洁净室尘埃粒子测试记录

精品文档，仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除洁净室尘埃粒子测试记录洁净级别10000级测试标准GB/T 16292-2010测试状态静态测试仪器Lasair III测试时间房间名称粒子尺寸采样点1采样点2MUCL静态最大允许数个/m3结论采样值C1-1采样值C1-2采样值C1-3平均值A1采样值C2-1采样值C2-1采样值C2-3平均值A20.5m350000符合不符合5m2000符合不符合0.5m350000符合不符合5m2000符合不符合0.5m350000符合不符合5m2000符合不符合0.5m350000符合不符合5m2000符合不符合0.5m350000符合不符合5m2000符合不符合0.5m3500000符合不符合5m20000符合不符合备注注：Ai（Ci-1Ci-2+ Ci-3）/3 Ai：采样点的平均粒子浓度（粒/M3）；Ci-n：采样点单次的粒子浓度（粒/M3）；n：采样点的采样次数（3次）；i:采样点 置信上限：UCLMtSE 洁净室平均粒子浓度（粒/M3）：M（A1A2）/2；洁净室总采样点数：L；95置信上限的t分布系数：t6.31（L2）； 标准误差：SE2（A1M）2（A2M）2/2（21）检验人： 复核人： 【精品文档】第 页