ESD防静电管理规范

April 4 05 B0 深圳市杰瑞佳科技深圳有限公司 防静电管理规范 目录 1 目的 2 适用范围 3 引 用标准 4 名 词术语 5 防静 电工作区 系统 6 人 体防静电 系统 7 职责 8 培训 9 采购 10 记录 11 附录 April 4 05 B0 1 目的 为避免静电敏感元器件在生产 运输 储存 检测等过程中受到静电释放的影响 从而产生短路 电阻漂移 开路 工作性能退化等不良现象 特建立 电子产品制造静电防护技术要求 以保证产品品质 增加可靠性 减 低不良率 节省产品工时成本 降低维修费用 基于 电子产品制造静电防护技术要求 文件的颁布 提高员工对 ESD 的认识 加强员工自觉防止 ESD 现象 之观念 促进生产管理水平之提高 2 适用范围 本文适用于所有车间中生产制程及电子元器件的采购 运输 储存 检测过程中的静电防护 3 引用标准 SJ T 10694 1996 电子产品制造防静电系统测试方法 GB T 15463 1995 静电安全名词术语 GJB 3007 97 防静电工作区技术要求 GJB 1649 93 电子产品防静电放电控制大纲 GB 12014 89 防静电工作服 SJ T 10533 94 电子设备制造防静电技术要求 SJ T 10630 1995 电子元器件制造防静电技术要求 ANSI ESD STM3 1 2000 静电放电敏感产品防护用标准 离子发生器 ANSI ESD S20 20 1999 建立一个静电放电控制方案 保护电气和电子零件 装置和设备 4 名词术语 4 1 静电 一种处于相对稳定状态的电荷 它所引起的磁场效应可以忽略不计 静电可由物质的接触与分离 静电感应 介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生 4 2 ESD Electronic Static Discharge 原意是指静电释放 即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静 电电荷在不同电势物体上的转移 后常指静电防护 即避免静电释放的发生 4 3 静电感应 当带电物体靠近某一介质时 在该介质表面因感应而带电荷 并形成感应电场 4 4 ESDS Electronic Static Discharge Sensitive 静电放电敏感 的 通常用来指静电敏感元器件 4 5 防静电工作区 由各种防静电设施 器件及明确的区域界限形成的工作场地 4 6 静电敏感度 Electrostatic Sensitivity 元器件所能承受的静电放电电压值 4 7 表面电阻 点对点电阻 在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间 直流电压对于流过的电 流的比值 该测量结果以欧姆为单位来表示 4 8 体积电阻 对地电阻 系统电阻 在与材料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间 直流电压对于流 过的电流的比值 该测量结果以欧姆为单位来表示 4 9 摩擦起电 当使两种材料接触或相互摩擦后分离时 产生静电荷 4 10 摩擦电压 物体被摩擦后 表面所带静电荷的电压 4 11 ESD 损伤 由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效 4 12 消电时间 Decay Time 一个静电压从其初始值降低到一个给定值 通常是初始值的 10 所需要的时 间 注 国际惯例对于小于 1E6 欧姆的电阻使用 10V 电压测量 大于或等于 1E6 欧姆的电阻使用 100V 电压测量 防 静电工作区系统 5 1 防静电工作区的划分 5 1 1 根据GJB 1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件 组件和设备的分级 静电放电敏感产品按敏 感度电压被分级为 静电敏感度级别 静电敏感电压 人体模型 HBM I级 0 1999V II级 2000 3999V III级 4000 15999V 根据该项标准的规定 所要求的ESD控制大纲一般只包含对I和II级敏感产品的防护 现按照元器件静电敏感度和 生产线实际情况如下 Apr 3 02 A0 5 1 1 1 LED芯片的静电敏感度相对较高 生产环境相对干燥 凡是直接操作的半成品 成品生产线均定为I级 5 1 1 2 仅仅是器件的存储和运输 也不需要严格的防静电措施 理由是产品在这个时候没有被加工 把这些区 域或车间定为II级 5 1 1 3 按照上述理由 