激光器操作规程

操作规范：1、检查气瓶（Ne、Kr、F2）主阀是否关好，并调节减压阀，使示数为“0.4MPa”;2、开总电源；3、开红色的“Mains”开关；4、用专用的钥匙开“KeySwitch开关；5、控制面板显示内容，等其自检后，预热480s；6、预热完毕后，设置电压、频率等值；7、按“Run/Stop”键，再按“EXE执行，激光器头部指示灯亮；&实验完毕，按“Break”或“Run/Stop键，停止运行；9、关激光器时，先关“KeySwitch,再关“Mains”，最后关闭总电源。注：长时间未用时，用气瓶内少量气体清洗管道。气体：Kr,F2inHe,缓冲气体（Ne）气瓶内压力最好高于20bar;推荐使用卤素气体钢瓶最多一年，其他气体钢瓶最多两年。F2:5%F2（纯度适合激光激发）/95%He（纯度大于99.995%），调压阀，流量0.3L/S-3.0L/S，气瓶尺寸10L,150barKr：纯度（大于99.99%）,调压阀，流量0.8L/s-3.0L/s，气瓶尺寸10L,100barNe:纯度（大于99.995%）,调压阀（作为卤素气体携带源）,流量0.8L/S-3.0L/S，气瓶尺寸200L,200barHe:纯度（大于99.995%）,调压阀（冲洗腔体）（作为卤素气体携带源）,流量0.8L/S-3.0L/S，气瓶尺寸200L,200bar冲洗气体管道（灌气之前或运行一个星期后）:打开激光器至准运行状态，气阀打开，且调节调压阀至适值。1关掉相应气阀2保证相应气体管道调压器打开在小键盘上按下“FLUSHLINE,并用左右键选择目标气体管道按下“ENTER”,确认选择按下“EXE执行操作（显示“FLUSH:currentselectionL”以上属于排去气体管道中的气体,下面要将气体管道中充满新鲜气体打开在第一步中关掉的气阀在有气体补充的情况下重复上述2-5步操作至少一次净化气体管道（长时间没有运行激光器后取出管道中的杂质）打开激光器至准运行状态,气阀打开,且调节调压阀至适值。1.关闭相应的气体管道调压器打开He气瓶气阀,调节调压阀至4.0bar在小键盘上按下“PURGELINE,并用左右键选择目标气体管道按下“ENTER”,确认选择按下“EXW执行操作（显示“PURGE:currentselection”，完成后显示“OFF”根据气体管道的长度,重复以上操作数次；在运行激光器之前,要进行冲洗气体管道的操作使气体管道内充满相应的气体更换卤素气瓶打开激光器至准运行状态，所有的调压器及气阀关闭。排净卤素气体管道内的气体1打开卤素气体钢瓶气阀，将调压器调至至少4bar2关闭卤素气体钢瓶气阀，排出卤素气体管道中的气体（冲洗气体管道2-5步）净化卤素气体管道：3打开惰性气体钢瓶，调节惰性气体管道调压器至4.0bar，净化气体管道至少四次，排净12. 卤素气体更换卤素气体气瓶4关闭气阀及调压器5分开气体管道与钢瓶（有可能气瓶上的调压器也需要更换）6用不锈钢帽密封卤素气体管道7更换卤素气瓶8移除卤素气体管道上的不锈钢帽，并将卤素气体钢瓶与管道拧在一起检查真空泄漏性9关闭所有调压器及气阀10打开卤素气瓶气阀，调节气体管道上的调压器至4.0bar11关闭卤素气瓶气阀按下“FLUSHLINE,选择“HAL”，再按下“ENTER确认，“EXE执行（显示“FLUSH:HAL）,重复按下“EXW，直至调压器显示值相对稳定十分钟后，检查压力表。若存在压力的显著上升，则表示存在泄漏，需要拧紧所有连接，如有必要，还需更换密封圈。13. 检查超压泄漏性打开惰性气瓶气阀，并调压至特定值按下“PURGELINE，并选择“HAL”，以“ENTER确认，“EXE执行（显示“PURGE:HAL）。