式位置传感器有绝对式角编码器。绝对式角编码器。增量式测量得到的脉冲波形增量式测量得到的脉冲波形7/1/202414 二、增量式和 绝对式测量 在增量式测量中，移动部件每移动一第二节第二节 角编码器角编码器 角编码器角编码器是一种旋转式位置传感器是一种旋转式位置传感器，它的，它的转转轴通常与被测旋转轴连接轴通常与被测旋转轴连接，随被测轴一起转动。，随被测轴一起转动。角编码器能将被测轴的角位移转换成角编码器能将被测轴的角位移转换成二进制二进制编码编码或或一连串脉冲一连串脉冲。角编码器有两种基本类型：。角编码器有两种基本类型：绝对式角编码器绝对式角编码器和和增量式角编码器增量式角编码器。回目录回目录7/1/202415第二节 角编码器 角编码器是一种旋转式位置传感器，它的转轴光电脉冲角编码器示意图光电脉冲角编码器示意图167/1/202416光电脉冲角编码器示意图168/11/202316一、绝对式角编码器 绝对式码盘与绝对式码盘与增量增量式码盘式码盘有何区别？有何区别？10码道光电绝对式码盘码道光电绝对式码盘 绝对式角编码绝对式角编码器器按照角度直接进按照角度直接进行编码行编码。根据内部。根据内部结构和检测方式有结构和检测方式有接触式接触式、光电式光电式、磁阻式磁阻式等。等。透光区透光区不透光区不透光区零位标志零位标志7/1/202417一、绝对式角编码器 绝对式码盘与增量式码盘有绝对式测量角编码器绝对式测量角编码器 每一个微小的每一个微小的角位移都有一个对角位移都有一个对应的应的编码编码，常以，常以二二进制数据进制数据形式来表形式来表示。在绝对式测量示。在绝对式测量中，即使中途中，即使中途断电，断电，重新上电之后重新上电之后，当当前位置的二进制编前位置的二进制编码数据仍然不变。码数据仍然不变。10绝对式角绝对式角编码器编码器自然二进制码自然二进制码或格雷码或格雷码017/1/202418绝对式测量角编码器 每一个微小的角位移都有一个绝对式编码器（接触式）绝对式编码器（接触式）演示演示4 4个电刷个电刷 4 4位二进制位二进制码盘码盘 +5V +5V输入输入 公共码道公共码道 最小分辨角度为最小分辨角度为=360/2n=36016=22.57/1/202419绝对式编码器（接触式）演示4个电刷 4位二进制码盘 +5其他角编码器外形其他角编码器外形（参考德国图尔克传感与自动化技术专业公司光盘资料）7/1/202420其他角编码器外形（参考德国图尔克传感与自动化技术专业公司光其他角编码器外形（续）其他角编码器外形（续）7/1/202421其他角编码器外形（续）8/11/202321其他角编码器外形（续）其他角编码器外形（续）拉线式拉线式角编角编码器码器利用线轮，利用线轮，能将直线运动转能将直线运动转换成旋转运动。换成旋转运动。7/1/202422其他角编码器外形（续）拉线式角编码器利用线轮2 2绝对式光电编码器结构绝对式光电编码器结构 a a）光电码盘的平面结构光电码盘的平面结构（8 8码道码道）b b）光电码盘与光源、光敏元件的对应关系（）光电码盘与光源、光敏元件的对应关系（4 4码道）码道）高位高位低位低位7/1/2024232绝对式光电编码器结构 a）光电码盘的平面结构（8码道绝对式光电码盘与增量式码盘的区别绝对式光电码盘与增量式码盘的区别 绝对式光电码盘绝对式光电码盘（1212码道）码道）增量式光电码盘增量式光电码盘（10241024位位）高位高位低位低位7/1/202424绝对式光电码盘与增量式码盘的区别 绝对式光电码盘（12码道）绝对式绝对式光电编码器的分辨力及分辨率光电编码器的分辨力及分辨率 绝对式光电编码器绝对式光电编码器的测量分辨力取决于的测量分辨力取决于它所能分辨的最小角度，而这与码盘上的它所能分辨的最小角度，而这与码盘上的码码道数道数n 有关，即最小能分辨的角度为：有关，即最小能分辨的角度为：=360/2n分辨率分辨率=1/2n7/1/202425绝对式光电编码器的分辨力及分辨率 绝对式光电编码器增量式增量式光电编码器的分辨力及分辨率光电编码器的分辨力及分辨率增量式光电编码器增量式光电编码器的测量分辨力取决于它的测量分辨力取决于它所能分辨的最小角度，而这所能分辨的最小角度，而这与码盘圆周上的与码盘圆周上的狭缝条纹数狭缝条纹数n 有关有关，即最小能分辨的角度及分，即最小能分辨的角度及分辨率为：辨率为：7/1/202426增量式光电编码器的分辨力及分辨率增量式光电编码器的测量分辨力E1050-14E1050-14绝对式绝对式角编码器的角编码器的特性参数特性参数.位数位数14分辨力分辨力80最大误差最大误差100外尺寸外尺寸/mm 5040输出轴尺寸输出轴尺寸/mm 612重量重量/g250允许转速允许转速/rmin_1200电源电压电源电压/VDC12(5%)，5(5%)光源光源红外红外LED输出信号输出信号格雷码，格雷码，TTL电平电平使用温度使用温度40+55工作环境工作环境相对湿度相对湿度/（%）相对湿度相对湿度95（35时）时）振动振动/g6冲击冲击/g507/1/202427E1050-14绝对式角编码器的特性参数.