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至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 2 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 2主 要 内 容 介 绍一 、 功 率 器 件 后 封 装 工 艺 流 程二 、 产 品 参 数 一 致 性 和 可 靠 性 的 保 证三 、 产 品 性 价 比四 、 今 后 的 发 展 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 3划 片 粘 片 压 焊 塑 封老 化 打 印管 脚 上 锡测 试 切 筋检 验包 装 入 库Die bondingDie saw wire bonding molding markingHeat aging platingsegregatingTesting Inspection Packing Ware house 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 4划 片 划 片圆 硅 片 划 片 及 绷 片后 的 圆 片划 片 ： 将 圆 片 切 割 成 单 个 分 离 的 芯 片划 片 特 点 ： 日 本 DISCO划 片 机 ， 具 有 高 稳定 性 ， 划 片 刀 的 厚 度 25um， 芯 片 损 耗 小 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 5 日 本 DISKO划 片 机 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 6（ 将 单 颗 芯 片 粘 结 到 引 线 框 架 上 ） 实 物 图划 片 粘 片 压 焊 塑 封 打 印 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 71、 自 动 粘 片 机 ， 芯 片 和 引 线 框 架 的 粘 结 牢 固 ，一 致 性 好 。2、 优 质 的 框 架 及 焊 接 材 料 使 用 ， 获 得 良 好 的热 学 和 电 学 特 性 。3、 芯 片 与 框 架 的 热 匹 配 性 良 好 ， 芯 片 和 框 架之 间 的 应 力 达 到 最 小 ， 热 阻 小 ， 散 热 性 好 。4、 氮 氢 气 体 保 护 ， 避 免 高 温 下 材 料 氧 化 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 8粘 片 员 工 在 认 真 操 作 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 9全 新 的 TO-220粘 片 机 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 10压 焊 ： 用 金 丝 或 铝 丝将 芯 片 上 的 电 极 跟 外引 线 （ 框 架 管 脚 ） 连接 起 来 。金 丝 金 丝 球 焊铝 丝 超 声 波 焊 压 焊 示 意 图划 片 粘 片 压 焊 塑 封 打 印 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 111、 自 动 压 焊 机 ， 一 致 性 好 ， 焊 点 、 弧 度 、高 度 最 佳 ， 可 靠 性 高 。2、 根 据 管 芯 的 实 际 工 作 电 流 选 择 引 线 直径 规 格 ， 保 证 了 良 好 的 电 流 特 性 。 压焊实物图 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 12全 新 的 KS TO-92压 焊 机 压 焊 车 间 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 13塑 封塑 封 体框 架 管 脚塑 封 ： 压 机 注 塑 ， 将 已 装 片 的管 子 进 行 包 封 塑 封 示 意 图划 片 粘 片 压 焊 塑 封 打 印 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 14采 用 环 氧 树 脂 塑 封 材 料封 装 ， 阻 燃 ， 应 力小 ， 强 度 高 ， 导 热性 好 ， 密 封 性 好 ，保 证 晶 体 管 大 功 率使 用 情 况 下 具 有 良好 散 热 能 力 ， 管 体温 度 低 。 