现规定敏感级别为 级别 区域 I级 固焊车间 灌胶车间 模压车间 外观 分光 包装等 II级 成品包装区域 货仓区域 生产仓 收料仓等 5 1 2 公司内部由黄 黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区 5 1 3 元器件敏感度分级由QC1 ESD工程师按后附录1 ESDS元器件分类 酌情分级 并确定 5 2 防静电工作区基本环境要求 5 2 1 防静电工作区应保持洁净 避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生 5 2 2 车间内温湿度的控制结合车间的实际情况定为 区域 温度 湿度 万级洁净室 21 2 C 10 万级洁净室 21 2 C 普通车间 23 3 C 5 2 3 在不对产品造成有害影响的前提下 允许使用增湿设备喷洒制剂或水 以增加环境湿度 5 2 4 防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志 见附录 14 5 2 5 要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫 并保证有效接地 禁止直接使用木制地板或铺设毛 麻 化纤地毯及普通地板革 5 2 6 天花板及墙壁建议使用防静电材料制品 一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料 禁止使用普通塑料制 品 5 3 防静电工作区接地系统 5 3 1 应有独立可靠的接地装置 接地电阻一般应小于 10 欧姆 为保证人员安全 在与人员直接接触的地方应 加装 1 兆欧姆限流电阻 接地线的要求如下 接地线 截面积 接地电阻 要求 接地总线 不小于 100mm2 的铜制导线 小于 10 欧姆 接地支干线 不小于 6 mm2 的铜制导线 小于 10 欧姆 设备和工作 台的接地线 不小于 1 25mm2 的多股或单 股的铜制绝缘套导线 小于 10 欧姆或 0 8 兆欧 1 2 兆 欧 ESD 线不得直接接在电源零线上 ESD 线不 得与防雷地线共用 使用三相五线制供电 其大地线可以作为 ESD 地线 但需保证电源 地线与零线不能搭接 ESD 地线应用绿色绝缘套标识 台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用 5 3 2 厂房接地总线的接地电阻小于 10 欧姆 由行政部负责定期检查 周期为一个月一次 并填写 厂房接地 电阻测试记录表 5 3 3 车间内部的设备和工作台的接地线的接地状况由 PE 负责定期检查 周期为 3 个月一次 并填写 工作台 地线接地电阻测试记录表 5 3 4 测试台的防静电设备 工器具的接地由 TE 负责定期检查 周期为 3 个月一次 并填写 工作台地线接地 电阻测试记录表 5 4 防静电区域设备及辅料要求 I 级区域 II 级区域 防静电安全工作台 防静电安全工作台 防静电容器 运输工具 料盒 料箱 运输车 防静电容器 运输工具 料盒 料箱 运输车 防静电腕带 防静电腕带 防静电工衣 帽 防静电工衣 帽 防静电工鞋 防静电工鞋 防静电测试架 离子风机 离子棒 离子风枪 视工序而定 Apr 3 02 A0 防静电烙铁 如需使用烙铁 5 5 防静电工作区的 ESD 技术要求 5 5 1 防静电地板 5 5 1 1 用防静电 PVC 地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁 严禁使用强酸 强碱或能溶解 PVC 材料的 化学溶剂进行清洗 如果属于更严重的污渍 可以使用异丙烯基乙醇清洁 5 5 1 2 严禁带有尖刺 粗糙的重物在地板表面擦划 拖拉 5 5 1 3 不能将硫化物 丙酮 酒精等物品撒落在 ESD 地板上 如发生以上情况 应立即清洁 5 5 1 4 使用防静电地板蜡水进行定期涂敷 养护 一般 6 个月一次 5 5 1 5 地板蜡的电阻小于 1E9 欧姆 5 5 1 6 地板安装时应满足的 ESD 技术指标包括 表面电阻值和系统电阻值均在 1E4 1E9 欧姆范围以内 5 5 1 7 生产部应及时向行政部要求对防静电地板进行打蜡维护 行政部做好地板打蜡后应及时通知 QC1 部 ESD 工程师 5 5 1 8 对于 K4 洁净室的地板 经 IE 评估且经过 ESD 工程师的认可 可以不做地板打蜡 5 5 1 9 QC1 部 ESD 工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻 系统电阻测试 测试方 法见附录 