OGS制程工艺讲解课件

,谢谢倾听,OGS制程工艺讲解,品质部：董伍祥,时间：2014年4月21,OGS制程工艺讲解,1,、目录1,镀膜原理,2,、目录2,镀膜管控点及异常,3,、目录3,黄光工艺流程,4,、目录4,黄光管控点及异常,5、目录5,检验仪器介绍,1、目录1 镀膜原理,镀膜原理,镀膜原理,镀膜管控点,镀膜前清洗：,1、主要管控镀膜前产品的尺寸、规格是否与制令工单相符，以及清洗后产品的洁净度是否满足生产要求。控制监督的要点：清洗液是否要测浓度、清洗机台的速度、以及烘烤的温度，主要依据镀膜前清洗工艺参数与实际的点检表是否相符。一旦发现实际参数设定与镀膜前清洗工艺参数不符、立即通知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟踪结果、直至确认正常。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,镀膜管控点镀膜前清洗：,镀膜管控点,镀膜百级作业区：,1、主要管控镀膜百级取放产品的作业手法、以及产品的分类情况与镀膜后产品的外观效果是否满足生产要求。一旦发现不符、立即通知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟踪结果、直至确认正常。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,镀膜管控点镀膜百级作业区：,镀膜管控点,镀膜控制机台：,1、主要管控镀膜工艺参数是否与实际设定的工艺参数相符。IPQC巡检/首检记录主要依据产线工艺参数点检表与镀膜工艺参数相符、一旦发现实际参数设定与镀膜工艺参数不符、立即通知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟踪结果、直至确认正常。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,镀膜管控点镀膜控制机台：,黄光工艺流程,ITO,镀膜来料清洗,涂布,光胶,曝光,显影,蚀刻,脱膜,黄光工艺流程ITO镀膜来料清洗 涂布 光胶,黄光管控点,涂布前清洗：,1、去除玻璃表面的脏污、油污等，使玻璃表面洁净，以保证后续光阻的涂布效果及结合力。主要控制清洗液的浓度以及清洗机的速度。主要检测方法，达应笔，满足要求继续生产，一旦不符要求从洗。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,黄光管控点涂布前清洗：,黄光管控点,涂布前清洗烘烤：,1、主要烘干玻璃表面残留的水渍，使玻璃表面洁净度更高从而满足于生产要求,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,黄光管控点涂布前清洗烘烤：,黄光管控点,涂布光胶：,1、在玻璃ITO面均匀的涂布上一层感光物质,光阻。（光阻是利用材料光化学反应进行图形转移的媒体，有正性光阻与负性光阻之分，正性光阻经过紫外曝光后，被曝光的区域发生光分解，或降解反应，使性质发生变化优先溶解于正性显影液中，未被曝光的部分则被保留形成正型图形。负性光阻的性质正好相反，是未曝光的部分溶解于负性显影液中。）,2、我司目前采用的是正性光阻，为了能保证图形的稳定性，所用的光阻必须能抗强酸的腐蚀。,3、主要控制涂布膜厚度一般为1.1,2.3um，膜层均匀性。,4、主要异常：涂布针孔、涂布箭影,涂布机台,黄光管控点涂布光胶：涂布机台,黄光管控点,涂布后烘烤：,1、将光阻中的大部分有机溶剂烘烤，使原本液态的光阻固化。,2、主要控制的参数：软烤时间、软烤温度、,3、主要异常：玻璃受热不均匀、使光阻局部过烤或烘烤不足，造成后续显影不净，或显影过显。