cf-彩色滤光片的研究开发和生产-ln课件

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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,cf 彩色滤光片的研究开发和生产,cf 彩色滤光片的研究开发和生产,1,彩色滤光片显示器的应用,彩色滤光片,显示器,彩色手机,笔记本,电脑,电子字典,可视电话,PDA,监控面板,游戏机,彩色滤光片显示器的应用 彩色滤光片彩色手机笔记本,2,偏光片,彩色滤光片,定向层,液晶,ITO透明电极,偏光片,背光源,彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用,基板玻璃,基板玻璃,3,偏光片,彩色滤光片,定向层,液晶,TFT,ITO透明电极,偏光片,背光源,彩色滤光片在TFT显示器中的应用,基板玻璃,基板玻璃,4,深圳莱宝CF生产线,2002年5月设备到厂,开始安装调试,2002年9月投入试生产,月生产能力:3万片,填补了国内彩色滤光片生产的空白,深圳莱宝CF生产线2002年5月设备到厂,开始安装调试,5,CF 的研究开发和生产,前言,一、彩色滤光片的构成,二、彩色滤光片生产线简介,三、试验和研究开发工作,四、彩色滤光片的品质性能,五、彩色滤光片设计要点,CF 的研究开发和生产 前言,6,CF 的研究开发和生产,一、CF 的构成,透过型-TRANSMISSIVE TYPE,反射型-TRANSFLECTIVE TYPE,(REFLECTIVE TYPE),CF 的研究开发和生产一、CF 的构成,7,透过型 CF 的构造,红 色 光,绿 色 光,蓝 色 光,透明导电膜,保护膜,红绿蓝膜,黑矩阵膜,SiO2 膜,白 色 光 白 色 光 白 色 光,玻 璃 基 板,透过型 CF 的构造 红 色 光,8,反射型 CF 的构造,红 色 光,绿 色 光,蓝 色 光,透明导电膜,保护膜,红绿蓝膜,黑矩阵膜,反射膜,开口,白 色 光 白 色 光 白 色 光,玻 璃 基 板,反射型 CF 的构造 红 色 光,9,CF 的研究开发和生产,二、彩色滤光片生产线简介,1、CF 制做方法,2、CF 生产流程,CF 的研究开发和生产二、彩色滤光片生产线简介,10,彩色滤光片制做方法,电着法 印刷法,光刻型,非光刻型 喷墨法,颜料分散法,彩胶法,彩色滤光片制做方法电着法 印刷,11,颜料分散型光刻胶CF的制做,光刻胶,滴胶 玻璃,旋转涂胶,紫外线,铬掩膜板,图形曝光,图形显像,颜料分散型光刻胶CF的制做,12,CF 生产流程,1000 级净化,O/C 线,B 线,G 线,R,线,BK 线,后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗,后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗,后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗,后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗,后烘烤 预烘烤 旋转涂胶 清 洗,CF 生产流程 后烘烤 现 像,13,CF 的研究开发和生产,三、试验和研究开发工作,1、工艺试验与结果,2、研发工作,CF 的研究开发和生产三、试验和研究开发工作,14,BK 膜特性,材料:树脂类颜料分散型黑色光刻胶,特点:生产流程简单,成本低,反射率低,污染小,膜厚0.81.5m时,其OD值为1.83.5以上,最小宽度:10 m,BK 膜特性材料:树脂类颜料分散型黑色光刻胶,15,BM 膜厚-OD值,BM 膜厚-OD值,16,BK 膜的样式,BM BS BL,(Black matrix)(Black Stripe)(Black Less),BK 膜的样式 BM,17,R、G、B 膜的特性,1、材料:树脂类颜料分散型彩色光刻胶,2、特性:色度(透过型和反射型),透光率,膜厚,尺寸精度,R、G、B 膜的特性1、材料:树脂类颜料分散型彩色光刻胶,18,膜厚-色度,0.6,0.5,0.4,y 