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主题： 文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：01 本页版次：0 目 录 项 目 内 容 页 次 目 录 01 / 75 修 订 履 历 02 / 75 3 作 业 内 容 0375 / 75 制 订审 核核 准 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ001A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：02本页版次：4 修 订 履 历 文献版本修订记录： 版本工程变更号生效日期变 更 要 旨A2003.06.18ISO 90012000体系改版后初次发行。页次修订状况：页次123456789101112131415版次4页次161718192021222324252627282930版次页次313233343536373839404142434445版次1111页次464748495051525354555657585960版次页次616263646566676869707172737475版次1页次版次工程变更号变 更 要 旨451EC-E修改日点检喷墨压力。391EC-E修改日点检2-6与2-7点检内容。751EC-E增列自动超音波清洗机之防止保养作业指引。351EC-E修改2-5气源气压参数。361EC-E修改2-5气源气压参数。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ002A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：02本页版次：4 总则 1. 目旳规范LCD主生产设备防止保养作业，保证设备处在良好状态，以便正常生产作业。2. 职责2-1.工程单位：负责设备日点检，月保养中除清洁部分外所有内容2-2.生产单位：负责设备日保养及月保养中有关清洁内容2-3.质量单位：在线IPQC支持生产日保养及月保养中清洁内容质量主管负责保养效果稽核3. 清洁保养用品及物料使用规则3-1.清洁用品3-1-1.工业吸尘器用于无尘室机台表面内部以及地板干性颗粒脏请洁 禁止用于吸酸碱物质及液体，每周由负责人清洁一次吸尘器3-1-2.一般吸尘器：用于中后段机台表面内部以及地板干性颗粒脏请洁 禁止用于吸酸碱物质及液体，每周由负责人清洁一次吸尘器3-1-3.吸水吸尘器：用于无尘室或中后段异常漏液吸除。吸化学液体时，需用水将化学液稀释， 完后立即清理吸尘器内部，用水清洗内部两遍3-1-4. 羊皮巾(6个月内)用于机台表面沾水擦试 (6-12个月)用于地板沾水清洁 12个月以上报废，未到12个月如已破损则报废 每次使用后用DI水清洗3-1-5. 大刷用于清洗机去膜机槽壁刷洗3-1-6. 牙刷用于清洗机去膜机水洗段传动轮刷洗以及水洗段槽内窄细处刷洗3-1-7. 无尘纸(回收无尘纸)用于沾酒精擦拭机台有油污处或沾水擦拭地板 (M-3无尘纸)用于沾少量水擦拭机台内部无油污处， 用于清洗机去膜机槽壁擦洗3-1-8. 方块布：用于中后段机台表面清浩3-1-9. 棉签用于前段清洗机去膜机喷嘴清洁 3-2. 清洁溶剂3-2-1. 酒精用于油污处清洁3-2-2. IPA用于撒布机处管路容器清洁需蒸馏后专桶专放经过滤使用 3-2-3. 洗洁精用于月保养中前段清洗机去膜机水洗段管路槽壁清洗3-2-4. NaOH溶液用于月保养中前段清洗机、去膜机水洗段拆洗复装后之循环洗 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ002A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：02本页版次：4 总则 3-3.防护用品 3-3-1. 乳胶手套：在使用NaOH溶剂，酒精，IPA时或进行机台内部润滑时以及传动校正时 需戴上 3-3-2.活性炭口罩：在进行蚀刻机，中后段清洗机内部维护保养时需戴上4. 修调工具 一十字镙丝刀内六角扳手开口扳手皮带扳手尖嘴钳水管钳5. 作业时机 5-1.日保养在换线换液及待料时进行 5-2.日点检在接班1小时内进行 5-3.月保养在月底进行6. 作业流程5-1.日保养按各设备预定内容进行負責人流程5-2.日点检按各设备点检表进行5-3.月保养品質主管保養人員生產工程工程OK結束NG驗收停線保養作業保養物料准備人員任務分配保養內容擬定 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ002A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：03本页版次：0 总则 7. 注意事项 7 1 提列月保养内容时，须参照日点检之状况 7 2 机台重要零部件更换时，除保养记录单须记录外，亦须记录在履历单上 7 3 保养时犹如步进行修调工作，则将清洁保养放于最后进行，以避免不必要之反复清洁 7 4 使用酒精时，注意勿溅于地板上，以免破坏地板表面 7 5 清洁机台内底部有电器之部分时（非电控柜内），只可用吸尘器吸，并注意先关闭电控柜内主空气开关及勿碰松电器 7 6 CV侧盖拆下清洁内部时，螺钉需固定寄存以免遗失有遗失需补时，由工程负责（注意长度） 7 7 设备月保养记录单由工程记录（由生产清洁之部分可不记录） 8. 