位数14分辨二、增量式编码器转轴转轴盘码及盘码及狭缝狭缝光敏元件光敏元件光栏板及辨向用的光栏板及辨向用的A、B狭缝狭缝LEDABC零位标志零位标志ABC7/1/202428二、增量式编码器转轴盘码及狭缝光敏元件光栏板及辨向用的A、B 分辨力分辨力 360/条纹条纹数数例：条纹数例：条纹数1024 360/10240.352 增量式光电编码器增量式光电编码器的内部结构的内部结构1转轴转轴 2LED 3光栏板光栏板 4零标志零标志 5光敏元件光敏元件 6码盘码盘 7印制电路板印制电路板 8电源及信号线连接座电源及信号线连接座 一个脉冲对应一个分辨一个脉冲对应一个分辨角角 增量式编码器（增量式编码器（INC）7/1/202429 分辨力360/条纹数360/10240.3辨向原理辨向原理 光光敏敏元元件件所所产产生生的的信信号号A A、B B彼彼此此相相差差9090 相相位位。当当码码盘盘正正转转时时，A A信信号号超超前前B B信信号号9090；当当码码盘盘反反转时，转时，B B信号超前信号超前A A信号信号9090。LED光栏板及光栏板及A、B狭缝狭缝cossinC：零位检测：零位检测7/1/202430辨向原理 光敏元件所产生的信号A、B彼此相差90相位。当光电编码器的两个光电编码器的两个“辨向元件辨向元件”光栏板上的两光栏板上的两个狭缝距离是个狭缝距离是码盘上的两个码盘上的两个狭缝距离狭缝距离W的的(m+1/4)倍倍,m 为正为正整数整数,并设置了并设置了两组光敏元件两组光敏元件A、B,有时又称为有时又称为cos、sin元件。元件。W(m+1/4)W A相位超前相位超前B:90（1/4周期周期）例例:W=1mm,cos与与sin元件的距离可以是元件的距离可以是6.25或或8.25mm等等7/1/202431光电编码器的两个“辨向元件”光栏板上的两个狭缝距离是码盘上 两路光电信号判断旋转方向两路光电信号判断旋转方向 A超前于超前于B，判断为，判断为正向旋转正向旋转，A也称为也称为cos信号；信号；B也称为也称为sin信号。信号。A A滞后于滞后于B B，判断为，判断为反向旋转反向旋转7/1/202432 两路光电信号判断旋转方向 A超前于B，判断为正向旋转，A滞辨向信号和零标志辨向信号和零标志 光光电电编编码码器器的的光光栏栏板板上上有有A与与B两两组组狭狭缝缝，彼彼此此错错开开1/4节节距距，两两组组狭狭缝缝相相对对应应的的光光敏敏元元件件所所产产生生的的信信号号A、B彼彼此此相相差差90 相相位位，用用于于辩辩向向（辨辨别别旋旋转转方方向向）。当当码码盘盘正正转转时时，A信信号号超超前前B信信号号90；当当码码盘盘反转时，反转时，B信号超前信号超前A信号信号90。(请画出反转时信号请画出反转时信号B的波形）的波形）在在码码盘盘里里圈圈，还还有有一一根根狭狭缝缝C，每每转转能能产产生生一一个个脉脉冲冲，该该脉脉冲冲信信号号又又称称“一一转转信信号号”或或零零标标志志脉脉冲冲，作为测量的作为测量的起始基准起始基准。7/1/202433辨向信号和零标志 光电编码器的光栏板上有A与B两组狭缝 零标志（一转脉冲）零标志（一转脉冲）波形及作用波形及作用 一转（360）CC 在在码码盘盘里里圈圈，有有一一条条狭狭缝缝C C，码码盘盘每每转转一一圈圈，产产生生一一个个脉脉冲冲。该该脉脉冲冲信信号号又又称称“一一转转信信号号”或或零零标标志志脉脉冲冲，作作为为测测量量的的起起始始基基准准（0 0）。ABC907/1/202434 零标志（一转脉冲）波形及作用 一转（360）CC 在三、角编码器的应用三、角编码器的应用 角角编编码码器器除除了了能能直直接接测测量量角角位位移移或或间间接接测测量量直直线线位位移移外外，还还可可用用于于数数字字测测速速（转转速速、直直线线位位移移速速度度）、工工位位编编码码、伺伺服电机控制服电机控制等。等。7/1/202435三、角编码器的应用 角编码器除了能直接测量角位移或间接测M法测速和法测速和T T法测速法测速a）M法测速法测速 b）T法测速法测速7/1/202436M法测速和T法测速a）M法测速 b）T法测速8/11/20M法测速（适合于高转速场合）法测速（适合于高转速场合）m1 编编码码器器每每转转产产生生 N 个个脉脉冲冲，在在ts时时间间段段内有内有 m1 个脉冲产生，则转速（个脉冲产生，则转速（r/min)为为：n=60m1/(NT)1 ts7/1/202437M法测速（适合于高转速场合）m1 编码器每转M法门控测速电路法门控测速电路先先利用施密特触发器将角编码器的输出脉冲三角波利用施密特触发器将角编码器的输出脉冲三角波转换为矩形波转换为矩形波。当与门的当与门的C端为高电平时，端为高电平时，b端的信号端的信号可以通过与门，到达可以通过与门，到达d端端，然后，然后单片机进行计数，得到单片机进行计数，得到m1个计数结果个计数结果。7/1/202438M法门控测速电路先利用施密特触发器将角编码器的输出脉冲三角波M M法测速的计算法测速的计算 在一定的时间间隔在一定的时间间隔ts内（内（ts=t 闸门闸门=t门控门控，如，如10s、1s、0.1s等），用编码器所产生的脉冲数来确定速度的方法等），用编码器所产生的脉冲数来确定速度的方法称为法测速。