TFT_LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介课件

,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,LOGO,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,TFT-LCD,面板玻璃减薄工艺流程及不良简介,TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介,Contents,减薄的作用,1,减薄工艺简介,2,常见的减薄不良,3,2,Contents减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良32,减薄的作用,1.,减少占有的空间,2.,使,Glass,达到一定的柔性,3,减薄的作用1.减少占有的空间3,减薄工艺简介,用酸碱对,Glass,进行刻蚀，从而达到减薄的目的。,防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入,Cell,内部，影响产品性能。,获得光亮、平整的表面,。,封胶,减薄,研磨,4,减薄工艺简介用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。,封胶,封胶工艺,防止强酸破坏,Cell,封框胶以及进入,Cell,内部,1.,加盖遮光垫,2.,涂胶,3.,擦胶,4.UV,固化,UV,胶,破坏,TFT,结构,一般在这之前还会进行检查。,涂胶后静置,1min,。,清除多的,UV,胶。,UV,固化后检查,5,封胶 封胶工艺防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部,封胶,UV,固化,UV,灯,GLS,边框胶,涂胶后检查,涂胶,加盖遮光垫,6,封胶UV固化UV灯GLS边框胶涂胶后检查涂胶加盖遮光垫6,原理及方式,单片直立喷洒,瀑布流,多片直立浸泡,原理,1,2,3,4,减薄原理及方式,6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O,液体,+,固体（玻璃）,-,液体,7,原理及方式单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡原理1234减薄原理,单片直立喷洒,瀑布流,多片直立浸泡,优点：,1.,可以同时间处理多片玻璃,。,缺点：,1.,装置大型,。,2.,外围产生沉淀物,白色粉沫,，容易粘附在,Glass,上。,优点：,1.,可以,满足,两面不同蚀刻要求,。,多片,缺点：,1.,蚀刻表面易产生凹点,。,优点：,1.,表面最光滑，甚至可以不用抛光,三种方式优缺点,8,单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡优点：优点：优点：三种方式优,Text,in here,蚀刻,清洗,减薄,清洗,减薄流程,Slimming,9,Text 蚀刻清洗减薄清洗减薄流程Slimming9,10,减薄设备,其余组件：,供酸装置,HF,酸浓度计,温度控制器,洗气装置,Loader,单元,预清洗单元,蚀刻单元,清洗单元,干燥单元,Unloader,单元,10减薄设备其余组件：Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗,11,减薄工艺参数,1.,反应时间与玻璃质量损失的关系,图,1.,反应时间与玻璃质量损失之间的关系,11减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时,12,减薄工艺参数,2.,反应速率与反应温度的关系,图,2.,玻璃在,HF,酸中反应速率与反应温度之间的关系,12减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF,13,减薄工艺参数,3.,反应速率与,HF,酸浓度的关系,图,3.,玻璃在,HF,酸中反应速率与,HF,酸浓度之间的关系,说明：,(HF)2,是,HF,酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的,H,F,键比,HF,分子中的,H,F,键更脆弱，与,SiO2,反应时更容易断裂。,13减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在H,14,减薄清洗单元（后）,DI,浸泡,碱浸泡,酸浸泡,DI,浸泡,a.5-10%NaOH,b.45,鼓泡,C.10min,a.3%HCl,b.,或常温,C.1min,a.DI,水,b.,常温,C.5min,a.DI,水,b.,常温,C.5min,清洗,14减薄清洗单元（后）DI浸泡碱浸泡酸浸泡DI浸泡a.5-,清洗,外观检查,Polishing,外观检查,Reject,Item,自动研磨,手动研磨,Picture,适应产品,无破损产品,所有产品,可修复不良,不良率高发，严重不良,不良率较低的轻微不良,CAPA,Q-panel,抛光，效率高,针对单点不良修复，效率低,研磨,15,清洗外观检查Polishing外观检查RejectItem自,16,减薄工艺自身不良,1.,不可擦拭脏污,2.,薄化不匀,16减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀,17,减薄工艺自身不良,玻璃本身含有杂质,.,1.,除胶未干净，有残留,2.PT,等未清洗干净,1.,设备故障（,Conveyer,）,2.,瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）,3.Nozzle,堵塞（喷淋式蚀刻方式）,玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致,工艺设备,玻璃表面,玻璃本身,17减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1.除胶未干净，,18,Slimming后划伤,Slimming,前发生轻微,Scratch,Slimming,后,Scratch,程度加重,Human eye invisible,Slimming,18Slimming后划伤Slimming前发生轻微Scra,19,Slimming后划伤,Lift Pin,凹点,19Slimming后划伤Lift Pin 凹点,20,Slimming后划伤,2.Robot,吸盘凹点,20Slimming后划伤2.Robot吸盘凹点,21,Slimming后划伤,3.,轮印,21Slimming后划伤3.轮印,22,造成,B-ITO,不良,现象：,ADS,产品做完,B-ITO,后，产品与,BOX,接触的位置,ITO,被严重腐蚀，类似产品表面水干燥后残留的印记。,原因：,BOX,在,Slimming,车间长期周转，,slimming,车间内酸气长期在,BOX,表面附着，从而使,BOX,表面呈现酸性,1.,水渍酸印,22造成B-ITO不良现象：1.水渍酸印,23,其它不良,1.,电阻超标,原因：酸残留,23其它不良1.电阻超标原因：酸残留,与减薄有关的性耐性,冲击和跌落,高温高湿老化,玻璃基板表面蚀刻状况确认,TFT,端子部腐蚀状况的确认,牢固度确认,将其放入冷热交替的冷热槽中,对,LCM,进行显示检查和,显微镜,Glass,外观,检查,高温高,湿,的老化槽内进行的持续老化。,SEM,对,TFT,端子部的表面和断面的观察分析,对,LCM,进行冲击,和跌落。,对,LCM,进行显示检查和外观检查,24,与减薄有关的性耐性冲击和跌落高温高湿老化玻璃基板表面蚀刻状况,End,25,谢谢！,End25谢谢！,选择=结果,汇报结束,谢谢观看,！,欢迎提出您的宝贵意见！,选择=结果汇报结束 谢谢观看！,