使用窗体 8 1 设备日点检记录单 8 1 设备月保养记录单 主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：03本页版次：0投料机防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 吸嘴清洁 用无尘纸沾水擦拭三遍。 1 2 机台表面清洁 先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾沾水擦拭三遍。 1 3 台车及纸槽清洁 先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾沾水擦拭三遍。 1 4 机台下面地板及周边清洁 先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 马达有无异响发热。 2 2 手臂运营平稳度。 2 3 各 Sensor 敏捷度。 2 4 传送导轮位置 (需成始终线)。 2 5 C/V平稳度跳动噪声。2 6 吸嘴有无破损 3. 月保养 3 1 机台内部清洁 3-1-1 关掉总电源用吸尘器清除杂物然后用羊皮巾沾水擦拭。 3-1-2 用十字螺丝刀拆下CV侧盖，用吸尘器吸去灰尘，再用无尘纸沾酒精擦拭。 3-1-3 清洁完毕后需检查各气管有无脱落组件有无松动等待 5min 后来才可开机。 3 2 丝杆导轨润滑 3-2-1 加油脂之前需用无尘纸沾酒精将旧油清除干净。 3-2-2 用高压油枪向运营滑块里加注无尘室专用油脂 (Krytox)。 3 3 真空过滤芯及真空阀体清洁。 3 4 C/V 传送皮带马达检查。 3 5 手臂前后气缸缓冲检查调节。 3 6 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：04本页版次：0清洗机防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 药液槽、过渡段及风刀室清洗用水枪纯水冲洗各药液槽10分钟，前后过渡段风刀室冲冼一遍并将风刀室用羊皮巾擦干水。 1 2 机台表面及地板清洁机台表面用羊皮巾沾水擦拭三遍地板先用吸尘器吸，再用羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭。 1 3 轻刷皮带及传动处清洁先用吸尘器吸轻刷皮带处磨屑再以无尘纸沾酒精擦拭污渍。 2. 日点检 2 1 导轮位置。 2 2 传动轴有无跳动。 2 3 喷咀角度堵塞检查。 2 4 轻刷有无异响。 2 5 风刀角度及吹净检查。 2 6 传动马达泵浦有无噪声过热。 2 7 Sensor 敏捷度检查。 3. 月保养 3 1 药液槽以NaOH溶液 (2.5%) 循环洗 60min 再用DI水循环洗 60min*4次作业前1小时更换滤芯后再注药液。 3 2 各水槽以洗洁精刷洗 30 min 再用 DI 水冲洗 10 min再以NaOH溶液 (2.5%) 循环洗60min 再用DI水循环洗 60min*4次作业前1小时更换滤芯后再注水。 3 3 轻刷每 6 个月更换，每月检查校正原点轴承皮带检查异常者更换。 3 4 传动点检校正更换损耗部品传动O-RING每 6 个月整批更换。 3 5 风刀风刀进气管(油雾分离器后部分)水洗段水管、喷嘴及水洗段传动轮每两月清洗一次。 3-5-1 将风刀进气管接头及水洗段水管及喷嘴拆下放入 5% 无泡清洁剂槽中浸泡 4小时(调压阀压力表电磁阀过滤筒另放)。 3-5-2 浸泡后将药液排除用 DI 水反复冲洗 4 次接头及喷嘴另用棉签擦净内部 再用 DI 水冲洗 2 遍最后用氮气枪吹净风管接头。 3-5-3 风刀调压阀过滤筒拆开后用无尘纸沾酒精擦拭。 3-5-4 水洗段传动轮以牙刷沾清洁剂刷洗。 3-5-4 将管路风刀调压阀按顺序装回并调节风刀至 GLASS 表面水能吹干。3 6 水洗段泵头滤筒每两月拆洗一次。 3 7 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：05本页版次：0IR/UV 烤箱防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁 先以吸尘器吸O-RING传动处再以羊皮巾沾水擦拭所有表面三遍。 1 2 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 C/V 传送速度检查。 2 2 O 型圈有无断开或老化。 2 3 UV 灯点灯检查。 2 4 加热板加热状况检查。 2 5 UV 灯工作时间检查。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁 3-1-1 关掉总电源待温度降至室温后以吸尘器吸除杂物再以无尘纸沾酒精擦拭。 3-1-2 电控部分用吸尘器清洁完毕后须检查气电组件与否有松脱。 3 2 O-RING点检更换点检更换磨损旳O-RING并保持传动轴上有 5 10 个备品。 3 3 C/V 传动点检校正点检校正导轮检查皮带检查轴承有无卡住松动有则更换或打紧 3 4 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：06本页版次：0冷却 C/V 防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁。 