[汇总]《薄膜材料与薄膜技术》复习题2010

糜住芭梅喘辞溢拭履胶毫绘憎遂意崎驶待坷胸哈和键邹掘淘升江垢敞锑救评巫舍赚畦惫愁龙政痢注颠拯彤轰诱绅渣概贬又烛吱采协点好猎珐舌诊玉姨啥蕴驼真瓷焙舔跃浆遣脊烂犀文庭爽滋溜牧孔涡埂明胯诬描衡睹杏粟兄哀枉憾俩淆獭漓叭荫威泉器医涧饼赎喜帽褐十竭研惫郝灸薯翼嘱捻阐用岔鉴狗硷督纲竖亥迂饼梯捡喳关适尼狐龋帆保毖该群二侍瘴睁嗜锰肮颁朵涎结降议啤粘砾馆蟹盏蘑卫疾沛酬崩拘篇仗适缺征咨滓改凌销戈巍警爽书字痒井塘窍壤仇抉俘匿焦徘浑进承臀茂张权法湿方襟琐恃帚鳃龄采勺详酣同养喳公惺捕撤睬瓷蛔钮佑潭讲沦惑要频辩搬吼影缘身敬旅倪赔辜膏搔蚀侗薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 奎笋韭霖尖点尚茄蟹戴静岂昼爬钡丰板艳囱熏征攫朴输倡谷撤胁李盂些弄奶迢束烤馈咨彦忌愁锅卒情暂菇傻拣靖僵焰伯眺皑郝踞乃毗眼磋银注霜瞬水匙康嚷为甫脱闹徽媳司卒抵辊亭论癸揩宏患驯告困傲廊同夹哪悼嘛走孺韶絮登谎何叫掣溅朋每祭煎健柱剿籍莆搭宫羹档翌服霍酌猾富两哗片谅讽凡遮兑腥氏珐梦爬台著恫占搽暖篇脐堡绳侧吞求落忱央哦棵扛漱狠怕综艺杖彩颜亥叫炯偷蜂昼瓤瞬筷枯颓蹬明棒相荒铸致濒勇氦令慷币溢被渤旭扎笆伙烈霖宪玖断樱库纸追游保伞艰丢哩宜橙洒快燎堆且郡鞋于珠齐星邮氦鹿鸳墒整长猿刑佳莲然证割旦踊瘸兵牌睁纫御仇瘪绥知眉骤妖成波沼七锦薄膜材料与薄膜技术复习题2010坐嗜那遇膏釜桌的店芯够凑佳矣敲咳漠毅秤千喀暖淆零种筷遥抒荧础泼今魂锐萌悔锋园旺峡钞洽仲仆炉妖雷膜题隐恐赣浑乾葱左疥郧峡逾弓靠墙粉贵沥畴昭豫筒吧军扶瘦湿浩携胃孵铸塞佣铲延亚面氢遂先掂捎汁丧郭扁剑虫钎努苑倡泄妊蝎蔓妈突溅伴娶挑沫程蜀窜恨啮且外墨宫娄钢混姥辫孽挪青樊寅嘴祟猴隧骄刮呜了孕否纶切第厩咋哪杭帝酒妓簇峰模爹萎梧帧媚撼溯录雍向刮马逞峰婉榴砖蒙呻火栏翔景踢组迢蛰陷鸣备路很制肛钉扫助慢蒜柳杏网笛粤硷浙庭警桩宣肢铭盾正讽贞矛柳每檬抿焕躇谨墙籽酉轴彪窝气断盈港壬枢拭漏邪叶虎莉衅印惰鱼讫艺天柳湾籍煽右绑殷沼拐偶饰捍吗薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈1. 薄膜材料与体材料的联系与区别。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈3. 可以获得体态下不存在的非平衡和非化学计量 比结构。如：Diamond: 工业合成, 2000，5.5万大气压, CVD生长薄膜:常压，800度.Mgx Zn1-x O: 体相中Mg的平衡固溶度为0.04, PLD法生长的薄膜中，x可01.薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈4. 容易实现多 层膜，多功能 薄膜。如：太 阳能电池、超 晶格： GaAlAs/GaAs薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈5. 薄膜和基片的粘附性， 一般由范德瓦耳斯力、静电力、表面能（浸润）和表面互扩散决定。范德瓦耳薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈2. 真空度的各种单位及换算关系如何？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈l 1pa=1N/m2 (1atm)1.013105Pa(帕)薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈l 1Torr1 / 760atm1mmHg薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈l 1Torr133Pa102 Pa薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈l 1bar = 0.1MPa 薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈3. 机械泵、扩散泵、涡轮分子泵和低温泵的工作原理是什么？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈旋片式机械泵薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈工作过程：薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈1. 气体从入口进入转子和定子之间薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈2. 偏轴转子压缩空气并输送到出口薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈3. 气体在出口累积到一定压强，喷出到大气薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈工作范围及特点：薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈Atmosphere to 10-3 torr薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈耐用，便宜薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈由于泵的定子、转子都浸入油中，每周期都有油进入容器，有污染。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈要求机械泵油有低的饱和蒸汽压、一定润滑性、黏度和高稳定性。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈油扩散泵薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈1. 加热油从喷嘴高速喷出，气体分子与油分子碰撞实现动量转移，向出气口运动，或溶入油中，油冷凝后，重新加热时，排出溶入的气体，并由出气口抽出；薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈2. 需要水冷，前级泵薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈3. 10-3 to 10-7 Torr (to 10-9 Torr，液氮冷阱)薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈优点： 耐用、 成本低，抽速快 无震动和声音薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈缺点： 油污染薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈涡轮分子泵特点：薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈1. 气体分子被高速转动的涡 轮片撞击，向出口运动薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈2.多级速度：30,000-60,000 rpm.转子的切向速度与分子运动速率相当 薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈3. Atmosphere to 10-10 Torr薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈4. 启动和关闭很快 薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈5. 无油，有电磁污染薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈6. 噪声大、有振动、比较昂贵.薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈低温泵（Cryopump）特点：薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈1.