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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,#,目录,一、,PSG,单多晶硅片表面化学腐蚀处理,二、,5S,及工艺卫生、安全,三、交接班内容, 目录一、PSG单多,1,目的,1.,规范操作作业，指导操作员的操作方法，操作步骤及操作注意事项。,2.,去磷硅玻璃主要反应方程式,:SiO2+6HF=H2SiF6+2H2,3.A.,磷硅玻璃的存在使得硅片在空气中表面容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减,B.,死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低，进而降低了,Voc,和,Isc,。,原理,利用,HNO3,和,HF,的混合液体对硅片表面进行腐蚀,去除,边缘的,N,型硅,使得硅片的上下表面相互绝缘。,范围,本指导书适用于硅片湿法刻蚀工序。,职责,1.,所有操作人员都必须严格按照本档进行操作。,2.,在操作过程中遇到问题应及时向工艺人员反应，工艺人员及时提供帮助。,一、,PSG,单、多晶硅片表面化学腐蚀处理,目的一、PSG单、多晶硅片表面化学腐蚀处理www.jinko,2,什么是,PSG,意为含有,P,、,P2O5,的二氧化硅。由于在扩散过程中干氧的通入，在硅片表面形成一层二氧化硅，在高温下,POCl3,与,O2,形成的,P2O5,后，部分,P,原子进入,Si,取代部分晶格上的,Si,原子形成,n,行层，部分则留在了,SiO2,中形成,PSG,。,什么是PSG,3,PSG,制绒流程,PSG制绒流程,4,作用内容：,一、操作前准备：,1.,正确穿好工作服,、,鞋,、,帽，戴好口罩,、,手套（如图,1,）。,2.,工具要求：手套,、,四探针测试仪,、酒精、,下料盒、碎片盒、电子称。,3.,设备检查：,a.,槽体是否漏液。,b.,检查纯水、压缩空气是否正常，各工艺参数是否是工艺所要求的参数。,c.,检查外围冷却水温不能高于,18,度，进出水压差不少于,3KG,。,d.,检查排风是否正常。,e.DI,水流量每小时不低于,1000L/h,。,f.,检查各滚轴，水刀、风刀是否正常。,手套,酒精,下料盒,碎片盒,电子称,四探针测试仪,图,1,作用内容：手套酒精下料盒碎片盒电子称四探针测试仪图1,5,操作的工作流程,一、,1.,在配槽结束后，返回主页面，（如图,2,）,图,2,操作的工作流程图2,6,然后点击,”,手动停止,”,然后,”YES”,（如图,3,）。,图,3,然后点击”手动停止”然后”YES”（如图3）。www.jin,7,2.,手动停止后。点击自动启动按钮，开始投入生产。,3.,待生产结束后，进入主页面，点击相应的槽体，单击废液排放，然后点击启动（如图,4,）注意：,3,号槽和,7,号槽的浸泡去不会自动结束，需要在槽体排放结束后手动结束浸泡区排放。,图,4,2.手动停止后。点击自动启动按钮，开始投入生产。www.ji,8,4.,待废液完全排放完之后，点击进入相应槽位，然后点击清洗。然后将停止点,击启动。用水枪彻底冲洗槽体,10,分钟，使槽体彻底清洗干净。,5.,在确定槽体清洗干净后，废液已经排放干净。然后点击相应槽位（如图,5,）,检查配液参数，在确定配槽参数无误后，点击配槽，等待下班来交接班。,图,5,4.待废液完全排放完之后，点击进入相应槽位，然后,9,二、上料,1.,从扩散传递窗拿出扩散后的硅片，检查确认数量。将确认后的硅片取出。,2.,用左手取适量硅片（一次拿片不得多于,50,片），右手轻轻捻开，逐片放到上料位的滚轴上（如图,6,）。注意轻拿轻放，做到放片时听不到声音。每道硅片之间距离应保持,1CM,（如图,7,）。,图,6,图,7,二、上料图6图,10,三、清洗流程,1.,检查制绒槽温度（,2.53.5,度），超出工艺规定范围时立即停止生产，待温度恢复正常后再投入生产。