称为法测速。若编码器每转产生若编码器每转产生N个脉冲，在个脉冲，在ts的闸门时间间隔内的闸门时间间隔内得到得到m1个脉，则编码器所产生的脉冲频率为个脉，则编码器所产生的脉冲频率为则转速则转速n（单位为（单位为r/min）为）为7/1/202439M法测速的计算 在一定的时间间隔ts内（ts=t 11误差简述误差简述M法测速的本质是测频法测速的本质是测频。误差主要由两个因素决。误差主要由两个因素决定：定：一是闸门时间一是闸门时间ts的误差，可以使用晶振来提高闸门的误差，可以使用晶振来提高闸门时间的准确性；时间的准确性；二是量化误差二是量化误差，又称为，又称为1误差，见下图，原理见误差，见下图，原理见后述。后述。ts7/1/2024401误差简述M法测速的本质是测频。误差主要由两个因素决定：t2）产生）产生1误差的原因：测频时，计数脉冲通过闸误差的原因：测频时，计数脉冲通过闸门进入计数器。门进入计数器。由于闸门开启时刻（秒信号的上升沿）由于闸门开启时刻（秒信号的上升沿）和被测计数脉冲上升沿到来的时刻之间的关系是随机和被测计数脉冲上升沿到来的时刻之间的关系是随机的的,有可能在有可能在第二个第二个t闸门闸门时间里，比在第一个时间里，比在第一个t闸门闸门时间时间多计数了一个脉冲，或少计数了一个脉冲多计数了一个脉冲，或少计数了一个脉冲,就造成了就造成了误差。误差。ts7/1/2024412）产生1误差的原因：测频时，计数脉冲通过闸门进入计数器。例例 某角编码器的技术指标为某角编码器的技术指标为1024个脉冲个脉冲/r（即（即N1024P/r=1K），在），在0.2s时间内，时间内，测得测得100个脉冲，即个脉冲，即ts=0.2s，m=100，求：，求：1）转速）转速n；2）1误差引起的转速测量误差为误差引起的转速测量误差为多少多少r/min。3）如果将）如果将ts延长到延长到1s，求，求1误差引误差引起的转速测量误差为多少起的转速测量误差为多少r/min。解解 1）角编码器轴的转速）角编码器轴的转速n为为7/1/202442例 某角编码器的技术指标为1024个脉冲/r（即N103）如果将）如果将ts延长到延长到1s，m必然增加到必然增加到500，则，则结结论论：采采样样时时间间为为1s时时计计算算得得到到的的转转速速，与与在在0.2s时时间间内内测测得得的的转转速速相相同同，但但1个个脉脉冲冲引引起起的误差显然缩小。的误差显然缩小。2）由于）由于1误差，在误差，在ts时间段里，计数得到的脉时间段里，计数得到的脉冲数冲数m=1001个脉冲，则个脉冲，则7/1/2024433）如果将ts延长到1s，m必然增加到500，则结论：采M M法测速计算法测速计算T例例：有有一一增增量量式式光光电电编编码码器器，其其参参数数为为1024p/r，在在5s时时间间内内测测得得65536个个单单向向脉脉冲冲，求：转速求：转速n（r/min)解解：n=6065536 1024 5=768 r/min m17/1/202444M法测速计算T例：有一增量式光电编码器，其参数为1024p/T法测速（适合于低转速场合）法测速（适合于低转速场合）时钟脉冲时钟脉冲fc 编码器输出脉冲编码器输出脉冲 m2 编编码码器器每每转转产产生生 N 个个脉脉冲冲，用用已已知知频频率率fc作作为为时时钟钟，填填充充到到角角编编码码器器输输出出的的两两个个相相邻邻脉冲之间脉冲之间的脉冲数为的脉冲数为m2个，则转速个，则转速(r/min)为为 n=60fc/(Nm2)7/1/202445T法测速（适合于低转速场合）时钟脉冲fc 编码器输出脉冲 mT法测速举例法测速举例时钟脉冲时钟脉冲fc 编码器输出脉冲编码器输出脉冲 m2 解：解：n=60fc/(Nm2)=60106(10243000)=19.53 r/min例例：有一增量式光电编码器，其参数为：有一增量式光电编码器，其参数为1024p/r，插，插入时钟频率入时钟频率fc为为1MHz。测得输出两个相邻脉冲之间。测得输出两个相邻脉冲之间的脉冲数为的脉冲数为3000，求转速，求转速n（r/min)7/1/202446T法测速举例时钟脉冲fc 编码器输出脉冲 m2 解安装套安装套编码器的安装方式编码器的安装方式 1.1.编码器编码器的套式安装的套式安装7/1/202447安装套编码器的安装方式 1.编码器的套式安装8/11/2安装轴安装轴2.2.编码器的轴式安装编码器的轴式安装7/1/202448安装轴2.编码器的轴式安装8/11/202348编码器在伺服电机中的应用编码器在伺服电机中的应用利用利用编码器编码器测量测量伺服电机的转速伺服电机的转速、转角转角，并，并通过伺服通过伺服控制系统控制系统控制其各控制其各种运行参数。种运行参数。