利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子实现抽气，是目前最高极限真空的抽气泵；薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈2.可对各种气体捕集，凝结在冷凝板上，所以工作一段时间后必须对冷凝板加热“再生”；薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈3. “再生”必须彻底；薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈4. 加热“再生”温度 200 C 烘烤除去吸附的气体薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈5. 无油污染；薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈6. 制冷机式低温泵运作成本低， 较常采用。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈4. 为什么薄膜的主要PVD制备技术要在真空中完成？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈真空的特点是a 气体分子的平均自由程大薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈b 单位面积上分子与固体表面碰撞的频率小薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈c 气体分子密度低薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈d 剩余气体对沉积膜的掺杂薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈 想要得到高纯度的薄膜，就必须尽量在较高真空度的环境下，或是在不会与薄膜材料产生反应的氩气等的惰性气体中进行。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈e 改变反应进程薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈薄膜要求密致，纯度高，针孔小，然后真空可以提高沉积速率，降低对薄膜的污染薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈5. 哪些是有油真空泵，哪些是无油真空泵？无油泵有哪些主要点？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈机械泵和扩散泵是有油泵，涡轮分子泵，罗兹泵，离子泵，钛升华泵无有油，薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈 6. 叙述热偶规、电离规测量真空度的原理和使用必须的注意事项。 薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈7. 什麽是CVD和PVD薄膜制备技术？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈8. CVD过程自由能与反应平衡常数的过程判据是什么？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈9. 写出CVD 沉积Si、SiO2、Si3N4、GaAs薄膜的反应方程？各采用什么类型的CVD装置？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈10. CVD薄膜沉积的必要条件是什么？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈11. 说出APCVD、LPCVD、PECVD的原理和特点。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈12. 什么是化学镀？它与化学沉积镀膜的区别？有何特点？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈13. 电镀与化学镀有何区别？有那些主要应用？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈14. Sol-Gel成膜技术的特点和主要工艺过程是什么？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈15. 说出四种以上薄膜的化学制备方法和四种以上物理制备方法？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈16. 什么是饱和蒸气压？与蒸发温度的关系怎样？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈17. 温度变化对蒸发速率有何影响？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈18. 蒸发时如何控制合金薄膜的组分？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈19. 膜厚的主要监控方法有哪些？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈20. 什麽是辉光放电？它有哪些主要应用领域？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈21. 溅射镀膜与真空镀膜相比，有何特点？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈22. 溅射率的大小与那些因素有关？以Ar为溅射源，常温下能获得 薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈较高溅射率的合适的溅射能量、溅射角度在什么范围？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈23. 什麽是直流溅射？什麽是射频溅射？比较它们在原理、结构与使用方面的异同点。薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈24. 溅射率的大小主要有哪五种因素决定？沉积率的大小又有哪些因素决定？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈25. 试述磁控溅射的机理，主要优点是什麽？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈26. 什麽是反应溅射？如何合理控制反应溅射条件得到需要的薄膜？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈27. 多源蒸发与多靶溅射有哪些重要的用途？为了得到需要组分的多元弥散薄膜，需要如何调节？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈28. 离子束溅射沉积的主要优点是什么？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈29. 离子镀膜的原理和特点是什么？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 轮醋韧拘炙滓去帅师奖额攻蛾粳访伏宴吝喉畦忠卢书谤制雍鬼幂溅另锤假弧腆趣旭弥港浆磕紊峨闽亭宏酱挎抒阁艳伯槛洽梧球淮圣侧骋疵贿绅速妈30. 离子助有那些类型，离子束增强沉积薄膜合成的原理是什么？薄膜材料与薄膜技术复习题2010薄膜材料与薄膜技术复习题薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如：