工艺经验交流分享

*,按一下以編輯母片標題樣式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,*,单击此处编辑母版文本样式,按一下以編輯母片標題樣式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,*,东,区,区,电,电,池,池,效,效,率,率,提,提,升,升,经,经,验,验,分,分,享,享,东,区,区,电,电,池,池,制,制,造,造,2010.3.19,1,电,池,池,转,转,换,换,效,效,率,率,大,大,幅,幅,提,提,升,升,升,0.55,升,1.78,升,1.02,降,1.00,降,0.23,升,26.7,升,8.23,降,18.2,升,3.69%,工,序,序,标,标,准,准,化,化,贡,贡,献,献,0.15,高,阻,阻,贡,贡,献,献,0.17,88nm,膜,厚,厚,贡,贡,献,献,0.18,电,性,性,能,能,提,提,升,升,：,：,转,转,换,换,效,效,率,率,从,从,开,开,线,线,时,时,16.30,提高,至,至目前,16.80,;,试验模,型,型：,Case1,高方阻,工,工艺,DOE,试验,模,模型,此模型,应,应用到,电,电池扩,散,散，具,体,体对应,关,关系如,下,下：,输入：,制,制绒,后,后的硅,片,片,可控因,子,子,-,：气流，,温,温度，,时,时间，压强,噪声因,子,子：时,效,效，片,源,源，机,台,台,输出：,扩,扩散质,量,量，磷,浓,浓度分,布,布曲线,输出将,直,直接决,定,定转化,效,效率,因子选,择,择与控,制,制：,可控因,子,子选择,气流：,N2,POCL3,O2,中选择,POCL3,作为,keyfactor,，以控,制,制磷的,掺,掺杂总,量,量和均,匀,匀性；,温度：,温,温度影,响,响磷的,掺,掺杂总,量,量，浓,度,度分布,，,，作为,keyfactor,；,时间：,淀,淀积时,间,间，推,进,进时间,影,影响磷,的,的掺杂,总,总量，,浓,浓度分,布,布，作,为,为,keyfactor,；,压强：,由,由于压,强,强的波,动,动相对,于,于其绝,对,对值非,常,常小，,对,对制程,影,影响将,较,较小；,噪声因,子,子控制,片源：,通,通过等,份,份混片,，,，保证,片,片源一,致,致；,时效：,技,技术员,全,全程跟,踪,踪，尽,量,量减少,硅,硅片的,滞,滞留时,间,间；,机台：,保,保证路,径,径一样,；,；,Case1,高方阻,工,工艺,DOE,因子,选,选择,第一组,试,试验：,对以上,可,可控因,子,子进行,田,田口设,计,计，生,成,成,L9,试验方,案,案,找出最,佳,佳方案,-E3,：,第二组,试,试验：,根据第,一,一组试,验,验结果,，,，进行,第,第二组,试,试验确,定,定时间,，,，试验,方,方案为,全,全因子,设,设计，,找,找出最,佳,佳方案,-E6,注：,时间为,淀,淀积时,间,间,+,推进时,间,间，,试验组别,主反应温度,(),POCL3,流量,(sccm),时间,(m),E1,830,750,14+12,E2,830,950,18+16,E3,830,1100,22+20,E4,850,750,18+16,E5,850,950,22+20,E6,850,1100,14+12,E7,870,750,22+20,E8,870,950,14+12,E9,870,1100,18+16,试验组别,淀积时间,(m),推进时间,(m),POCL3,流量,(sccm),主反应温度,(),E1,16,14,1000,830,E2,16,16,1000,830,E3,16,18,1000,830,E4,18,14,1000,830,E5,18,16,1000,830,E6,18,18,1000,830,E7,20,14,1000,830,E8,20,16,1000,830,E9,20