资源描述
操作原理Wyko 系统采用非接触光学测量法，通过两种测量技术以测量大范围的表面高度。相移 干涉(Phase-Shifting Interferometry)法用来测量光滑表面的小台阶，垂直扫描干涉(Vertical Scanning Interferometry)法容许测量粗糙表面和高达几个毫米的高度的台阶。PSI Mode 一束白光被过滤后，经过物镜一半到达样品表面，另一半被反射到参考表面。当样品表 面在焦平面，从这两表面的反射光束形成明暗相间的干涉条纹。测量时，压电驱动器线形移 动参考表面，从而导致两个光束相位发生移动。系统记录不同相位下条纹强度，并综合光强 数据，作出随相位变化的光强变化波形。表面高度由以下公式得出：H(x,y) =A * (x,y)/(4*n)A为光源波长，(x,y)是相位。当条纹图案足够时，这项技术是可靠的。但如果相邻测点高度超过A /4,半波长的倍数 会被忽略。纵向：PSI 测量范围： 160 nm 单次测量分辨率：0.3 nm 重复测量分辨率：0.1 nm横向：其取决于所用物镜放大倍数与 CCD 的像素。传统 PSI 局限于解决光滑连续表面测量。为解决粗糙表面测量问题， VSI 技术被开发引 入。VSIVSI模式采用中性滤光片，用以保证白光波长的连续一致性。不同于PSI中测量干涉条 纹的相位，系统测量条纹调制变化，或者其相干性。当在垂直方向通过焦平面时，发光强度 以等间隔连续采样，并进行拟合。如图 1-2 所示。Fioure 12 Fringe Contrast through FocusOp tical Patli Differ enc e物镜通过电机控制，在垂直方向移动，来扫描不同高度的样品表面。由于白光的相干波 长很短，所以每次对焦焦平面的移动范围也很小。如上图所示，焦点两侧强度迅速衰减。相 机等间隔的采样对焦前后数据，从而计算台阶高度。纵向：测量范围： 2 mm单次测量分辨率：3 nm重复测量分辨率：1 nm操作手册注意： 调焦时，不要让物镜碰到样品或者工作台。不要用手或其他不干净的物品接 触镜面。PSI 测量：1 依次打开工作电源，监视器电源，开机，打开软件 Vision 32。2 选择最小放大倍数物镜，根据需要，可以在对焦完成后再选择大倍数 物镜。3. 通过左侧的柄选择PSI滤光片。4 放置待测样品在样品台上，注意不要碰到物镜。5 点击软件中 Measurement Options 按钮，设置选项。详细软件设置见 软件说明书。6 点击 Intensity 按钮，调节其亮度至临界饱和。7 调节 Z 轴方向旋扭对焦。为了避免镜头与样品接触，最好先下调镜头 至低点，然后往上调，同时观察监视器或软件显示，以得到条纹。8 调节 X/Y 倾斜旋扭使条纹方向与边缘垂直。9 细调焦，使整个监视面只有一个大的条纹。10. 调节光强至临界饱和，稳定一段时间后，点击测量 Measurement.11. 监视器上将会看到条纹移动，否则，重新调焦。VSI 测量1 同上。2 同上。3. 选择VSI滤光片（中性滤光片）。4. 放置样片。5. 打开软件，设置测量VSI选项。6. 调节光强至临界饱和。7. 通过 Z 向旋扭仔细调焦。为了避免镜头与样品接触，最好先下调镜头 至低点，然后往上调，同时观察监视器或软件显示，以得到条纹。8. 调节 X/Y 倾斜旋扭使条纹方向与边缘垂直。9. 注意使台阶上表面处在焦平面上。10. 仔细调节上下高度，使屏幕上只有一个大条纹。11. 调节光强至临界饱和，稳定一段时间后，点击测量 Measurement。12. 先后两次，监视器上会看到条纹移动。否则，从新调焦。13. 测量完成后，关闭计算机，监视器电源和工作电源。关闭总电源。
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