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,IR烘烤,黄光管控点涂布后烘烤：IR烘烤,黄光管控点,曝光：,1此步骤是黄光制程中的关键所在，通过曝光，是受到光照的部分光阻溶解于显影溶液的速度异于未曝光的那部分光阻，从而达到转移光罩图形的过程。,2、主要控制参数：曝光能量、曝光台面温度、曝光间距。,3、主要异常：曝光偏移、固定光胶残留、过曝。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,曝光机,黄光管控点曝光：曝光机,黄光管控点,显影检验：,1、检查显影图形、检验仪器显微镜，,2、主要检验：显影不净、过显、导致的短路、开路,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,显微镜,黄光管控点显影检验：显微镜,黄光管控点,显影：,1、将正性光阻的被曝光的那部分光阻快速溶解于显影液中，未曝光的那部分光阻溶解速度缓慢，从而通过控制显影时间，可以显现出光罩上的图行。显影液一般为碱性，使用时一般为弱碱。,2主要控制参数：显影传导速度，显影液浓度，,3、主要异常：显影不净、过显、,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,弱碱,黄光管控点显影：弱碱,黄光管控点,显影后烘烤：,1、使经过显影后的玻璃表面光阻固化，从而使图行稳定,2、主要控制参数：烘烤温度，烘烤时间、IR烘烤速度,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,IR烘烤,黄光管控点显影后烘烤：IR烘烤,黄光管控点,蚀刻：,1、用强酸（盐酸）将玻璃中未受光阻保护的那部分ITO腐蚀，留下所需要的图形的过程,2、主要控制参数：蚀刻液浓度、蚀刻传导速度、喷淋压力。,3、主要异常：蚀刻不净、ITO过蚀、以及由涂布异常而引起的蚀刻异常。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,强酸,黄光管控点蚀刻：强酸,黄光管控点,脱模：,1、强碱主要作用将玻璃表面未被曝光的光阻进行除去的过程。,2、主要控制参数：剥膜传导速度、剥膜液浓度、,3、主要异常：剥膜不净。光阻回粘、剥膜液残留。,注：a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启品质异常单，并跟踪致结果确认正常。,b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟踪致结果确认正常。,强碱,黄光管控点脱模：强碱,检验仪器图解,达应笔：,1、达应笔介绍：达因笔,又名表面张力测试笔、电晕处理笔、及塑料薄膜表面张力检测笔。是薄膜表面电晕度（达因）的测试工具，专门用于测定薄膜受电晕处理后的效果。,2、使用方法：使表面张力测试笔垂直于玻璃平面,加上适当的压力,在玻璃表面上画一条线.应用表面张力测试笔，能够很容易的分析出不同固体的表面能、亲水性、润湿度等微小变化，如果第一次测试就收缩成水珠（球状），则换上数值更小的测试笔进行第二次测试，直到表面湿为止。这种方法能准确测出基材的表面张力、表面湿力并判定工作前基材表面因素是否符合要求以便调整到工作所需。,3图示：如右图：,OK,NG,NG,检验仪器图解达应笔：OKNGNG,检验仪器图解,电子数显千分尺：,1、使用方法：以微分套筒的基准线为基准读取左边固定套筒刻度值，再以固定套筒基准线读取微分套筒刻度线上与基准线对齐的刻度，即为微分套筒刻度值，将固定套筒刻度值与微分套筒刻度值相加，即为测量值。,2、我司主要应用于产品的厚度测量，,检验仪器图解电子数显千分尺：,检验仪器图解,塞规：,1、介绍：由一组具有不同厚度级差的薄钢片组成的量规（见图）。塞尺用于测量间隙尺寸。在检验被测尺寸是否合格时，可以用通此法判断，也可由检验者根据塞尺与被测表面配合的松紧程度来判断。