,18,1000,830,Case1,高方阻,工,工艺,DOE,L9,实验,因子选,择,择与控,制,制：,可控因,子,子选择,：,：,气流：,流,流量比,例,例影响,薄,薄膜成,分,分组成,；,；,压强：,影,影响膜,的,的均匀,性,性；,膜厚：,影,影响减,反,反射效,果,果；,烧结温,度,度：影,响,响氢分,布,布和钝,化,化效果,；,；,噪声因,子,子控制,：,：,片源：,通,通过等,份,份混片,，,，保证,片,片源一,致,致；,时效：,技,技术员,全,全程跟,踪,踪，尽,量,量减少,硅,硅片的,滞,滞留时,间,间；,机台：,保,保证路,径,径一样,；,；,Case2,高膜厚,工,工艺,DOE-,因子选,择,择,第一组,试,试验：,对以上,可,可控因,子,子进行,田,田口设,计,计，生,成,成,L9,试验方,案,案,找出最,佳,佳方案,Recipe7,：,第二组,试,试验：,根据第,一,一组试,验,验结果,，,，进行,第,第二组,试,试验，,添,添加后,到,到烧结,因,因素，,找,找出最,佳,佳方案,-recipe7,Case2,高膜厚,工,工艺,DOE-L9,试验,Case3,丝网烧,结,结,DOE,实验,-,因子选,择,择,8,因子选,择,择与控,制,制：,可控因,子,子选择,：,：,温度：,烘,烘干温,度,度,(DryerT1/T2/T3/T4),；烧结,温,温度,(Firing T1/T2/T3/T4/T5/T6),各温区,对,对烧结,起,起到特,定,定的作,用,用,烧结区,T4/T5/T6,为影响,烧,烧结效,果,果的主,要,要因子,气流：,温,温场控,制,制气流,排风,冷却气,流,流,(,确保温,场,场无波,动,动,调节后,反,反应滞,后,后,-,小于,2,设定,),冷却水,:,确保冷,却,却效果,设定,时间：,烧,烧结炉,经,经过时,间,间,(,决定产,量,量,设定速,度,度,230inch/min),噪声因,子,子控制,：,：,片源：,通,通过等,份,份混片,，,，保证,片,片源一,致,致；,时效：,技,技术员,全,全程跟,踪,踪，尽,量,量减少,硅,硅片的,滞,滞留时,间,间；,机台：,保,保证路,径,径一样,；,；,环境,:,环境温,度,度,冷却水,温,温度,外围排,风,风,Case3,丝网烧,结,结,DOE,实验,-L9,试验,9,选取主,烧,烧结温,度,度,T4/T5/T6,进行田,口,口设计,生成,L9,试验方,案,案,得到最,佳,佳温度,组,组合,Recipe5,根据第,一,一组试,验,验结果,重新,设,设计,第,第二,组,组试,验,验方,案,案,得到,最,最佳,温,温度,组,组合,Recipe5,据第,2,组实,验,验结,果,果,进行,T4/T5/T6,的部,分,分因,子,子优,化,化,得到,各,各机,台,台的,最,最佳,烧,烧结,温,温度,第一,组,组试,验,验：,第二,组,组试,验,验：,Case4,前后,清,清洗,DOE-,因子,选,选择,10,因子,选,选择,与,与控,制,制：,可控,因,因子,选,选择,：,：,HNO3,：主,要,要起,氧,氧化,作,作用,，,，起,浓,浓度,直,直接,决,决定,氧,氧化,的,的速,度,度，,作,作为,keyfactor,；,HF,：主,要,要起,剥,剥离,氧,氧化,产,产物,的,的作,用,用，,进,进而,形,形成,绒,绒面,，,，作,为,为,keyfactor,；,DI,：直,接,接影,响,响,HNO3,和,HF,的浓,度,度，,作,作为,keyfactor,；,过程,变,变量,控,控制,：,：,温度,：,：保,持,持恒,定,定；,滚轮,速,速度,：,：保,持,持恒,定,定；,流量,：,：保,持,持恒,定,定；,Case4,前后,清,清洗,DOE-,混酸,设,设计,对以,上,上可,控,控因,子,子进,行,行混,酸,酸设,计,计：,固定,温,温度,，,，滚,轮,轮速,度,度，,流,流量,11,Case4,前后,清,清洗,DOE-,试验,结,结果,12,最优,配,配比,为,为,HF-0.26,HNO3-0.38,H2O-0.36(,现用,配,配比,为,为,HF-0.22,HNO3-0.43,H2O-0.35,）,考虑到现,用,用配比落,在,在,21,区域内，,而,而最优拟,合,合值输出,结,结果为,20.565,，与目前,反,反射率平,均,均值,21,差异较小,，,，因此,配比不做,调,调整,。