静电防护管理程序.doc

程序文件Document of Procedure文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 1 页 共 9 页静电防护管理程序文件编号：QP-755-22 文件版次： A/1 生效日期：2012-07-01 文件受控印章：文件分发部门：总经理 管理者代表 业务部 资材部 研发部工程部 品质部 生产部 人力资源部 其他()编制审核批准静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 2 页 共 9 页版次修改原因/修改内容生效日期批准人静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 3 页 共 9 页1. 1.0目的防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使静电放电防护工作具有较强的可操作性。 2.0适用范围从静电敏感器件进货到产品形成的全过程。 3.0定义3.1静电放电（ESD）处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。3.2静电敏感器件（ESDS）在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。4.0职责4.1 工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求；4.2仓库负责静电敏感器件的静电防护,品质部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间负责生产过程中的静电防护；4.3 电工负责对接地主干线的检测和维护,一般每一年一次检测（特殊情况可作调整）；各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护；4.4工厂各车间日常点检工作由生产车间指点人员进行，工程部、品质部、资材部由各部门指定人员进行；4.5 工程部负责ESD防护措施的抽检抽查；每月一次。4.6 静电防护的控制点和区域组装车间、包装车间、电子料仓、组装料仓；5.0静电说明5.1静电的发生及带电5.1.1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。5.1.2静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。5.1.3接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.510-8cm 时在其间即发生电子的转移界面静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 4 页 共 9 页两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷；5.1.4感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷；5.1.5剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电；5.1.6摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移。5.1.7静电的危害5.1.8对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。 5.1.9对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。5.2绝缘体与导体5.2.1绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1012。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态；如：普通塑料制品、乙烯等。5.2.2导体一般表面电阻率在105以下，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。5.3防静电材料根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。静电绝缘材料：表面电阻率1012；静电耗散材料：表面电阻率105-1011；静电导电材料：表面电阻率103-105；静电屏蔽材料：表面电阻率103；5.4静电发生源5.4.1 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。 5.4.2 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。5.4.3 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 5 页 共 9 页表1 常见物体的静电发生序列序号材料序号材料 1空气12棉布2人手13钢3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡胶6头发17镍、铜7尼龙18黄铜、银8羊毛19聚脂人造纤维9丝绸20聚乙烯10铝21聚丙烯11纸22聚氯乙烯5.5漏电测试工具如测试仪、电源等；由于使用220V电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压小于1V。5.6电子元器件的静电耐压表2 一些器件类型的静电敏感电压值器件类型耐静电放电电压（V）器件类型耐静电放电电压（V）VMOS30-1800运算放电器190-2500MOSSEFT100-200JEFT140-1000PROM100STTL300-2500GaAsFET100-300SCL680-1000CMOS250-2000DTL380-7000HMOS50-500肖特基二极管300-3000E/DMOS200-1000双极型晶体管380-7000ECL300-2500石英压电晶体器件10000静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 6 页 共 9 页6.0工厂防静电对策6.1作业员6.1.1对于可接触到静电敏感元器件或有机会接触到静电敏感元器件的作业员需配戴防静电手环；6.1.2 组装车间及包装车间员工需配戴防静电手环；6.1.3仓库、IQC、IPQC、工程分析人员接触静电敏感元器件时（如：直接接触电子元件、加工好的PCBA等）需配戴防静电手环，当没有静电地线时应戴无绳静电手环进行作业；6.1.4带静电手环注意事项6.1.5员工在作业前必须先测试所佩带的防静电腕带是合格的,方可开始作业；6.1.6作业时, 防静电腕带戴在不影响作业的一只手上；6.1.7 一定要使防静电腕带紧贴到手腕皮肤；不能戴在手套、衣袖上6.1.8不能使防静电腕带拉长超过弹性限度,防止将内部导线拉断；6.1.9 当防静电腕带因汗、灰等变脏时会影响接触效果,要清洁金属接触部位； 防静电手套佩带方式防静电手环6.2修理台、组件加工、生产作业台面。