转速测量转速测量转子磁极位置测量转子磁极位置测量角位移测量角位移测量7/1/202449编码器在伺服电机中的应用利用编码器测量伺服电机的转速、转角，编码器在伺服电机中的应用编码器在伺服电机中的应用a）外形）外形 b）控制系统框图）控制系统框图1 电动机转子轴电动机转子轴 2电动机本体电动机本体 3光电编码器光电编码器4三相电源连接座三相电源连接座 5光电角编码器输出（航空插头）光电角编码器输出（航空插头）7/1/202450编码器在伺服电机中的应用a）外形 b）控制系统框图8/11增量式编码器在定位增量式编码器在定位加工中的加工中的应用应用（例（例1，增量式），增量式）11绝对式编码器绝对式编码器 2电动机电动机 3转轴转轴 4转盘转盘 5工件工件 6刀具刀具 设该增量式光电编码器的参设该增量式光电编码器的参数为数为1024 p/r，大、小皮带轮，大、小皮带轮的的传动比为传动比为5，若希望当加工，若希望当加工好元件好元件3后紧接着加工元件后紧接着加工元件4，则电动机应转动多少分之，则电动机应转动多少分之几圈？应等待几圈？应等待角编码器给出角编码器给出多少脉冲数时多少脉冲数时，电动机停转电动机停转？7/1/202451增量式编码器在定位加工中的应用（例1，增量式）1绝对式编绝对式编码器在定位绝对式编码器在定位加工中的加工中的应用应用（例（例 2，绝对式计算），绝对式计算）11绝对式编码器绝对式编码器 2电动机电动机 3转轴转轴 4转盘转盘 5工件工件 6刀具刀具 设工位设工位1 1刚已完成加工，要刚已完成加工，要使处于工位使处于工位2 2上的工件转到加上的工件转到加工点等待钻加工，计算机就控工点等待钻加工，计算机就控制电动机，使带轮带动转盘制电动机，使带轮带动转盘逆逆时针旋转时针旋转。与此同时，绝对式。与此同时，绝对式角编码器（假设为角编码器（假设为4 4码道）输码道）输出的编码不断变化。当输出出的编码不断变化。当输出从从00000000变为变为00100010时时，表示转盘已，表示转盘已将工位将工位2 2转到图中的加工点，转到图中的加工点，电动机停转，并急刹车。电动机停转，并急刹车。也可以在也可以在即将到达设定的二进即将到达设定的二进制编码时制编码时,预先断电预先断电,再刹车。再刹车。7/1/202452绝对式编码器在定位加工中的应用（例 2，绝对式计算）1绝数控数控加工中心加工中心7/1/202453数控加工中心8/11/202353 编码器在数控编码器在数控加工中心的刀库选加工中心的刀库选刀控制中刀控制中的应用的应用旋转刀库旋转刀库被加工工件被加工工件刀具刀具角编码器的输出为角编码器的输出为当前刀具号当前刀具号角编码器与角编码器与 旋转刀库连接旋转刀库连接7/1/202454 编码器在数控加工中心的刀库选刀控制中的应用旋转刀库 用不同的刀具用不同的刀具完成不同的加工完成不同的加工 皮带式刀库皮带式刀库7/1/202455 用不同的刀具完成不同的加工 皮带式角编码器角编码器用于汽车用于汽车壳体焊接壳体焊接机械手机械手绝对式角绝对式角编码器安装编码器安装于机械手的于机械手的各个关节，各个关节，角度变化与角度变化与设定值对比，设定值对比，步进电机控步进电机控制。制。7/1/202456角编码器用于汽车壳体焊接机械手绝对式角编码器安装于机械手的各第三节第三节 光栅传感器光栅传感器 一、光栅的类型和结构一、光栅的类型和结构 计量光栅可分为计量光栅可分为透射式光栅透射式光栅和和反射式光栅反射式光栅两两大类，均由大类，均由光源光源、光栅副光栅副、光敏元件光敏元件三大部分三大部分组成。计量光栅按形状又可分为组成。计量光栅按形状又可分为长光栅长光栅和和圆光圆光栅栅。光栅副光栅副由由光栅尺光栅尺和和光电扫描头光电扫描头组成。组成。光电扫描头光电扫描头由细分辨向用光敏元件（由细分辨向用光敏元件（2路或路或4路）、零位光敏元件等组成。路）、零位光敏元件等组成。回目录回目录7/1/202457第三节 光栅传感器 一、光栅的类型和结构 计量光栅可分为尺身尺身尺身安装孔尺身安装孔 反射式扫描头反射式扫描头 （与移动部件固定）（与移动部件固定）扫描头安装孔扫描头安装孔可移动电缆可移动电缆光栅的外形及结构光栅的外形及结构防尘保护罩的内部为长磁栅防尘保护罩的内部为长磁栅7/1/202458尺身尺身安装孔 反射式扫描头 扫描头扫描头（与移动部件固定）（与移动部件固定）光栅尺光栅尺可移动电缆可移动电缆光栅的外形及结构（续）光栅的外形及结构（续）7/1/202459扫描头（与移动部件固定）光栅尺可移动电缆光栅的外形及结构（续透射式直线光栅结构及组成透射式直线光栅结构及组成 1光源光源 2透镜透镜 3指示光栅指示光栅 4主光栅（标尺光栅）主光栅（标尺光栅）5零位零位光栅光栅 6细分辨向用光敏元件细分辨向用光敏元件（2路或路或4路）路）7零位光敏元件零位光敏元件 光光源源、透透镜镜、指指示示光光栅栅及及光光敏敏元元件件均均固固定定在在扫扫描描头头内，随扫描头一起联动。内，随扫描头一起联动。7/1/202460透射式直线光栅结构及组成 1光源 2透镜 透射式光栅透射式光栅7/1/202461透射式光栅8/11/202361透射式圆光栅透射式圆光栅固定固定(只画出其中一小部分只画出其中一小部分)7/1/202462透射式圆光栅固定(只画出其中一小部分)8/11/202362反射式光栅反射式光栅7/1/202463反射式光栅8/11/202363反射式光栅及读出光电信号莫尔条纹演示反射式光栅及读出光电信号莫尔条纹演示7/1/202464反射式光栅及读出光电信号莫尔条纹演示8/11/202364莫尔条纹莫尔条纹的光学放大作用的光学放大作用 在透射式直线光栅中，在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起相对叠合在一起，中间留有很小的间隙中间留有很小的间隙，并使两者的栅并使两者的栅线保持很小的夹角线保持很小的夹角。