台阶仪XP1操作规程

台阶仪（XP-1）操作规程一、XP-1型台阶仪工作原理高度测量原理：当探针 Stylus 在样品表面扫描时，随着样品表面的起伏变彳的角度变化，最终导致经 Mirror反射后打在光电探测器 Ph使 PhotoDetector上的电压值发生变化，而电压的变化经 A 力的控制原理：F：探针对样品的压力；G：弹性轴承 Pivot 左侧的净自重；个可在电脑中设定的参数 ForceValue（这里用 a表示）。原理：当 a增大时，F 增大；而 G是不变得，所以 F 随着 a 的增大而减小。c二、操作步骤1.仪器的启动和初始化首先打开稳压器，然后启动电脑并将台阶仪的电源打等 1 双击电脑桌面上的台阶仪图仪操控软件时会弹出一个是否要初始化的对话框，点击“疋将系统初始化。Jd1 型台阶仪软件主面SpeedSTOPRed-Tm探针影子 4探针实相 4lljirBnaJion薄膜台阶亠RealTimeScanDisplayAnolysisAMBOSHomeScagiStAge2.样品的定位初始化完成后，点击“Z+Z+”键，使探针抬起，确保探针到台面的高度远大于样品的高度时，将样品放到样品台上,然后将它贴着样品台推到样品台中央。（注意：一定要保证探针高于样品。然后移动样品台，使样品待测区域大致地在探针正下方。）点击“EngageEngage”键，使探针自动地缓慢下降逼近样品。当探针逼近到样品表面时，即在视频窗口中看到探针（右）针尖及其影子（左）的针尖接触上时，探针会自动停止下降逼近。这时在视频窗口中还可以观察到样品表面的形状特征，如图 2。注意：探针在样品表面上时不能移动样品或样品台。点击“Z+Z+”键，使探针抬起一点，但保证探针的影子还在视频窗口中。这样才能看清楚样品表面的形状特征。移动样品台，使探针精确地定位在需要测量的台阶的起始位置。点击“EngageEngage”键逼近样品，查看定位是否合适。反复抬起探针，再逼近样品，直到探针定位在所测台阶的起始位置。LengthLength：扫描长度，即探针沿图 4中的扫描方向上扫描的长度。最大值 30mm。最小值的条件是扫描时间(Length/Speed)大于 3秒。一般使用的值是 0.4mm1mm。RangeRange：扫描量程，即能扫描的台阶的最大高度。StylusForceStylusForce:扫描过程中探针对样品的作用力。软的样品，如光刻胶，应该用最小的力扫描，这样才能保证扫描过程中对样品没有划伤。硬的样品，如硅片，可以用大的力，这样压的更稳，受外界环境影响更小。FilterLevelFilterLevel：控制 DataPoints。一般使 DataPoints的值为 1000左右。ProfileTypeProfileType：扫描的线型。都用第三种线型。4点击“Scan”开始扫描当扫描完成后，会弹出如图 6所示的数据分析界面。a右键点击一下数据图形区域，将会弹出如图 6 所示的下拉菜单。b.选择“SizeCursorsSizeCursors”，R和 M 光标变为展宽模式。分别拖动 R和 M光标的左右边界，使 R和 M光标展宽到所需的宽度。c.右键点击一下数据图形区域，使光标退出展宽模式。d.将 R和 M光标分别拖动到需要拉平的区域。e.在“LevelMethod”里选择“CursorLocationsCursorLocations”模式。f.点击“LevelDataLevelData”拉平数据，如图 7。当使用一定时间（2 星期）后，应对台阶仪进行重新标定。步骤为将标样（图 9）取出（必须带胶皮手套），对中央的“H型”中间的台阶进行测量，重复操作步骤，数据分析步骤，若得到的台阶高度与标样的实际高度（1939A）相差较大，则点击右键，点击 calibratehight（图 10所示），输入 1939A，即可。SNFrintTT图*Cm-sorsVisitle1/BaEtjlineVisibleSizeCm-sorsAddCursorsRemoveCursorsResetCm_sorsCalitrat皀HeightSaveAsC：=lLculaMeasm-emenEmtGraphScalesUnits