机台表面用羊皮巾沾纯水擦拭三遍。 1 2 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 传动导轮位置。 2 2 传动有无异响。 2 3 内部干净度。 2 4 感应器与否正常。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁。3-1-1 用吸尘器清除杂物然后用羊皮巾沾水擦拭三遍。 3-1-2 用十字螺丝刀拆下CV侧盖，用吸尘器吸去灰尘，再用无尘纸沾酒精擦拭三遍。 3 2 传动导轮位置点检校正。 3 3 传动皮带点检有磨损严重则更换。 3 4 风管拆洗（每两个月）。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：07本页版次：0上光阻机防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁 机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍。 1 2 C/V 清洁 用无尘纸沾适量丙酮擦拭三遍。 1 3 Coating Roller 与 Doctor RollerBack UP Roller 清洁。关闭光阻剂阀门,将光阻机上盖打开,用啄木鸟瓶装丙酮来回冲洗涂布轮,直至未见到光阻残留痕迹为止，然后再用无尘纸沾适量丙酮从左向右擦拭支撑轮直至目视无尘纸表面无异色为止 1 4 回收管废液管长时间待料须将管路里旳光阻剂排除。 1 5 机台周边地板清洁。 先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 传动导动位置。 2 2 传动部件有无异音。 2 3 机台内部干净度。 2 4 各Sensor 敏捷度。3. 月保养3 1 月底收班时将回收管废液管内光阻剂排除，再用丙酮洗一遍。 3 2 机台内部清洁。 3 3 原点点检校正。 3 4 传动涡轮涡杆清洁。 3 5 滑轨清洁注油脂。 3 6 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：08本页版次：0IR 烤箱防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 机台外部表面清洁。机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍。 1 2 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 温度点检。 2 2 C/V 平稳度点检。 2 3 Sensor 点检。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁。 待温度降至室温后用吸尘器吸除杂物再用酒精擦拭传送轮用无尘纸沾丙酮擦拭直 至其上无光阻剂为止。 3 2 更换磨损 O 型圈。 3 3 C/V 传送点检。 3 4 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：09本页版次：0BUFFER 防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁。机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍。 1 2 机机内部清洁。LIFTER C/V传送导轮、篮具锁扣、传送带、手臂及内侧板用无尘纸沾酒精擦拭三遍。1 3 篮具清洁。用无尘纸沾酒精擦拭1 4 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 平稳度噪声跳动检查。 2 2 传动皮带有无裂开及偏位。 2 3 机械手臂振动速度检查。 2 4 马达有无异响及过热。 2 5 篮具检查。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁 (清除玻璃屑)。 3 2 LIFT 上升/下降丝杆机械手臂滑轨润滑。(润滑脂 Krytox )。 3 3 传送皮带清洁检查有必要则更换。 3 4 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：10本页版次：0曝光机防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁。机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍。 1 2 机机内部清洁。先用吸尘器吸干净机台内部脏物，再用无尘纸沾适量酒精擦拭三遍（复眼及曲面镜不可擦拭）1 3 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 各气压参数及曝光灯电控箱电流电压。 2 2 PUSH-PIN 有无磨出沟槽破裂动作缓急。 2 3 入口中央出口 C/V 传送状况确认有无 O 型环严重磨损及断裂。 2 4 冷却气流量 70+10N/min 真空度 1400 mmHg。 2 3 Blower 真空度 -800 mmHg。 2 4 平台真空度 -500 mmHg。 2 5 各 Sensor 感光度与否良好。 2 6 平台移动与否平稳。 3. 月保养 3 1 机台内外清洁。 3 2 电气控制柜清洁碎玻璃旳清除。 3 3 丝杠润滑。 