塑 封 机 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 15塑 封 车 间塑 封 生 产 车 间 的 景 象 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 16激 光 打 标 激 光 打 印 机在 管 体 打 上 标 记塑 封 切 筋打 印 电 镀 测 试老 化 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 17电 镀 ： 纯 锡 电 镀 ，符 合 无 铅 化 要 求切 筋 ： 器 件 分 散 连 筋切 筋 示 意 图塑 封 切 筋打 印 电 镀 测 试老 化 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 18切 筋 员 工 在操 作 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 191、 严 格 的 筛 选 条 件 ，温 度 140 150 。2、 使 用 有 N2保 护 的烘 箱 ， 防 止 管 子 在 高温 下 氧 化 。塑 封 切 筋打 印 电 镀 测 试老 化 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 20切 筋电 镀 测 试老 化 检 验 包 装测 试 流 程 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 21测 试 设 备KT9614与 DTS-1000 分 选 机 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 22整 洁 的 包装 车 间 新 型 的 包 装 方 式 编 带我 公 司 今 年 新 引进 的 编 带 机 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 231、 产 品 的 一 致 性 a.芯 片 生 产 工 艺 控 制 b.通 过 细 分 类 进 行 控 制2、 产 品 可 靠 性 a.优 化 芯 片 生 产 工 艺 提 高 可 靠 性 b.封 装 工 艺 的 严 格 要 求 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 24高 精 度 的 测 试 系 统 1、 最 高 测 试 电 压 为 1000V， 最 大 电 流 20A， 漏 电 流 最高 精 度 达 到 pA级 ， 电 压 测 试 精 度 达 到 2mV 2、 可 测 试 的 半 导 体 器 件 有 双 极 晶 体 管 ， MOS管 ， 二 极管 等 多 种 器 件 。 3、 对 于 双 极 晶 体 管 ， 可 测 试 hFE、 Vcesat、 Vbesat、Rhfe、 Iceo、 Iebo、 Bveb、 Icbo、 Bvceo、 Vfbe、 Vfbc、Vfec、 Bton、 Bvces、 Bvcer、 Icer、 Icex、 Icbr、Icbs、 BVcbo、 Iceo等 参 数 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 25一 、 降 低 热 阻二 、 控 制 “ 虚 焊 ”三 、 增 强 塑 封 气 密 性 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 26降 低 器 件 发 热 量 的 三 个 途 径一 、 通 过 优 化 电 路 ， 避 免 开 关 器 件 进 入 放 大 区 ， 减小 器 件 上 的 功 率 消 耗 。二 、 降 低 器 件 的 热 阻 ， 即 提 高 器 件 的 散 热 能 力 。 三 、 提 高 器 件 的 电 流 性 能 ， 降 低 饱 和 压 降 。 在 电 路 和 芯 片 都 已 固 定 的 情 况 下 ， 避 免 器 件 发热 失 效 重 要 的 途 径 就 是 降 低 器 件 的 热 阻 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 27一 、 热 阻 的 定 义 热 阻 (Rth)是 表 征 晶 体 管 工 作 时 所 产 生的 热 量 向 外 界 散 发 的 能 力 ， 单 位 为 /W，即 是 当 管 子 消 耗 掉 1W时 器 件 温 度 升 高 的度 数 。RTH总 RT1+ RT2+ RT3 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 28二 、 晶 体 管 热 阻 的 组 成1、 RT1内 热 阻 由 芯 片的 大 小 及 材 料 决 定 。2、 RT2接 触 热 阻 与封 装 工 艺 有 关 。3、 RT3与 封 装 形 式 及是 否 加 散 热 片 有 关 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 29 我 们 工 艺 控 制 过 程 中 ， 最 重 要 的 是 解决 接 触 热 阻 。 主 要 的 控 制 手 段 ： 1、 粘 片 工 艺 对 接 触 热 阻 的 控 制 。 