6.2.1电批需进行接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地时直接接到设备地，电阻小于10。漏电电压要求在Vac1V。6.2.2电烙铁需接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地时需在电烙铁与设备地之间接120K10%或150K10% 的电阻进行限流。漏电电压要求在Vac0.3V。6.2.3电源插座接地孔应接设备地，接地电阻10。6.2.4测试仪器接地电阻10。6.3周转箱用于PCBA、半导体电子元器件、机芯周转的周转箱要求使用防静电周转箱或使用中性的纸箱进行周转。防静电周转箱表面电阻要求在1051011；表面电压150V。6.4防静电袋、物料盒静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 7 页 共 9 页半导体元器件供应商供货要求使用防静电材料(一般使用防静电的聚乙烯)包装；防静电袋的使用寿命和防静电效果会随时间而消失,原则上为一次性使用。对重复使用的防静电袋要求在使用前进行防静电测试，合格后才能投入使用。测试标准表面电阻要求在1051011；表面电压150V。6.5治具、机架6.5.1 通常情况要求测试机架使用防静电材料进行制作，表面电阻要求在10510116.5.2 如果使用一般不防静电材料（如有机玻璃）制作，必须采取防静电措施，如需在测试机架上加防静电胶皮或包锡箔纸并实施接地；或者喷防静电液使其表面电阻达到1051011。6.6相对湿度：工厂要求相对湿度在40%-70%。6.7仓库、车间在对静电敏感器件做防尘处理时，要确保防尘膜不能直接和静电敏感器件接触，需先在静电敏感器件上盖上防静电材料，然后再围防尘膜。6.8地线6.8.1静电地线：用于静电手环接地。6.8.2设备地线：用于生产线上的仪器设备接地。6.8.3静电地线串接有150k+10%电阻（规格2W以上）。6.9设备接地规则6.9.1接地位置：优先顺序由高到低依次为：设备仪器的后面、左侧、前面（设备仪器后面可以接地的都必须接在后面，后面不能接地的则可以选择左侧或者前面）6.9.2接地线规格要求:总干线使用1.5mm2的黄绿线;连接仪器设备支线使用0.5mm2的黑线或AV线；7 7.0防静电措施检测7.1防静电腕带的检测7.1.1防静电腕带的地线夹夹住静电测试仪的鳄鱼夹上,同时将另一只不佩带防静电腕带的手按在“PRESS HERE”上（静电TESTER上的白色按键）；戴防静电手环的手进行左右摇动2-3秒；7.1.2若绿色“PASS”指示灯一直亮,则表明佩带防静电腕带良好；红色“LOW”或“HIGH”指示灯亮,则表明所佩带防静电腕带未戴好或有故障；如红色与绿色灯交替闪烁表面防静电腕带未戴好或接触不良。7.1.3测量必须保证在上班的前5分钟完成即可；7.1.4 在测试中发现有故障的防静电腕带由作业员交给拉长处理, 并要求立即更换；7.2电烙铁漏电测试 在热工作状态下用万用表测量烙铁头与电源地的阻抗在120K10%或150 K10%,AC电压0.3V以下，记录在烙铁温度点检表；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接烙铁上锡面）。静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 8 页 共 9 页7.3电批漏电测试在工作转动状态下用万用表测量电批头与电源地的阻抗10,AC电压1V以下；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接电批头上）7.4测试仪器、机架漏电测试在工作状态下用万用表测量测试机架、测试仪器与电源地的阻抗10,AC电压1V以下；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接测试仪器外壳、测试机架输出端口地）8.0仪器使用说明8.1静电手环测试仪使用前要先检查仪器是否正常，简易确认方法：将测试仪接地线与测试按压片短路并按下，正常应显示红灯LOW；直接按压测试按压片（测试仪接地线悬空不与任何物体接触），正常应显示红灯HIGH,8.2确认仪器正常后方可使用，使用时仪器接静电地线，然后开始检测。9.0静电的点检及记录9.1防静电手环9.1.1 由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在静电手环点检记录表中；9.1.2对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换；9.1.3对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2小时涂一次；9.2电批、电烙铁由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在电批扭力与漏电测试记录表、烙铁温度点检表中；9.3仪器、设备、机架、治具由各生产线指定专人每周进行点检；同时将每个测试结果记录在相应周点检表中；9.4相对湿度指定专门的人员点检，同时将每个测试结果记录在温湿度记录表中；静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版 次：A/1第 9 页 共 9 页10.质量记录10.1温湿度记录表10.2电批扭力与漏电测试记录表10.3防静电日常检查表10.4设备地线与静电地线间电阻点检记录10.5烙铁温度点检表电批扭力点检表月度： 月 电批编号： 日期扭 机力 型12345678910111213141516171819202122232425262728293031(KGF/CM)0.50.60.81.01.21.41.61.8备注：1、PE每天上班前或机型切换前根据作业指导书上的扭力进行确认并记录； 2、测试记录用蓝笔在对应的日期和扭力交接点画圈。点检人： 确 认： FM-PD-06-A/1温湿度记录表年月：日 期温度值湿度值记录人备 注记录时间是每天下午14:00（温度15C-35C，湿度70% 10%）。FM-PD-07-A/1防静电日常检查表生产线： 201 年 月 日序号编 号使用者 日期测试记录时间123456789101112131415161718192021222324252627282930311上午下午2上午下午3上午下午4上午下午5上午下午6上午下午7上午下午8上午下午9上午下午10上午下午11上午下午12上午下午备注：测试时静电环的连接线要与测试仪连接线紧密连接，然后一手接触静电环金属片，一手按住测试以金属器，当绿灯且有“嘟”声的响声时表示OK则打“”，若是红灯亮表示NG则打“”。制表： 确认： FM-PD-03-A/1烙铁温度点检表生产线： 201 年 月 日序号编 号温度标准 日期温度记录时间123456789101112131415161718192021222324252627282930311上午下午2上午下午3上午下午4上午下午5上午下午6上午下午7上午下午8上午下午9上午下午10上午下午11上午下午12上午下午备注:环保要求温度：35010 非环保要求温度：30010 如温度不符应及时调试并检测。正常范围内打“”，偏高打“”，偏低打“”，完全不符合打“”。如放假PE须在相应日期方框内填写放假记录： 确认： FM-PD-05-A/1