在两条光栅的透光线的重合处，在两条光栅的透光线的重合处，光从缝隙透过，形成亮带光从缝隙透过，形成亮带；在两光栅刻线的不透光处，在两光栅刻线的不透光处，由于相互挡光作用而形成暗带由于相互挡光作用而形成暗带。光栅的刻线宽度光栅的刻线宽度W莫尔条纹的宽度莫尔条纹的宽度L L 暗线到暗线的暗线到暗线的间距间距 LW/，（为主为主光栅和光栅和指示光栅刻线的指示光栅刻线的夹角，弧度夹角，弧度）7/1/202465莫尔条纹的光学放大作用 在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光莫尔条纹莫尔条纹的光学放大作用的光学放大作用（暗线到暗线的间距大于刻线的间距）（暗线到暗线的间距大于刻线的间距）暗线到暗线的间距暗线到暗线的间距栅距栅距透射光线透射光线7/1/202466莫尔条纹的光学放大作用（暗线到暗线的间距大于刻线的间距）莫尔条纹莫尔条纹演示演示7/1/202467莫尔条纹演示8/11/202367莫尔条纹莫尔条纹光学光学放大作用的计算放大作用的计算 例例:有一直线光栅，每毫米刻线数为有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示，主光栅与指示光栅的夹角光栅的夹角 =1.8=1.8 3.14/180 弧度，求：分辨弧度，求：分辨力力解解：分辨力分辨力 =栅距栅距W=1mm50=0.02mm=20 m （由于栅距很小，因此（由于栅距很小，因此无法观察光强的变化无法观察光强的变化）由以下计算可知，由以下计算可知，莫尔条纹的宽度是栅距的莫尔条纹的宽度是栅距的32倍倍：L W/=0.02mm/(1.8 3.14/180 )=0.02mm0.0314=0.02mm32=0.64mm 由于由于莫尔条纹间距莫尔条纹间距有有0.64mm，因此，因此可以用小面积的可以用小面积的光电池光电池，通过，通过“狭缝狭缝”来来“观察观察”莫尔条纹莫尔条纹光强的变光强的变化化。LW7/1/202468莫尔条纹光学放大作用的计算 例:有一直线光栅，每毫米刻线光栅输出信号（正弦波，光栅输出信号（正弦波，1V1V）细分点细分点余弦信号余弦信号正弦信号正弦信号零位信号零位信号7/1/202469光栅输出信号（正弦波，1V）细分点余弦信号正弦信号零位信号8光栅输出信号整形后转换为光栅输出信号整形后转换为TTLTTL电平电平整形后的整形后的余弦信号余弦信号（超前）（超前）整形后的整形后的正弦信号正弦信号（滞后（滞后90）零位信号零位信号7/1/202470光栅输出信号整形后转换为TTL电平整形后的余弦信号整形后的零sin和和cos光敏元件的光敏元件的输出电压波形及细分脉冲输出电压波形及细分脉冲 a）光栅位移与光强及输出电压的关系）光栅位移与光强及输出电压的关系 b）整形后方波的上升沿和下降沿）整形后方波的上升沿和下降沿 c）4细分脉冲细分脉冲7/1/202471sin和cos光敏元件的输出电压波形及细分脉冲 脉冲细分脉冲细分细细分分技技术术能能在在不不增增加加光光栅栅刻刻线线数数及及价价格格的的情情况况下下提提高高光光栅栅的的分辨力分辨力。细细分分前前，光光栅栅的的分分辨辨力力只只有有一一个个栅栅距距的的大小大小。采采用用4 4细细分分技技术术后后，计计数数脉脉冲冲的的频频率率提提高高了了4 4倍倍，相相当当于于原原光光栅栅的的分分辨辨力力提提高高了了3 3倍倍，较较大大地地提提高高了了测测量准确度。量准确度。细分前细分前细分后细分后7/1/202472脉冲细分细分技术能在不增加光栅刻线数及价格的情况下提高光栅的光栅细分光栅细分举例举例 例例：有一直线光栅，每毫米刻线数为：有一直线光栅，每毫米刻线数为50，采，采用用4细分细分技术，求：细分前后的分辨力技术，求：细分前后的分辨力 。解解：分辨力：分辨力 =W/4=(1mm/50)4 =0.02mm 4=0.005mm=5 m结论：在结论：在不增加光栅刻线数（成本）不增加光栅刻线数（成本）的情况的情况下，采用细分技术，将分辨力提高了下，采用细分技术，将分辨力提高了3倍倍（数值变小）。（数值变小）。7/1/202473光栅细分举例 例：有一直线光栅，每毫米刻线数为50，采用4细辨向电路及波形辨向电路及波形 如果传感器只安装一套光电元件，则在如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，实际应用中，无论光栅作正向移动还是反无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，无法分辨位移的方向。无法分辨位移的方向。例例：某：某1024p/r 圆光栅，正转圆光栅，正转10圈，反转圈，反转 4 圈，圈，若不采取辨向措施，则计数器将错误地得到若不采取辨向措施，则计数器将错误地得到14336个脉冲。求：个脉冲。