2、 高 效 的 测 试 手 段 进 行 筛 选 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 30原 因 技 术 要 求 工 艺 保 证芯 片 背 面 金属 层 质 量 金 属 层 平 整 清 洁 无 氧 化 ，且 有 一 定 厚 度 。 每 片 先 试 粘 一 条 ， 试 推 力 ，符 合 工 艺 规 范 才 下 投 。焊 料 表 面 清 洁 光 亮 ， 无 氧 化 及斑 点 、 粘 污 等 不 良 现 象 。 与 芯 片 、 框 架 两 者 之 间 的 浸润 性 良 好 ， 溶 化 后 无 颗 粒 状 。引 线 框 架 表 面 平 整 、 清 洁 、 光 亮 无氧 化 ， 无 斑 点 。 焊 料 点 上 熔 化 后 ， 焊 料 与 之的 浸 润 好 。粘 接 强 度 1、 推 力 ： mm21kg2、 焊 料 覆 盖 芯 片 面 积95%(空 洞 面 积 5%)3、 芯 片 、 焊 料 、 框 架 三 者之 间 无 缝 隙 。 1、 专 职 检 验 员 每 隔 1小 时巡 查 一 次 。2、 N2、 H2气 体 保 护 。3、 X-R管 理 图热 阻 偏 大 的 原 因 分 析 与 工 艺 保 证 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 31 晶 体 管 的 热 阻 测 试 原 理 ： 在 一 定 范 围 内 pn结 的 正 向 压 降 Vbe 的 变 化 与结 温 度 的 变 化 T有 近 似 线 性 的 关 系 ： Vbe k T 对 于 硅 pn结 ， k约 等 于 2， 热 阻 的 计 算 公 式 为 ： Rth T/P 只 需 加 一 个 稳 定 的 功 率 ， 测 量 晶 体 管 的 Vbe即 可 计 算 出 晶 体 管 的 热 阻 RT。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 32 进 行 热 阻 测 试 筛 选 ， 我 们 用 的 是 日本 TESEC的 Vbe测 试 仪 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 33 Vbe测 试 仪 的 性 能 参 数 及 优 点 ：测 试 精 度 ： 0.1mV脉 冲 时 间 精 确 度 ： 1us最 高 电 压 ： 200V最 大 电 流 ： 20A优 点 ： 1.精 度 高 ， 且 精 度 高 可 达 到 0.1mV， 重 复 性 好 。 2.筛 选 率 高 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 34优 点 2： 筛 选 率 高如 粘 片 有 空 洞 ， 脉 冲 测 试 在 很 短 功率 脉 冲 内 ， 由 于 热 量 来 不 及 传 导 ，有 空 洞 的 地 方 就 会 形 成 一 个 热 点（ 即 温 度 比 粘 结 面 其 他 地 区 高 出 很多 的 小 区 域 ） （ 如 右 图 示 ） 。 热 点 处 温 度 高 ， Vbe将 比 其 他 地 方 的 Vbe变 化 大 。 整 个pn结 的 Vbe将 主 要 受 热 点 处 的 Vbe的 影 响 ， 因 此 ， 有空 洞 的 管 子 的 Vbe比 正 常 管 子 的 Vbe要 大 很 多 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 35通 过 测 量 Vbe， 再 经 过 公 式 Rth Vbe /KP我 公 司 典 型 产 品 值 ：品 种 封 装 形 式 热 阻 值MJE13001 TO-92 6.5 /WMJE13003BR TO-126 3.5 /WMJE13005 TO-220 1.3 /W 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 36因 素 技 术 要 求 对 策 措 施引 线 材 料 抗 拉 强 度 、 延 伸 性 良 好 ， 硬 度 适中 。 1、 严 格 执 行 公 司 的 原 材 料 进 料 检 验 制 度 。2、 不 定 期 上 供 应 商 生 产 线 考 察 质 量 体 系 进行 情 况 。劈 刀 1、 劈 刀 端 面 平 整 ， 与 引 线 形 变 后尺 寸 一 致 。2、 确 保 劈 刀 端 面 有 合 适 的 振 幅 。 1、 定 期 清 洗 劈 刀 ， 保 证 端 面 清 洁 完 整 。2、 劈 刀 安 装 位 置 准 确 ， 高 度 合 适 。芯 片 铝 层质 量 铝 层 不 氧 化 ， 无 划 伤 ， 具 有 一 定厚 度 加 强 表 面 镜 检 ， 剔 除 不 合 格 品 。引 线 强 度不 够 不 同 的 线 径 ， 规 定 不 同 的 工 艺 条件 ， 压 力 、 功 率 、 时 间 。 1、 在 N2保 护 中 压 焊 。