2 并填写 防静电地板电阻测试记录表 5 5 2 防静电安全工作台 含测试台 5 5 2 1 各区域的防静电安全工作台由负责该区域的 PE 或 TE 确定范围 例如 回流焊后的检查台 QC1 检查台 修理台和测试台等 5 5 2 2 防静电安全工作台基本要求和禁止项目 要求 禁止 工作台表面铺设防静电台垫 同时台垫必须接地 特殊情况可以没有台垫 但需经 ESD 工程师认可 工作台上放置普通塑料盒 片 橡皮 玻璃 普 通泡沫等容易产生静电的杂物 配备腕带接头 ESD 地线 离子风机 可选 防 静电工具 可选 和防静电测试架 距离 ESDS 元器件 30 厘米以内有摩擦电压高于 200V 的物件 5 5 2 3 在防静电区内使用不符合防静电要求的物料且必须时 必须得到 QC1 ESD 工程师的评估和认可 5 5 2 4 防静电台台面应满足 ESD 技术指标 表面电阻值和系统电阻值均在 1E4 1E9 欧姆范围以内 5 5 2 5 防静电台椅子应满足 ESD 技术指标 表面电阻值和系统电阻值均小于 1E9 欧姆范围 5 5 2 6 防静电胶帘的表面电阻应在 1E4 1E11 欧姆内 5 5 2 7 PE 应每 6 个月做一次相应的工作区域内的防静电台垫和防静电工椅电阻测试 防静电台垫测试方法见附 录 3 填写 防静电台垫电阻测试记录表 防静电工椅测试方法见附录 8 填写 防静电工椅测试记 录表 如果有不合格的 须及时更换 5 5 3 防静电辅料 工具 5 5 3 1 防静电溶剂瓶 系统电阻在 1E4 1E11 欧姆范围 5 5 3 2 防静电烙铁 焊接工具 从热的端头到地的电阻应小于 10 欧姆 5 5 3 3 防静电文件袋 夹 表面电阻在 1E4 1E11 欧姆范围 5 5 3 4 PE 应每 6 个月做一次防静电辅料电阻测试 测试方法见附录 7 填写 防静电辅料电阻测试记录表 5 5 4 防静电包装及容器 5 5 4 1 防静电容器包括 ESDS 原料包装袋 盒 盘 装板的料盒 等一切包装 储存 ESDS 的容器 5 5 4 2 允许使用局部抗静电涂料对容器表面进行处理 但使用效果必须由相关 PE 定期检查 5 5 4 3 防静电容器应满足 ESD 技术指标 表面电阻 包括内外表面 在 1E4 1E11 欧姆范围 系统电阻在 1E4 1E10 欧姆范围 如果产品或产品的金属部分不直接与防静电容器接触 则允许防静电容器的电阻小于 1E4 欧姆 PE 应每 6 个月做一次防静电容器 包括吸塑 托盘 料箱等 表面电阻和体积电阻测试 测试方法见附录 4 填写 防静电周转容器电阻测试 记录表 测试结果由 PE 保存半年 并在符合标准的容器上做标记 QC2 应按 SEF 对来料的包装袋和容器进行测试 并填写 防静电包装袋 容器电阻测试记录表 5 5 5 防静电运输工具及存放架等 5 5 5 1 防静电运输工具包括 ESD 运输车 ESD 小推车等 5 5 5 2 为保护 ESDS 不受到外部强静电场的影响 运送 ESDS 的防静电运输工具应由高导电性材料 建议使用不 Apr 3 02 A0 锈钢 制作 车子经常固定时要求硬接地 其对地电阻应小于 10 欧姆 5 5 5 3 当运输车由不锈钢组成时 且经常移动时 其对地电阻应小于 1E9 欧姆 5 5 5 4 存放架的表面电阻和对地电阻应小于 1E9 欧姆 5 5 5 5 防静电运输工具应满足 ESD 技术指标 表面电阻和对地电阻小于 1E9 欧姆 PE 应每 6 个月做一次防静电 运输车 ESD 小推车之台面对轮脚系统电阻测试 测试方法见附录 5 填写 防静电运输工具 存放架电阻 测 试记录表 测试结果由 PE 保存半年 并在符合标准的运输工具上做标记 5 5 6 除静电离子风机 离子棒 5 5 6 1 当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时 且该材料要求被放置在离 ESDS 30 厘米内时 必须使用离子风机或离子棒 5 5 6 2 对于不能接地又直接接触 ESDS 元件的物体 必须保证其保持在零电位状态 必要时 可以使用离子风机 消除在这个过程中产生的静电 5 5 6 3 离子风机在使用的过程中会产生较大功率的 RF 信号 因此进行通信产品测试的车间不适用离子风机 如 果要用 则需要通过 QC1 ESD 工程师的评估 5 5 6 4 悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面 60 厘米的高度 特殊工位可例外 但须经 ESD 工程师认可 离子风 机的出风口不能有异物阻挡 离子风机的平衡电压保持在 50V 以内 消电时间 从 1000V 中和到 100V 应小于 10 秒 高风速 5 5 6 5 台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域 30 45 厘米左右 以保证有足够的覆盖范围和快速的静电消 除 离子风机的出风口不能有异物阻挡 离子风机的平衡电压保持在 50V 以内 消电时间 从 1000V 中 和到 100V 应小于 3 秒 高风速 5 5 6 6 离子棒应悬挂在合适的工作高度以保证除静电效果 离子棒的平衡电压应保持在 50V 以内 消电时间 从 1000V 中和到 100V 应小于 60 秒 5 5 6 7 QC1 ESD 工程师应每 6 个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试 填写 除静电离子发生器测试记录 表 对不符合要求的离子风机 应及时处理 5 5 7 其它防静电物料及相关要求 5 5 7 1 不在上面列出来的物料则按一般防静电要求 表面电阻在 1E4 1E11 欧姆内 系统电阻在 1E4 1E11 欧姆 内 5 5 7 2 特殊情况下 如果找不到合适的供应商 又经过 ESD 专员的评估 确认不会对产品构成 ESD 隐患的情况 下 可以引入表面电阻或体积电阻小于 1E11 欧姆的物料 6 人体防静电系统 6 1 防静电腕带 6 1 1 直接接触 ESDS 的任何人员都应按规定佩带防静电腕带 俗称静电带 禁止使用无线防静电腕带 6 1 2 防静电腕带的接触线应内置一个 1 兆欧姆电阻 以保证人体安全以及快速泻放静电 防静电腕带的腕带应 是导电性的 表面电阻应小于 1E3 欧姆 同时应保证防静电腕带与人体皮肤有良好的接触 系统电阻应小 于 35 兆欧姆 且使用鳄鱼夹或插头座可靠的连接在 ESD 线上 6 1 3 应每天一次测量防静电腕带的系统电阻 由拉长填写 静电带检查记录表 检查不合格时应交由修理检 修 不能修复时 应及时更换 6 2 防静电鞋 防静电鞋套 6 2 1 所有进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋 鞋套 防静电鞋 鞋套的使用要保证鞋的系统电阻在 1E5 3 5E7 欧姆范围内 应每天一次测量防静电鞋 鞋套的系统电阻 由拉长填写 防静电鞋 鞋套检查记录 表 检查不合格时应及时更换 6 3 防静电工作服 6 3 1 防静电工作服包括 防静电连体衣 防静电大褂 防静电工鞋 鞋套 和工帽 防静电工作服要求使用 导电网格防静电绸制作 制造要求应符合 GB 12014 之规定 其各部分之间应存在电气连续性 工作服的 设计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触 6 3 2 进入防静电区域时 防静电工作服 工鞋和工帽要求穿着整齐 全部纽扣 拉链 要系好 拉完全 头 发必须包在工帽内 不能有外露 6 3 3 不同使用人员之防静电工作服按颜色区分 Apr 3 02 A0 人员 普通工作区域及 10 万级洁 净室 万级洁净室 生产部作业员工 白色的防静电服 帽 黄色防静电连体服帽 品质部员工 粉红色的防静电服 帽 粉红色防静电连体服帽 工程人员 蓝色的防静电服 帽 蓝色防静电连体服帽 生产管理人员 白色的防静电服 帽 白色防静电连体服帽 外来人员 白色的防静电服 帽 白色防静电连体服帽 6 3 4 购买防静电工衣时应满足 ESD 技术指标 表面电阻值 1E5 欧姆 1E10 欧姆 6 3 5 生产部应每半年做一次防静电工衣表面电阻测试 测试方法见附录 6 并填写 防静电工衣表面电阻 测试记录表 对于不符合指标要求的防静电工衣 予以更换 6 4 防静电手套 指套 6 4 1 由消散性材料制成 人体穿戴对地电阻在 1E5 1E11 欧姆范围 摩擦电压小于 50V 6 5 人体综合接地测试系统 要求 手腕带 人体 工鞋 人体 指示灯 电阻下限 7 5E5 欧姆 1E5 欧姆 电阻上限 3 5E7 欧姆 3 5E7 欧姆 电阻在范围以内 绿灯 电阻不在范围以内 红灯 6 5 1 每个进入防静电区域的人员须进行人体综合接地效果测试 如果亮红灯 则表明测试失败 应更换工鞋 鞋 套或手腕带重新进行测试并通知相关人员 6 6 人员防静电一般要求 6 6 1 要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物 尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品 以免产生强电场导致静 电感应放电现象 6 6 2 在防静电工作区内不得大声喧哗 坐立姿势端正 避免不必要的走动 以及不必要的大幅度身体运动 如 弯腰 晃动手臂等 在防静电工作区内如有必要走动 应缓步行走 禁止奔跑 6 6 3 接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电腕带 防静电腕带再接入防静电地线系统 要保证腕带与皮肤 接触良好 在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油 防冻油等绝缘物质 6 6 4 手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电 金属管脚 部分 操作过程中应尽量减少对静电敏感器件 及组件的接触次数 按需要逐一取用 不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面上 确需暂时叠放时必须用 防静电材料隔离开 6 6 5 外来人员参观 必须有本公司人员全程陪同 按参观路线行进 不得随意走动 不得进入机器外围的斑马 线地标 更不得随意触摸产品 7 职责 7 1 生产经理 课长 组长等管理人员 职责包括 7 1 1 负责做好物料 作业员 及其他进出防静电工作区人员及物品的出入管理 确保其按 ESD 要求正确着装 7 1 2 确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用 ESD 设备 包括防静电工衣 防静电工帽 防静电工鞋 防静电腕带 防静电台垫 离子风机 ESD 料盒和 ESD 地板等 7 1 3 确保无关人员不接触产品 不对产品产生静电释放 7 1 4 对怀疑是静电损伤的产品 需要保存样品并报告给相应的部门作失效分析 7 1 5 定期检查防静电工衣 工鞋 腕带的 ESD 品质 如有品质异常 及时向采购部提出采购申请更换 7 1 6 每天检查 ESD 设备 台垫等的接地状况 目视 确保接地线正确的连接到 ESD 总线上 7 1 7 每六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡 7 2 ESD 工程师 技术员 职责包括 7 2 1 统筹全厂的 ESD 控制 定期对生产线的静电防护水平做出评估 并给出改善意见 提高其静电防护水平 7 2 2 负责寻找新的防静电用品的供应商 评估新购的防静电用品的性能 7 2 3 协助人力资源部进行 ESD 培训 7 2 4 监督各个部门的 ESD 管理情况 及时反映 ESD 状况 7 2 5 对生产线的静电损伤样品作失效分析 解决工序中的 ESD 情况 Apr 3 02 A0 7 2 6 定期检查除静电离子发生器的性能 确保其正常工作 7 2 7 负责对打蜡后的地板进行测量 7 2 8 责成行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内 7 2 9 定期检查 ESD 总线的接地状况 确保其状况良好 7 2 10 定期使用专用的防静电地板蜡水对防静电地板打蜡 打完蜡后进行电阻测试 7 3 人力资源部 职责包括 7 3 1 负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训 7 3 2 定期对员工进行防静电知识培训 并进行培训的再审核 7 4 开发部 职责包括 7 4 1 开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度 尽量选用具有最大静电抗扰度的元件 7 4 2 在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去 以保护产品里面的静电敏感元件 7 4 3 要求供应商提供元器件静电敏感度的级别 包括人体模型 HBM 机器模型 MM 和带电器件模型 CDM 应列明何种标准 7 4 4 做好 SEF 包括防静电指标 part number 等 给 QC 部 供 QC 部抽测来料 7 5 品质部 职责包括 7 5 1 确定 ESDS 敏感级别 对成品进行静电放电模拟测试 确认静电敏感度 7 5 2 根据 SEF 负责抽测 监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品的品质 如发现异常 应及时反馈信息给 ESD 工程师或相应的部门 7 6 设备工程师 技术员 职责包括 7 6 1 定期检查防静电设备 确保其可以正常使用 包括防静电台垫 地垫 防静电容器 运输工具和其它辅助 工具的表面电阻和系统电阻测试等 7 6 2 定期检查台垫和机器的接地状况 确保接地良好 7 7 货仓职责包括 7 7 1 负责货仓防静电措施的维护和管理 7 7 2 定期通知 ESD 工程师进行检测使用中的防静电用具 8 培训 8 1 对所有可能接触或接近 ESDS 的人员 必须进行相关的 ESD 知识培训 并加以教育与训练 使之树立有效的 ESD 防护观念 培训的有效期为一年 人力资源部应填写 员工防静电知识培训考核记录表 8 2 防静电培训的内容包括 8 2 1 静电学基础和静电损害 8 2 2 静电性能测试 8 2 3 防静电的标示与包装 8 2 4 防静电控制 8 2 5 防静电设备的使用和检测 相关人员 9 采购 9 1所有防静电用品的采购均须要按照附录 16 防静电制品采购流程图 执行 10 记录 序号 记录名称 责任部门 测量周期 保存期限 1 防静电地板电阻测试记录表 设备部 6 个月抽测 6 个月 2 防静电台垫电阻测试记录表 品质部 6 个月抽测 6 个月 3 静电带检查记录表 生产部 每天 1 个月 4 防静电包装袋 容器电阻测试记录表 品质部 每一批抽测 6 个月 5 防静电周转容器电阻测试纪录表 品质部 6 个月抽测 6 个月 6 除静电离子发生器测试记录表 品质部 6 个月抽测 6 个月 7 防静电手套 指套电阻测试记录表 品质部 每一批抽测 6 个月 8 防静电运输工具 存放架电阻测试记录表 品质部 6 个月抽测 6 个月 9 防静电工衣表面电阻测试记录表 生产部 6 个月抽测 6 个月 10 员工防静电知识培训考核纪录表 人力资源部 一年 一年 Apr 3 02 A0 11 防静电辅料电阻测试记录表 品质部 6 个月抽测 6 个月 12 防静电鞋 鞋套测试记录表 生产部 每天 6 个月 13 厂房接地电阻测试纪录表 设备部 1 个月抽测 一年 14 工作台地线接地电阻测试纪录表 品质部 3 个月抽测 1 个月 15 防静电椅子电阻测试记录表 品质部 6 个月抽测 6 个月 11 附录 a 附录 1 ESDS 元器件分类 I 级 0V 1999V 序号 元器件类别 条件及说明 1 微波器件 包括肖特基二极管 点接触二极管 频率大于1GHz的二极管 2 分立MOS 场效应管 包括VWOS及VDMOS等等 3 表面声波 SAW 器件 4 结型场效应管 5 电荷耦合器件 6 精密稳压二极管 7 运算放大器 包括双极型工艺及MOS工艺 8 超高速集成电路 包括ECL HCMOS FAST 等工艺 9 其他集成电路 包括CMOS PMOS NMOS TTL等 10 薄膜电阻器 11 混合电路 使用I级静电敏感元器件组装的混合电路 12 可控硅 TA 100 TO 0 175A II 级 2000V 3999V 序号 元器件类别 条件及说明 1 分立MOS 场效应管 包括VMOS VDMOS等 2 结型场效应晶体管 3 运算放大器 包括双极工艺和MOS工艺 4 超高速集成电路 5 其他集成电路 包括CMOS PMOS NMOS TTL等 6 精密电阻网络 包括ECL HCMOS FAST 等工艺 7 混合电路 使用II级静电敏感元器件组装的混合电路 8 低功率双极工艺晶体管 PT 100mW IC 100mA 附录 2 防静电地板表面电阻 系统电阻测试方法 1 按下图确定防静电地板测试点 每一个方格均代表一块地板 测试用的电极一个放在中间的地板上 另外一个电极依次放在此地板相对 Apr 3 02 A0 角的四块地板上面 测量其表面电阻值 2 随机抽样测试点不少于 20 个区域 按下图所示 每点测量地板 4 点表面电阻值 并记录数据 3 随机抽样测试点不少于 5 个区域 按下图所示测量地板系统电阻 并记录数据 附录 3 防静电台垫 地垫电阻测试方法 1 按下图所示 每张台垫 地垫测量 2 组表面电阻值 并记录数据 2 按下图所示 每张台垫 地垫测量 2 组对地电阻值 并记录数据 Apr 3 02 A0 附录 4 防静电容器电阻测试方法 1 按下图所示 测量容器表面电阻值 并记录数据 2 按下图所示 测量容器体积电阻值 并记录数据 附录 5 防静电运输工具 存放架测试方法 1 按下图所示 测量运转车 存放架电阻值 并记录数据 Apr 3 02 A0 附录 6 防静电工衣表面电阻测试方法 1 将防静电工衣平坦展开放置在光滑的绝缘电阻大于 1E12 欧姆的平板表面上 2 测 试 用 两 电 极 应 顺 着 导 电 丝 放 置 3 按上图所示 测量 3 个测试点 同片测试 裤腰以上一点对裤腰以下一点 袖对腰下部位测试 袖对裤 腰以下一点 对于连体服 用袖对脚测试取代袖对腰测试 袖对袖测试 其中连体服需要加测鞋套的 对地电阻 附录 7 普通防静电材料电阻测试方法 1 对于新引入的物料要求随机抽样至少三个样品 每一个样品至少随机测量三次 材料的测试纪录应包括 表面电阻和体积电阻 2 表面电阻的测试方法 将材料放置在一个光滑 平整 洁净 且表面绝缘电阻大于 1E12 欧姆的台面 在 材料表面放置两个测试电极 30cm 是建议值 如果材料小于这个尺寸 则电极放在两对角面上 如下图 所示 Apr 3 02 A0 3 体积电阻的测试方法 将材料放置在一个光滑 平整 洁净 且表面电阻小于 10 欧姆的金属面上 一个 电极放置在金属面上 另外一个电极放置在被测物上 对于烙铁 只需要测量热的金属头到地之间的电 阻 附录 8 防静电工椅的测试方法 1 要求随机抽样至少 5 个样品 每一个样品至少随机测量三次 三个点 防静电工椅的测试纪录应包括表 面电阻和体积电阻 2 表面电阻的测试方法 在表面放置两个测试电极 如下图所示 3 体积 对地 电阻的测试方法 一个电极放置在金属面上 另外一个电极放置在椅子上 注意 在生产线 Apr 3 02 A0 进行定期检测的时候 允许直接把一个电极放置在防静电地板上 另外一个电极放置在椅子上 附录 9 物体表面的静电压测量方法 1 使用 Simco FMX002 静电压表去测量物体表面的静电压 要注意以下几点 仪表的红外灯指示器要两个重 合 才算对焦 此时仪表距离被测物大约 2 5 厘米 静电压表在使用的过程中需要接地 否则读数不准确 静电压表的读数的单位为 KV 测试图例如下 附录 10 悬挂式 台式离子风机测试方法 1 测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪 在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的 12 个 点的平衡电压和消电时间 在平时的定期测量时 只需测量 3 个风扇口正下方的平衡电压和消电时间 标 准的 12 个点 以小网格表示 如下所示 2 对每一个点均应测量不少于三次 对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于 1 分钟 应纪录平衡电 压的最大 偏移零点最远 值 消电时间应纪录最大值 Apr 3 02 A0 3 对新引入的悬挂式离子风机的要求列表 ANSI ESD STM3 1 2000 ANSI ESD S20 20 1999 只对平衡电 压提出了要求 未强制规定消电时间 因此 下表的平衡电压是强制执行 消电时间只是建议值 低风速 高风速位置 平衡电压 V 消电时间 S 平衡电压 V 消电时间 S TP5 TP8 15 s 10 s Center TP2 TP11 0 50 V 25 0 s 0 50 V 20 0 s TP1 TP10 25 0 s 20 0 s 30 cm Left TP4 TP7 0 50 V 20 0 s 0 50 V 15 0 s TP3 TP12 25 0 s 20 0 s 30 cm Right TP6 TP9 0 50 V 20 0 s 0 50 V 15 0 s 4 测量台式离子风机应使用标准的离子风机测试仪测试 在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的 12 个点的平衡电压和消电时间 在平时的定期测量时 只需测量正对风扇口 30 厘米和 60 厘米两个点的平衡 电压和消电时间 标准的 12 个点 以黑竖条表示 如下所示 5 对每一个点均应测量不少于三次 对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于 1 分钟 应纪录平衡电 压的最大 偏移零点最远 值 消电时间应纪录最大值 6 对新引入的台式离子风机的要求列表 ANSI ESD STM3 1 2000 ANSI ESD S20 20 1999 只对平衡电压 提出了要求 未强制规定消电时间 因此 下表的平衡电压是强制执行 消电时间只是建议值 位置 低风速 高风速 Apr 3 02 A0 平衡电压 V 消电时间 S 平衡电压 V 消电时间 S 1ft TP2 5 0 s 3 0 s 2ft TP5 8 0 s 6 0 s 3ft TP8 12 0 s 10 0 s center 4ft TP11 0 50 V 20 0 s 0 50 V 15 0 s 1ft TP1 NA NA 2ft TP4 30 0 s 25 0 s 3ft TP7 15 0 s 12 0 s 30 cm Left 4ft TP10 0 50 V 25 0 s 0 50 V 20 0 s 1ft TP3 NA NA 2ft TP6 30 0 s 25 0 s 3ft TP9 15 0 s 12 0 s 30 cm Right 4ft TP12 0 50 V 25 0 s 0 50 V 20 0 s 附录 11 手套 手指套的测量方法 1 穿戴对地电阻测试 操作员把测试仪的两个电极分别放在两块互相绝缘的金属板上面 然后操作员戴上手 套 手指套 操作员把戴有手套 手指套的大拇指和食指分别按住那两块金属板 然后按下测量开关 并等 读数稳定后读出测试仪上的读数 并记录下来 操作员分别用大拇指和其它的手指按住金属板 然后读出 测试仪上的读数 并记录下来 每一种手套 手指套均需要测量 5 个 含 以上的样品 每次测量均记录 最大值 2 表面摩擦电压测试 操作员戴上 1 兆欧的标准手腕带 鳄鱼夹夹在接地线上面并确认接地良好 操作员戴 上手套 手指套 一只手拿取高绝缘的塑料板 另一只手 手指摩擦塑料板十次 然后测量手套 手指套上 面的静电压 记录最大值 注意 仪器要离绝缘板 30 厘米以上 以免影响读数 每一种手套 手指套均需 要测量 5 个 含 以上的样品 每次测量均记录最大值 附录 12 防静电标准列表 表面电阻 系统 穿戴电阻 消电时间 摩擦 平衡电压 防静电地板 防静电台垫 地垫 1E4 1E9 1E4 1E9 防静电包装袋 容器 1E4 1E11 1E4 1E10 防静电小推车 周转车 小于 1E9 小于 1E9 防静电镊子 吸钳 吸锡器 1E4 1E11 1E5 1E10 防静电文件袋 夹 1E4 1E11 防静电烙铁 小于 10 防静电架子 元件架 防静电椅 小于 1E9 小于 1E9 设备 工作台接地电阻 直接 小于 10 设备 工作台接地电阻 带电 阻 0 8E6 1 2E6 厂房接地电阻 小于 10 一般防静电物料 1E4 1E11 1E4 1E11 防静电工作服 1E5 1E10 小于 1E9 防静电工作鞋 小于 1E9 防静电手腕带 小于 1E3 1E6 20 防静电手套 指套 1E5 1E11 50V 防静电工作鞋 1E5 3 5E7 防静电手腕带 7 5E5 3 5E7 防静电离子风机 悬挂式 10Second 正下方 50V Apr 3 02 A0 防静电离子风机 风枪 台式 3Second 正中央 50V 附录 13 测量仪器的选择 1 表面电阻及体积电阻的测量应由专用的电阻表测量 所有电阻大于 1E3 欧姆的均由兆欧表测量 具备 10V 和 100V 测试电压 所有小于 1E3 欧姆的均由万用表测量 所有接地线的接地电阻均由数字万用表测量 2 静电中和时间和平衡电压由离子风机测试仪测量 显示精度为 1V 最高量程为 1KV 时间精度最为 0 1S 3 材料的摩擦电压由非接触式静电压表测量 显示精度为 10V 最高量程为 20KV 测量精度 10 附录 14 防静电标识 见到此标识 则说明此工作区域或产品是 静电敏感的 进入此区域或操作此产品时 需要做好防静电准备 见到此标识 则说明此产品是静电敏感的 同时也是经过防静电包装的 可以进行运 输使用 拆开包装前需要做好防静电准备 用黄黑相间的斜条纹隔开防静电工作区域与普通工作区域 线条宽度为 5 10 cm 如上图所示 附录 15 定期检查的覆盖范围 1 防静电制品均须定期检查 检查的范围按照下表来定 全检 抽检 类别 工衣 工鞋 手腕带 离子风机和烙铁 台垫 地板 吸塑盒和别的防静电用品 2 检查的比率如下 2 1 工衣 工鞋 手腕带 离子风机和烙铁均为全测 2 2 防静电地板的测试比率按照厂房验收时的测试图进行 即每层楼不少于 50 个点 2 3 防静电台垫和防静电工椅等生产线的固定用品每条生产线测试不少于 3 个 2 4 每种防静电吸塑盒抽测不少于 20 个 2 5 防静电手套 手指套等易耗品 每批测量不少于 10 个人每天的用量 2 6 剩余的防静电用品不得少于 10 个 附录 16 防静电制品采购流程图 各个相关部门向 ESD 工程师提出所需的防静电制品 有无评估 报告 已有评估报告 从无评估 Apr 3 02 A0 相关部门复印评估报告及所 选的供应商的报价单连同 PR 单并经制造部经理确认后 递交给采购部 ESD 工程师和相关部门寻找 供应商并要求供应商提供样 品 采购部 行政部核对 PR 单及 评估报告后 进行采购 防静电用品采购回来后 采 购部 行政部应先通知 ESD 工程师进行 ESD 性能验收 ESD 工程师对产品的防静电 性能验收合格后 采购部 行 政部通知相关部门领取所需 物品 相关部门评估样品的使用性 能等相关事项 ESD 工程师评估样品的防静 电性能 ESD 工程师和相关部门出具 评估报告给相应的采购部 行 政部 并存档