3 4 平台与 Blower 盒间隙校正。 3 5 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：23本页版次：0定向机防止保养作业指引书 1. 日保养1 1 机台表面清洁。机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍 1 2 定向室清洁。先以吸尘器吸一遍，再以无尘纸沾酒精擦拭一遍。1 3 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 传送导轮位置。 2 2 Sensor 感应度检查。 2 3 真空度检查。 2 4 Roller 平台平稳度。 2 5 机台有无异响及振动。 3. 月保养 3 1 机台内外整体清洁。 3 2 毛轮与平台水平度校正 ( GAP )。 3 3 传送导轮校正。 3 4 毛轮架毛轮装置检查调节。 3 5 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：24本页版次：0印框点机防止保养作业指引书 1. 日保养1 1 机台表面清洁。机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍。1 2 机台上部清洁以吸尘器吸传动皮带侧一遍以无尘纸沾酒精擦拭平台、刮刀架、网版架一遍。1 3 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 机台干净度。 2 2 PIN 与否磨损气压与否合适。 2 3 真空气压与否符合制程规定。 2 4 操作面板与否完好。 2 5 各感应器旳敏捷度及位置。 2 6 刮刀有无缺损松动刮板有无毛刺。 3. 月保养 3 1 清洁传送皮带及导轮更换磨损皮带。用镙丝刀/内六角扳手将皮带侧罩子拆下，先用吸尘器吸，再以无尘纸沾酒精擦拭。 3 2 托架圆柱气缸润滑。 3 3 点检气动管路与否有漏气及堵塞更换破损气管清洁真空阀滤芯。 3 4 更换缺损刮刀调校刮刀水平度。 3 5 马达导杆清洁润滑。 3 6 PIN外壳检查并更换磨损严重者。 3 7 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：25本页版次：0湿撒布机防止保养作业指引书 1. 日保养1 1 机台表面清洁。机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍。 1 2 撒布室清洁打开已降温旳撒布机门,用水枪冲洗撒布室内侧壁，顶部及喷嘴用气枪吹干内壁旳水,并用羊皮巾将水擦干.清洁机台地面区域机台周身清洁。 1 3 喷嘴及管道清洁。用吸尘器吸拭喷嘴及喷嘴四周凹陷部分将IPA和纯水1:1配制成1000ml溶液分三次倒入量杯，手动启动循环泵,手动空撒4次直至管路,量杯呈透明状,无残留液喷嘴无堵塞将N2接入管路,量杯中放入羊皮巾进行吹气,直至管路喷嘴内液体吹干为止。1 4 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。 2. 日点检 2 1 喷嘴畅通性。 2 2 加热系统与否完好。 2 3 C/V 传送与否有松动异声传动马达与否发热有异声。 2 4 各控制按钮与否完好。 2 5 各感应器旳敏捷度。 2 6 手臂上真空吸嘴与否掉落及破损。 2 7 检查 N2 及主气压之值。 3. 月保养 3 1 托架气缸导轨上油润滑缓冲调节。 3 2 C/V 校正及更换磨损牙轮。 3 3 C/V 段清洁。 3 4 检查加热状况。 3 5 Sensor 敏捷度检查。 3 6 拆洗喷咀。 3 7 电气部件检查。 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：26本页版次：0干撒布机防止保养作业指引书1. 日保养 1 1 机台内外清洁。 1 2 清洁机台地面区域。 2. 日点检 2 1 机台内外干净度。 2 2 机械手臂旳灵活性及平稳度。 2 3 感应器敏捷性及位置。 2 4 电子秤旳精确性检查。 2 5 检查 C/V 传送轮与否有松动异声。 2 6 传动马达与否有发热及异声。 2 7 高压槽与否良好。 2 8 操作面板及控制按钮旳完好性。 3. 月保养 3 1 机台顶部撒布槽清洁。 3 2 撒布室平台平稳度调节紧固。 3 3 传动 C/V 校正锁紧。 3 4 机械手臂滚珠丝杆导轨上油润滑。 3 5 清洁高压喷嘴。 3 6 机械手臂移动线槽及线旳检查更换老化电线。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文献之著作权及营业秘密内容属于我司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文献编号：WE005文献版本：A设备防止保养作业指引书页 次：27本页版次：0BRFFER机(无篮式)防止保养作业指引书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁。机台表面用羊皮巾沾纯水从上至下擦拭三遍。 1 2 机机内部清洁。LIFTER C/V传送导轮、篮具锁扣、传送带、手臂及内侧板用无尘纸沾酒精擦拭三遍。1 3 机台周边地板清洁。先用吸尘器清除杂物再以羊皮巾或回收无尘纸沾水擦拭三遍。
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