求：采用辨向电路后的计数值采用辨向电路后的计数值。解解：辨向后的计数值为辨向后的计数值为 N=101024-410246144个脉冲个脉冲。7/1/202474辨向电路及波形 如果传感器只安装一套光电元件，则在实际正向运动正向运动产生产生加法脉冲加法脉冲 正向运动正向运动时，只有与时，只有与门门IC1有有“加加”计数脉冲计数脉冲输出。而与输出。而与门门IC2无无“减减”计数脉冲计数脉冲输出。反向输出。反向运动时，情运动时，情况相反，计况相反，计算机做减法。算机做减法。7/1/202475正向运动产生加法脉冲 正向运动时，只有与门IC1有“加”微机光栅数显表的组成框图微机光栅数显表的组成框图 在微机光栅数显表中，在微机光栅数显表中，放大、整形采用传统的集放大、整形采用传统的集成电路成电路，辨向、细分由单片机来完成辨向、细分由单片机来完成。7/1/202476微机光栅数显表的组成框图 在微机光栅数显表中，为光栅设计的专用数据转接器为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡）（光栅计数卡）内部包含以下电路：内部包含以下电路：放大、整形、细放大、整形、细分、辨向、报警、阻抗变换分、辨向、报警、阻抗变换等。等。7/1/202477为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡）内部为光栅设计为光栅设计的专用信号的专用信号处理单元处理单元 （光栅插补器）（光栅插补器）功能：功能：放大、整形、放大、整形、细分、辨向、报警、细分、辨向、报警、阻抗变换阻抗变换等。等。7/1/202478为光栅设计的专用信号处理单元 （光栅插补器）功能：光栅在机床上的安装位置光栅在机床上的安装位置（2 2个自由度）个自由度）7/1/202479光栅在机床上的安装位置（2个自由度）8/11/202379光栅在机床上的安装位置光栅在机床上的安装位置（3个自由度）个自由度）数显表数显表7/1/202480光栅在机床上的安装位置（3个自由度）数显表8/11/2023光栅在机床上光栅在机床上的安装位置的安装位置 （3个自由度）个自由度）（续）（续）7/1/202481光栅在机床上的安装位置 （3个自由度）（续）8/11/2 2自由度光栅数显表自由度光栅数显表X位移位移显示显示Z或或Y位移位移显示显示7/1/2024822自由度光栅数显表X位移显示Z或Y位移显示8/11/20233 3自由度光栅数显表自由度光栅数显表7/1/2024833自由度光栅数显表8/11/202383光栅数显表（续）光栅数显表（续）三座标三座标数显表数显表7/1/202484光栅数显表（续）三座标数显表8/11/202384SDS8-3E SDS8-3E 光栅数显箱功能光栅数显箱功能:公制公制/英制转换英制转换 绝对绝对/相对转换相对转换 线性误差补偿线性误差补偿 正反方向计算正反方向计算 归零归零 插值补偿插值补偿 到达目标值停机到达目标值停机 PCD圆周分孔圆周分孔 200组零位记忆组零位记忆 掉电记忆掉电记忆 7/1/202485SDS8-3E 光栅数显箱功能:公制/英制转换 光栅数显表（续）光栅数显表（续）设定按键设定按键7/1/202486光栅数显表（续）设定按键8/11/202386安装有直线光栅的数控机床加工实况安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅防护罩内为直线光栅光栅扫描头光栅扫描头被加工工件被加工工件切削刀具切削刀具角编码器角编码器安装在夹安装在夹具的端部具的端部7/1/202487安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅光栅扫描第四节第四节 磁栅传感器磁栅传感器 磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可测量范围宽可超过十几米超过十几米，抗干扰能力强。磁栅，抗干扰能力强。磁栅可分为可分为长磁栅长磁栅和和圆磁栅圆磁栅。长磁栅主要用于直线位。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。磁栅传感磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。目前目前还出现了还出现了磁敏电阻磁敏电阻原理的原理的磁头磁头，可，可不必设置励磁不必设置励磁电路电路，检测速度也进一步提高检测速度也进一步提高。还有一种。还有一种“空间空间静磁栅静磁栅”，在失电，在失电上电后，仍能正确地反映失上电后，仍能正确地反映失电前的位置或角度，实现了磁栅的电前的位置或角度，实现了磁栅的“绝对编码绝对编码”。