0.3,0.2,0.1,0,0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7,x,膜厚-色度 0.6,19,膜厚-后烘烤,膜厚-后烘烤,20,膜厚-转速,膜厚-转速,21,膜厚均匀性,膜厚偏差:1.83%,膜厚均匀性 膜厚偏差:1.83%,22,曝光能量-线宽,MASK 线宽:70um,曝光能量-线宽MASK 线宽:70um,23,现像时间、温度-线宽,MASK线宽:70um,现像时间、温度-线宽MASK线宽:70um,24,图形对位控制,一、MASK 的制做精度和套合精度,二、采用先进的图象处理和对位技术,提高对位精度,三、研究设计了曝光机精密温控装置,稳定对位精度,四、采取有效的工艺控制保证对位精度,图形对位控制一、MASK 的制做精度和套合精度,25,O/C 膜层,一、材料:丙烯系树脂,二、膜厚:12um,三、功能,1、保护RGB色层,2、表面平坦化,微观波纹度:无O/C层,0.8600.1225um,有O/C层,0.6770.963um,O/C 膜层一、材料:丙烯系树脂,26,ITO 膜层,镀膜工艺:RF+DC,镀膜温度:小于230,电 阻 率:1.8x10,-4,.cm,面 电 阻:7-15,透 过 率:大于80%,ITO 膜层镀膜工艺:RF+DC,27,ITO膜电阻率-RF功率分量,ITO膜电阻率-RF功率分量,28,CF 的研究开发和生产,四、彩色滤光片的品质性能,彩色滤光片产品主要性能指标,CF 的研究开发和生产四、彩色滤光片的品质性能,29,彩色滤光片产品主要性能指标(一),项 目,性能指标,1.,基片,材料,钠钙玻璃,抛光,镀SiO2膜,长度,300、400、420mm,14、16”,宽度,300、370mm,14”,厚度,0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm,2.,Al,膜厚,1000,反射率,90%,开口精度,3m,彩色滤光片产品主要性能指标(一)项 目性能指标1.材料钠钙,30,彩色滤光片产品主要性能指标(二),项 目,性能指标,3.,BM,材料,颜料分散型光刻胶,膜厚,1.0m,OD值,1.7(3.0),图形精度,3m,4.,RGB,材料,颜料分散型光刻胶,膜厚,1.0m,图形精度,3m,彩色滤光片产品主要性能指标(二)项 目性能指标3.材料颜料,31,彩色滤光片产品主要性能指标(三),项 目,性能指标,5.,O/C,材料,丙烯系树脂,膜厚,1.4m,透过率,80%(550nm),像素间高度差,0.15m,6.,ITO,膜厚,2000,电阻Rs,10,透过率,80%(550nm),彩色滤光片产品主要性能指标(三)项 目性能指标5.材料丙烯,32,彩色滤光片产品主要性能指标(四),项 目,性能指标,7.,色度,透射型,透射型,x,y,R,0.585,0.345,0.406,0.303,G,0.305,0.520,0.312,0.357,B,0.140,0.170,0.224,0.263,Y,R,15,15,G,45,45,B,40,40,彩色滤光片产品主要性能指标(四)项 目性能指标7.透射型透,33,彩色滤光片产品主要性能指标(五),项 目,性能指标,8.,可靠性,温度稳定性,250,1小时,1.无膨胀、无开裂、,无损伤,2.透过率变化率,10%,3.E*ab5,耐化学性能,5%NaOH,50,20分钟,NMP,25,30分钟,丙酮,25,30分钟,O/C 附着性,3M,No.610 胶带,无损伤,ITO稳定性,250,1小时,电阻变化率10%,彩色滤光片产品主要性能指标(五)项 目性能指标8.温度稳定,34,CF 的研究开发和生产,五、彩色滤光片设计要点,1、客户提出的具体CF图形排列和尺寸,2、BK膜OD值和厚度,3、RGB膜色度和厚度,4、O/C膜的厚度,5、ITO膜的电阻、膜厚和透过率,6,、所需对位标记等图形和文字的位置和尺寸,7、质量标准,CF 的研究开发和生产五、彩色滤光片设计要点,35,THANK YOU VERY MUCH!,深圳莱宝高科技有限公司,SHENZHEN LAIBAO HI-TECH CO.,LTD.,cf-彩色滤光片的研究开发和生产-ln课件,36,
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