,2.,检查各槽风刀运行情况，确保硅片吹干（确认各槽出来硅片边缘无水珠，,11#,槽出来后正反面和边缘均没有水珠）。,3.,检查水洗槽水刀运行情况，确认喷淋效果，严禁水刀水流量过大，避免窜槽问题的出现。,4.,每批次称量硅片减薄量。（方阻上升,2-6,，减薄量控制在,0.04-0.10g,）,5.,检查绒面情况确保吹干硅片（硅片表面及后边缘无明显水珠）,四、下料,1.,下料时，盯好机器，使硅片完整无误的进入片盒。目测硅片表面是否出现异常。如有异常，立即通知当班工艺。,2.,做完一批，正确填写好流程卡交下工序（不能在外面停留太长时间，超过半小时后返工）,11,二、,5S,及工艺卫生、安全,一、,5S,：分别有整理、整顿、清扫、清洁、素养。,整理,-1.,将工作场所任何东西区分为有必要的与不必要的；,2.,把必要的东西与不必要的东西明确地、严格地区分开来；,3.,不必要的东西要尽快处理掉。,4.,正确的价值意识,-,使用价值，而不是原购买价值,.,整顿,-1.,对整理之后留在现场的必要的物品分门别类放置，排列整齐。,2.,明确数量，有效标识。,清扫,-1.,将工作场所清扫干净。,2.,保持工作场所干净、亮丽。,清洁,-,将上面的,3S,实施的做法制度化、规范化。,素养,-,通过晨会等手段，提高员工文明礼貌水准，增强团队意识，养成按规定行事的良好工作习惯。,二、5S及工艺卫生、安全一、5S：分别有整理、整顿、清扫、清,12,二、工艺卫生,1.,车间要保持清洁，地面不要有积水。,2.,每班下班前要进行卫生打扫，用吸尘器清理掉机器上下料里面的碎片、杂物。,3.,裸手不能接触硅片，手套接触硅片以外的任何东西如再接触硅片需换手套。,4.,手动插片时，只能接触硅片侧边缘，手套要及时更换。,5.,制绒机水洗槽要每班换液，制绒槽交接班前，进入纯水加热到位。等待下班交接班。,6.,片蓝、片盒不得摆放在地面上,不戴手套不得接触片盒。,7.,下班前用酒精无尘布擦拭滚轮及传送带。,二、工艺卫生,13,刻蚀中容易产生的问题,:,1.,刻蚀不足：边缘漏电，并联电阻下降，严重可导致失效,2.,过刻,:,正面金属栅线与,P,型硅接触,造成短路,3.,调节的主要手段,:,排风,药流量等,.,刻蚀中容易产生的问题:,14,三、安全,1.,换液、手动加液时，一定要穿戴好防护用品。,2.,皮肤接触到化学用品时，立即用自来水冲洗干净，冲洗十五分钟后，然后就医。,3.,机器出现故障，严禁私自操作，立即通知设备，等待有关人员处理。,4.,不得在车间内乱摆放酒精，以免发生不安全事故。,5.,酸槽换液必须穿戴防护用品，卡片清理碎片时必须戴防酸碱手套。用完的化学药瓶盖好瓶盖。机器出现故障，通知设备，不得私自操作。,6.,湿洗间由于危险品最多，因此安全是首要问题。,作为设备维护人员，在工作期间首先就要在保证安全的情况下，然后提高工作效率，加快维护速度。,而要达到这个要求，最重要的一点就是要了解清洗间所接触的化学危险品，对其特性，处理方法了然与胸。这样才能尽量避免不必要的人身伤害。,三、安全,15,三、交接班内容,1.5S,列入交接班内容。接班人员有责任要求交班人员做好,5S,后方可接班。,2.,接班时点清楚留存，不得弄虚作假，耍小聪明。,3.,交接班时单、多晶必须按时配液。准时交接班，以便下班正常生产,4.,单、多晶严格控制报废，不得加空加。,5.,为了各班的正常生产，请各班自觉给下班留够留存。,6.,为了节约生产，保证质量。换液必须严格按照工艺要求操作，换液前，用水枪彻底清洗、清理槽内碎片。换液时严格按照工艺方案换液，量好（单、多晶按照工艺方案换液，八点必须换液完成交下班）。,三、交接班内容 1.5S列入交接班内容。接班人员有责任要求,16,Thanks!,Thanks!,17,
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