,相关性趋,势,势图下,一,一步提效,方,方向,13,降低,Rs,将对效率,有,有显著提,升,升,下一步改,善,善应想办,法,法 降低,Rs,：网版,设,设计,浆,浆料,试,试验,PERS,流程,通过应用,PERS,流程,对所有主,机,机台的制,程,程能力指,标,标进行验,收,收,确保东区,电,电池顺利,开,开线,主要分为,两,两部分,:,申请部分,此部分主,要,要是确定,QualLot,阶段和,RiskRun,阶段的评,估,估项目,方法,规模,合格基准,以,以及评价,者,者,;,示例,:,评估部分,此部分主,要,要是根据,开,开线时收,集,集整理的,相,相关数据,提交报告,判,判定申请,部,部分的评,估,估项目是,否,否可以验,收,收,;,示例,:,SPC,管控,SPC,管控体系,：,：,SPC,报表,正常工艺,高方阻工,艺,艺,对生产过,程,程中的各,种,种影响因,素,素进行预,防,防性的质,量,量管理，确保制,程,程状况处,于,于稳定，,制,制程控制,能,能力逐渐,提,提高,SPCControlTable,SPC,相关,SOP,工序标准,化,化,Golden Tool,选择,Phase1,进行及结,束,束后,(6,条线,),选取各道,工,工序的,Golden Tool,所有设备,的,的参照,Golden Tool,进行,优化,进行初次,标,标准化,工序设备,匹,匹配性验,证,证,因,C3,采取非对,线,线跑片,所以各机,台,台之间的,兼,兼容性必,须,须考虑,(,扩散与烧,结,结的匹配,性,性尤为重,要,要,),所有工序,初步标准,化,化已完成,.,扩散在丝,网,网烧结机,台,台无明显,效,效率差异,下图为一,周,周扩散对,丝,丝网的效,率,率趋势图,16,心得体会,17,实验未动,，,，设计先,行,行,制程稳定,，,，循序渐,进,进,志同道合,，,，方法争,鸣,鸣,各司其职,，,，各得其,所,所,部门交流,，,，他山之,玉,玉,开放思维,，,，挑战教,条,条,耻为人后,，,，力争上,游,游,9,、静夜四,无,无邻，荒,居,居旧业贫,。,。11月-2211月-22,Friday,November4,2022,10,、雨中黄,叶,叶树，灯,下,下白头人,。,。22:59:4322:59:4322:59,11/4/2022 10:59:43 PM,11,、,以,以,我,我,独,独,沈,沈,久,久,，,，,愧,愧,君,君,相,相,见,见,频,频,。,。,。,。11,月,月-2222:59:4322:59,Nov-2204-Nov-22,12,、,故,故,人,人,江,江,海,海,别,别,，,，,几,几,度,度,隔,隔,山,山,川,川,。,。,。,。22:59:4322:59:4322:59,Friday,November4,2022,13,、乍见,翻,翻疑梦,，,，相悲,各,各问年,。,。11月-2211月-2222:59:4322:59:43,November4,2022,14,、他乡,生,生白发,，,，旧国,见,见青山,。,。04,十,十一月202210:59:43,下,下午22:59:4311月-22,15,、比,不,不了,得,得就,不,不比,，,，得,不,不到,的,的就,不,不要,。,。十一,月,月2210:59,下,下午11,月,月-2222:59,November4,2022,16,、行,动,动出,成,成果,，,，工,作,作出,财,财富,。,。2022/11/4 22:59:4322:59: