微纳加工技术 孟祥坤 1306化工过程机械 2013年 10月 28日 微镊子 微镜阵列 微马达 微继电器 微铰链 微纳加工技术概述 微纳米加工技术是指加工形成的部件或结构本身的尺寸在 微米或纳米量级。正是微纳米加工技术的发展促进了集成 电路的发展。
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1、微纳加工技术 孟祥坤 1306化工过程机械 2013年 10月 28日 微镊子 微镜阵列 微马达 微继电器 微铰链 微纳加工技术概述 微纳米加工技术是指加工形成的部件或结构本身的尺寸在 微米或纳米量级，正是微纳米加工技术的发展促进了集成 电路的发展 , 导致集成电路的集成度以每 18 个月翻一番的 速度提高 . 微纳加工技术往往牵涉材料的原子级尺度。 纳米技术是。
2、先进制造技术2.3 微纳加工技术主讲人0 8 0 2 1 1 0 3 2 4 谷风康0 8 0 2 1 1 0 3 2 5 龙佳 2 0 1 2 年1 2 月2 7 日 微 镊 子 微 镜 阵 列微 马 达 微 继 电 器 微 铰 链 2.。
3、先进制造技术2.3 微纳加工技术,主讲人 0802110324 谷风康 0802110325 龙佳 2012年12月27日,微镊子,微镜阵列,微马达,微继电器,微铰链,2.3.1 微纳加工技术概述,前面我们有讲到精密和超精密加工,主要指表面。