回目录回目录7/1/202488第四节 磁栅传感器 磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装磁栅的外形及结构磁栅的外形及结构磁尺磁尺静态磁头静态磁头去信号处理电路去信号处理电路固定孔固定孔7/1/202489磁栅的外形及结构磁尺静态磁头去信号处理电路固定孔8/11/2磁栅测量系统磁栅测量系统数显表数显表1磁头磁头磁尺边缘压磁尺边缘压紧在机床上紧在机床上卷状磁尺卷状磁尺接口电路接口电路数显表数显表2预先用预先用激光干涉激光干涉仪录磁仪录磁7/1/202490磁栅测量系统数显表1磁头磁尺边缘压紧在机床上卷状磁尺接口电路磁栅在机床上的安装磁栅在机床上的安装磁栅尺磁栅尺磁磁栅栅价价格格低低于于光光栅栅，且且录录磁磁方方便便、易易于于安安装装，测测量量范范围围宽宽可可超超过过十十几几米米，抗抗振振动动和和抗抗冲冲击击能能力力强强。长长磁磁栅栅主主要要用用于于直直线线位位移移测测量量，圆圆磁磁栅栅主主要要用用于于角角位位移移测测量量。磁磁栅栅传传感感器器主主要要由由磁磁尺尺、磁磁头头和和信信号号处处理理电电路路组成组成。数显表数显表7/1/202491磁栅在机床上的安装磁栅尺磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示7/1/202492磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示8/11/202392鉴相型磁栅数显表的原理框图鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁尺与磁头磁尺与磁头属于接触式测量属于接触式测量，由于摩擦等因数，使用寿命不由于摩擦等因数，使用寿命不如光栅，数年后如光栅，数年后易退磁易退磁。cos、sin磁头相磁头相距整数倍距整数倍W再加再加1/4栅距栅距磁尺磁尺7/1/202493鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁尺与磁头属于接触式测量，XCCB磁栅磁栅传感器的传感器的特性参数特性参数 .刻线数刻线数/线线mm_ _120分辨力分辨力/m0.5最大误差最大误差/m(5+5L/1000)全长全长/mmL+143有效长度有效长度L/mm100900最大行程最大行程/mmL+22mm最大响应速度最大响应速度/mmin_ _160激励源激励源10kHz脉冲脉冲/mm(细分前细分前)20(TTL电平）电平）移动寿命移动寿命/km9000电缆最大长度电缆最大长度/m307/1/202494XCCB磁栅传感器的特性参数.刻线数/线mm_120分例：某磁栅传感器特性见上页，例：某磁栅传感器特性见上页，刻线数为每刻线数为每mm20mm20线，现希望分辨力达到线，现希望分辨力达到1 1 m m，求细分数。求细分数。解解：XCCB磁栅传感器细分以前的分辨力磁栅传感器细分以前的分辨力1W=1mm20=50 m 则：则：细分数细分数m=50 m0.5 m=100细分细分结论：结论：需使用多磁头来组成细分电路，并由需使用多磁头来组成细分电路，并由专专用高速模块用高速模块进行计算，才能达到进行计算，才能达到100细分的要细分的要求。求。除此之外，细分后的除此之外，细分后的绝对误差比绝对误差比50 m大好大好几倍，必须通过激光干涉仪标定，才能逐段修几倍，必须通过激光干涉仪标定，才能逐段修正绝对误差正绝对误差。7/1/202495例：某磁栅传感器特性见上页，刻线数为每mm20线，现希望分辨磁栅测量系统磁栅测量系统压板压板磁头磁头磁尺磁尺7/1/202496磁栅测量系统压板磁头磁尺8/11/202396磁栅在磨床测长系统中的应用磁栅在磨床测长系统中的应用磁尺磁尺磁头安装在何处？磁头安装在何处？7/1/202497磁栅在磨床测长系统中的应用磁尺磁头安装在何处？8/11/20磁栅在铣床磁栅在铣床直线位移测直线位移测量中的应用量中的应用磁尺磁尺数显表数显表7/1/202498磁栅在铣床直线位移测量中的应用磁尺数显表8/11/20239第五节第五节 容栅传感器容栅传感器 容栅传感器是基于容栅传感器是基于变面积变面积工作原理的电工作原理的电容传感器，它的容传感器，它的电极排列如同栅状电极排列如同栅状。与其。与其他大位移传感器，如光栅、磁栅等相比，他大位移传感器，如光栅、磁栅等相比，虽然准确度差一个数量级，但虽然准确度差一个数量级，但体积小、造体积小、造价低、耗电省价低、耗电省，广泛应用于电子数显卡尺、，广泛应用于电子数显卡尺、千分尺、高度仪、坐标仪等千分尺、高度仪、坐标仪等几百毫米以下几百毫米以下行程的测量中，分辨力为行程的测量中，分辨力为10m。回目录回目录7/1/202499第五节 容栅传感器 容栅传感器是基于变面积工作原理的电容传结构及工作原理结构及工作原理 容容栅栅传传感感器器可可分分为为三三类类：直直线线型型容容栅栅、圆圆容容栅栅。其其中中，直直线线型型容容栅栅传传感感器器用用于于直直线线位位移移的的测测量量，圆圆形形容容栅栅传传感感器器用于角位移的测量用于角位移的测量。