2、 专 职 检 验 员 ， 每 隔 1h巡 检 一 次 。3、 引 线 强 度 的 -R管 理 图 。框 架 管 脚质 量 1、 管 脚 牢 固 、 平 整 。2、 管 脚 锡 层 光 亮 平 整 、 不 氧 化 。3、 高 温 老 化 后 锡 层 不 变 色 。 1、 调 整 塑 封 工 艺 ， 以 达 到 充 分 填 充 。2、 加 强 浸 锡 前 ， 管 脚 处 理 。3、 老 化 烘 箱 采 用 N2保 护 。_X 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 37压 焊 工 序 对 引 线 拉 力 进 行 了 严 格 的 控 制 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 38相 关 因 素 工 艺 措 施 检 测 措 施引 线 框 架 和塑 料 粘 接 表面 机 械 强 度 1、 引 线 框 架 的 管 脚 增 加 两 条 密 封 槽 ，增 加 此 处 引 线 框 架 表 面 的 粗 糙 度 ， 使其 与 塑 封 料 粘 结 更 紧 密2、 在 塑 料 型 号 上 挑 选 收 缩 率 低 、 流 动性 好 的 材 料 ， 使 其 之 间 的 机 械 粘 结 更加 紧 密 。 1、 定 期 检 查 设 备 运 行状 况 ， 确 保 工 艺 参 数 稳定 。2、 严 格 原 料 检 验 。3、 采 用 热 强 酸 腐 蚀 比较 法 ， 定 期 检 查 密 封 性 。4、 借 助 广 州 五 所 的 先进 分 析 手 段 ， 不 定 期 的对 产 品 密 封 性 能 进 行 抽查 。5、 产 品 测 试 前 增 加 老化 工 序 ， 使 存 在 隐 患 的产 品 提 前 失 效 ， 加 严 测试 漏 电 的 参 数 项 ， 剔 除可 能 存 在 缺 陷 的 产 品 。引 线 框 架 和塑 料 热 膨 胀系 数 匹 配 对 每 种 封 装 形 式 均 需 作 材 料 热 匹 配 的对 比 试 验 ， 通 过 样 品 测 量 和 批 量 试 用 ，选 择 最 佳 的 材 料 组 合 。 注 塑 工 艺 方面 的 调 整 1、 增 大 注 塑 压 力 和 时 间 ， 使 塑 料 达 到充 分 填 充 。2、 增 加 保 压 时 间 ， 使 塑 料 充 分 固 化 后出 模 ， 防 止 出 模 时 摩 擦 大 ， 塑 料 发 生形 变 而 减 弱 与 引 线 框 架 之 间 的 粘 结 强度 。 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 39产 品 性 价 比1、 材 料 的 选 用2、 先 进 的 工 艺 制 程3、 严 格 的 生 产 过 程 控 制 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 40材 料 的 选 用1.供 应 商 均 经 过 评 价 认 证2.品 质 好 价 格 高 的 材 料 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 41先 进 的 工 艺 制 程 一 、 净 化 厂 房 ， 洁 净 度 10000级 ， 避 免 了粉 尘 灰 粒 的 粘 污二 、 全 自 动 的 粘 片 、 压 焊 机 ， 并 有 氮 氢 气 保护三 、 所 有 产 品 经 过 高 温 老 化 ， 性 能 更 稳 定 更可 靠四 、 精 度 高 、 稳 定 性 好 的 测 试 筛 选 设 备 ， DTS-1000 ， Vbe 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 42产 品 的 特 点1、 电 流 特 性 好 ， 饱 和 压 降 小 ， 在 输 出 相 同 的功 率 下 ， 晶 体 管 消 耗 的 功 率 小 ， 发 热 量 低2、 产 品 种 类 型 号 丰 富 ， 专 门 针 对 节 能 灯 、 电子 镇 流 器 进 行 设 计封 装 形 式 ： TO-92、 TO-126、 TO-220、 TO-262、 TO-263、 TO251带 抗 饱 和 电 路 的 系 列L(低 电 压 )系 列 晶 体 管 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 433、 可 靠 性 高如 高 低 温 循 环 （ -50 150 ）冰 沸 水 浸 泡 试 验功 率 老 化4、 本 公 司 生 产 芯 片 ， 保 证 质 量 及 芯 片 货 源产 品 的 特 点 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 44今 后 发 展后 封 装 扩 建 搬 迁 项 目绿 色 环 保 塑 封 料 至 诚 至 爱 ， 共 创 未 来 SI SEMI. 45谢 谢 ！深 爱 半 导 体 -封 装 部结 束 语