塞尺一般用不锈钢制造，最薄的为0.02毫米，最厚的为3毫米。自0.020.1毫米间，各钢片厚度级差为0.01毫米；自0.11毫米间，各钢片的厚度级差一般为0.05毫米；自1毫米以上，钢片的厚度级差为1毫米。除了公制以外，也有英制的塞尺,2、定义：塞尺又称测微片或厚薄规，是用于检验间隙的测量器具之一，横截面为直角三角形,在斜边上有刻度,利用锐角正弦直接将短边的长度表示在斜边上,这样就可以直接读出缝的大小了。,塞尺使用前必须先清除塞尺和工件上的污垢与灰尘。使用时可用一片或数片重叠插入间隙，以稍感拖滞为宜。测量时动作要轻，不允许硬插。也不允许测量温度较高的零件。,3、使用方法：(1)用干净的布将塞尺测量表面擦拭干净，不能在塞尺沾有油污或金属屑末的情况下进行测量，否则将影响测量结果的准确性。(2)将塞尺插入被测间隙中，来回拉动塞尺，感到稍有阻力，说明该间隙值接近塞尺上所标出的数值；如果拉动时阻力过大或过小，则说明该间隙值小于或大于塞尺上所标出的数值。(3)进行间隙的测量和调整时，先选择符合间隙规定的塞尺插入被测间隙中，然后一边调整，一边拉动塞尺，直到感觉稍有阻力时拧紧锁紧螺母，此时塞尺所标出的数值即为被测间隙值。,用于涂布段,检验仪器图解塞规：3、使用方法：(1)用干净的布将塞,检验仪器图解,游标卡尺：,1使用前应将游标卡尺擦干净，然后拉动尺框，沿尺身滑动应灵活、平稳，不得时紧时松或卡住现象。用紧固螺钉固定尺框身读数不应发生变化。,2检查零位。轻轻推动尺框，使两测量爪的测量面合拢，检查两测量面接触情况，不得有明显漏光现象，并且表盘指针指向“0”，同时，检查尺身与尺框是否在零刻度线对齐。,3测量时，用手慢慢推动和拉动尺框，使量爪与被测零件表面轻轻接触，然后轻轻晃动游标卡尺，使其接触良好。使用游标卡尺时因没有测力机构，全凭操作者手感掌握，不得用力过大，以免影响测量精度。,4测量外形尺寸时，应先将游表卡尺活动量爪张开，使工件能自由地放入两量爪之间，然后将固定量爪贴靠在工作表面上,用手移动尺框，使活动量爪紧密贴在工件表面上。注意：1.测量时工件两端面与量爪不得倾斜。2.测量时,不得使用量爪间的距离小于工件尺寸,而强制将量爪卡到零件上。,5测量内径尺寸时，应将两刀口内量爪分开且距离小于被测尺寸，放入被测孔内后再移动尺框内量爪使其在工件内表面紧密接触，即可以在卡尺进行读数。注意：游标卡尺测量爪应测在工件两端孔的直径位置处，且不得歪斜。,6游标卡尺量爪测量面有多种形状。测量时，应根据被测零件的形状正确选用。如测量长和外形尺寸，则应选用外量爪测量；如测内径，应选用内量爪测量；如测深度，则应选用深度尺来测量。,7读数时，带表游标卡尺应水平拿着，使视线正对刻度线表面，然后按读数方法仔细辩认指示位置，以便读出，以免因视线不正，造成读数误差。,检验仪器图解游标卡尺：,检验仪器图解,四探针：,1、适用于半导体材料厂、半导体器件厂、对半导体材料的电阻性能测试,2、我司应用于镀膜后产品的方阻测试,检验仪器图解四探针：,检验仪器图解,透光率测试仪：,1、主要用于镀膜前后产品的透光率测试,2、IQC、OQC来料/出货产品透光率测试。,检验仪器图解透光率测试仪：,检验仪器图解,落球冲击试验机,：,落球冲击试验机 本机为测电子、电器、家电、塑料、通迅等成品或元件在安装接过程中遇到碰撞而设计，从而评估产品结构是否有不良或不够试验测试，以一定规定重量之钢球，在一定的高度自由落下，打击试料、元件，来观察产品受损程度。,检验仪器图解落球冲击试验机：,检验仪器图解,FPC拉力测试仪：,1、主要检验热压后产品的FPC的拉力测试是否满足生产要求。,检验仪器图解FPC拉力测试仪：,检验仪器图解,UV能量测试仪：,1、主要应用于UV机能量测试,检验仪器图解UV能量测试仪：,检验仪器图解,显微镜：,1、主要检验黄光显影后产品的显影效果，【短路、断路】,检验仪器图解显微镜：,检验仪器图解,2D投影测试仪：,1、主要用于IQC来料检验产品的尺寸，,检验仪器图