7/1/2024100结构及工作原理 容栅传感器可分为三类：直线型容栅、容栅的结构容栅的结构 a a）动尺和定尺上的电极）动尺和定尺上的电极 b b）定尺、动尺的位置关系）定尺、动尺的位置关系 c c）发射电极和反射电极的相互关系）发射电极和反射电极的相互关系1 1发射电极发射电极 2 2反射电极反射电极 3 3接收电极接收电极 4 4屏蔽电极屏蔽电极7/1/2024101容栅的结构 a）动尺和定尺上的电极 b）定尺、动尺的位置关容栅结构放大图容栅结构放大图 a a）动尺和定尺上的电极）动尺和定尺上的电极 b b）定尺、动尺的位置关系）定尺、动尺的位置关系 c c）发射电极和反射电极的相互关系）发射电极和反射电极的相互关系1 1发射电极发射电极 2 2反射电极反射电极 3 3接收电极接收电极 4 4屏蔽电极屏蔽电极7/1/2024102容栅结构放大图 a）动尺和定尺上的电极 b）定尺容栅传感器的内部结构及容量变化曲线容栅传感器的内部结构及容量变化曲线节距节距5.09mm（线路板（线路板上导电极板的间距），上导电极板的间距），分辨力分辨力0.01mm，采用，采用8组容栅进行细分。组容栅进行细分。随着转子与定子电极的重合或分离，电容量周期变化随着转子与定子电极的重合或分离，电容量周期变化7/1/2024103容栅传感器的内部结构及容量变化曲线节距5.09mm（线路板上容栅的结构容栅的结构 当当“动尺动尺”相对相对“定尺定尺”移动移动x距离时距离时,“发射电极发射电极”与与“反射电极反射电极”间的间的相对面积发生变化相对面积发生变化,反射电极上的电反射电极上的电荷量发生变化荷量发生变化,并并将电荷感应到将电荷感应到“接收电极接收电极”上上,在接收在接收电极上累积的电极上累积的电荷电荷Q与位移量与位移量x成正比成正比。经运算器处理后。经运算器处理后进行公进行公/英制转换和英制转换和BCD码转换码转换,再由译码器将再由译码器将BCD码转码转变成七段码变成七段码,送显示驱动单元。送显示驱动单元。容栅传感器使用容栅传感器使用“锁相环锁相环”倍频。倍频。7/1/2024104容栅的结构 当“动尺”相对“定尺”移动x距离时,“发射电极”容栅传感器特性指标容栅传感器特性指标量程：量程：025mm；节距节距5.09mm；分辨力：分辨力：0.001mm或或0.000057/1/2024105容栅传感器特性指标量程：025mm；节距5.09mm；8/各种容栅各种容栅测量装置测量装置7/1/2024106各种容栅测量装置8/11/2023106各种容栅数显表各种容栅数显表7/1/2024107各种容栅数显表8/11/2023107各种容栅数显卡尺各种容栅数显卡尺7/1/2024108各种容栅数显卡尺8/11/2023108各种容栅数显卡尺（续）该卡尺的分辨力为多少微米？该卡尺的分辨力为多少微米？7/1/2024109各种容栅数显卡尺（续）该卡尺的分辨力为多少微米？8/11/2各种容栅卡尺（续）各种容栅卡尺（续）7/1/2024110各种容栅卡尺（续）8/11/2023110各种容栅数显卡尺（续）各种容栅数显卡尺（续）外卡尺外卡尺汽车专用卡尺汽车专用卡尺7/1/2024111各种容栅数显卡尺（续）外卡尺汽车专用卡尺8/11/20231各种容栅数显卡尺（续）各种容栅数显卡尺（续）内卡尺内卡尺7/1/2024112各种容栅数显卡尺（续）内卡尺8/11/2023112容栅数显卡尺的结构容栅数显卡尺的结构7/1/2024113容栅数显卡尺的结构8/11/2023113容栅数显卡尺内的数据容栅数显卡尺内的数据和信号处理组合功能块和信号处理组合功能块7/1/2024114容栅数显卡尺内的数据和信号处理组合功能块8/11/20231数显千分尺数显千分尺该千分尺的分辨力为多少微米？该千分尺的分辨力为多少微米？7/1/2024115数显千分尺该千分尺的分辨力为多少微米？8/11/202311数显千分尺（续）数显千分尺（续）7/1/2024116数显千分尺（续）8/11/2023116数显外径测量台数显外径测量台7/1/2024117数显外径测量台8/11/2023117数显内螺孔深度尺数显内螺孔深度尺7/1/2024118数显内螺孔深度尺8/11/2023118容栅数显百分表容栅数显百分表红宝石红宝石测头测头7/1/2024119容栅数显百分表红宝石测头8/11/2023119其他容栅数显百分表其他容栅数显百分表7/1/2024120其他容栅数显百分表8/11/2023120容栅数显千分表容栅数显千分表 可以显示可以显示1 m位移量的千分表位移量的千分表 千分表与百分表的千分表与百分表的分辨力区别在哪里？分辨力区别在哪里？7/1/2024121容栅数显千分表 可以显示1m位移量的千分表 千分表容栅数显测高仪量程量程 750mm分辨率分辨率 0.001mm示值误差示值误差 0.0075mm示值重复性示值重复性 0.002mm(3)测量力测量力 13N 可调可调测量滑架的最大速度测量滑架的最大速度1 米米/秒秒 底座底座测测头头7/1/2024122容栅数显测高仪量程 750mm分辨率 0.001mm示值容栅数显测高仪容栅数显测高仪1.测力调节测力调节2.测头导轨测头导轨3.测头测头4.坐坐垫垫5.液晶屏显示液晶屏显示6.触摸开关触摸开关7.RS-232 输出输出8.打印机打印机9.驱动开关驱动开关10.气泵开关气泵开关11.电源线电源线 7/1/2024123容栅数显测高仪1.测力调节2.测头导轨3.测头4.坐垫休休 息息 一一 下下回目录回目录7/1/2024124休 息 一 下回目录8/11/2023124