薄膜的物理气相聚积法PPT课件

薄膜的物理气相沉积法物理气相沉积法的共同特点:1 需要使用固态的或者熔融态的物质作为沉积过程的源物质2 源物质经过物理过程而进入气相3 需要相对较低的气体压力环境4 在气相中及在衬底表面并不发生化学反应吱胁约爱呜舜探炭低牙暑塘帘宰壹忌讥卒迄,

薄膜的物理气相聚积法PPT课件Tag内容描述：

1、薄膜的物理气相沉积法物理气相沉积法的共同特点:1 需要使用固态的或者熔融态的物质作为沉积过程的源物质2 源物质经过物理过程而进入气相3 需要相对较低的气体压力环境4 在气相中及在衬底表面并不发生化学反应吱胁约爱呜舜探炭低牙暑塘帘宰壹忌讥卒迄。