根据系统结构，操作数次直至气体管道净化完毕使用检漏仪检测连接处是否存在泄漏。若存在，需要拧紧所有连接，如有必要，还需更换密封圈。清洗、重新注入并钝化气体管道关闭卤素气体管道调压阀，打开卤素气瓶气阀，将调压阀调至合适值按下“FLUSHLINE,选择“HAL”，再按下“ENTER确认，“EXE执行（显示“FLUSH:HAL）,多次按下“EXE”，使管道中充满新鲜气体19等待15分钟，再次按下“EXW,使卤素气管中充满新鲜气体最后若使用SNOOP需要用酒精和吸水纸清洗连接处将气瓶气阀和调压阀设定至特定值以备下次运行更换稀有气体、缓冲气体或惰性气体打开激光器至准运行状态，所有的调压器及气阀关闭。排净气体管道内的气体1.打开相应气体钢瓶气阀，将调压器调至至少4bar关闭相应气体钢瓶气阀，排出气体管道中的气体（冲洗气体管道2-5步）更换气瓶关闭气阀及调压器4分离气体管道与钢瓶，更换气瓶，并将气管与气瓶或调压阀拧在一起检查真空泄漏性5关闭所有调压器及气阀6打开相应气瓶气阀，并将调压阀调至4.0bar7关闭相应气瓶气阀&按下“FLUSHLINE,选择目标值，再按下“ENTER确认，“EXE执行（显示“FLUSH:currentselection”），重复按下“EXE，直至调压器显示值相对稳定9十分钟后，检查压力表。若存在压力的显著上升，则表示存在泄漏，需要拧紧所有连接，如有必要，还需更换密封圈。10. 检查超压泄漏性打开惰性气瓶气阀，并调压至特定值按下“PURGELINE，并选择目标值，以“ENTER确认，“EXE执行（显示“PURGE:currentselection”）。根据系统结构，操作数次直至气体管道净化完毕使用检漏仪检测连接处是否存在泄漏。若存在，需要拧紧所有连接，如有必要，还需更换密封圈。11. 清洗、重新注入并钝化气体管道关闭相应气体管道调压阀，打开气瓶气阀，将调压阀调至合适值按下“FLUSHLINE，选择目标值，再按下“ENTER确认，“EXW执行（显示“FLUSH:currentselection”），多次按下“EXE,使管道中充满新鲜气体等待15分钟，再次按下“EXE1,使卤素气管中充满新鲜气体最后若使用SNOOP需要用酒精和吸水纸清洗连接处将气瓶气阀和调压阀设定至特定值以备下次运行钝化激光腔体（很长一段时间没有运行）打开激光器至准运行状态，所有的调压器关闭，气瓶气阀打开。1打开卤素气瓶气阀，并调节调压阀至合适值2打开氦气瓶气阀，调节调压阀至合适值3按下F3按下“EXE确认选择并执行操作（腔体气压降至30mbar，并充满200mbar的卤素气体和900mbar的氦气）保持至少8小时重新注入新鲜气体净化激光腔体（激光器停用一个月以上）打开激光器至准运行状态,打开惰性气体气阀并调节调压阀至合适值1.关闭所有气瓶气阀和调压阀打开惰性气体气瓶气阀,调节调压阀至合适值按下“PURGERESERVOIR如有必要,选择“PURGERES按下“ENTER确认，按下“EXE执行（显示“FLUSHING）（如有急事，可按下“BREAK”停止操作）在运行仪器之前,重新注入新鲜气体重新注入新的气体（每1-2星期或2-25million脉冲次数或激光输出能量不足或显示“PRESENTENERGYTOOHIG”“NEWGASFILLNEEDED“LOWLIGHT或校准能量监视器之前或钝化腔体以后）打开激光器至准运行状态，打开所有气体气阀并调节调压阀至合适值，腔体和管道中均无杂质1打开所有气体气阀并调节调压阀至合适值2按下“NEWFILL”3.按下“ENTER确认，“EXE执行