蚀刻污分析图解

,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,1/9/2013,#,报告目录,1,、缩水后呈,M,状材料作业宣导图,2,、,ITO FILM,点数及物料转移作业标准,3,、,MO88-8H1C/KO49-4H8C,蚀刻污图解,3,、,MO88-8H1C/KO49-4H8C,蚀刻污图解,MO88-8H1C X,射线能谱分析法,(EDS),MO88-8H1C,光学显微镜成像,MO88-8H1C,光学显微镜成像,MO88-8H1C,光学显微镜成像,3,、,MO88-8H1C/KO49-4H8C,蚀刻污图解,KO49-4H8C,电子显微镜成像,KO49-4H8C,电子显微镜成像,KO49-4H8C,电子显微镜成像,KO49-4H8C,光学显微镜成像,KO49-4H8C,光学显微镜成像,KO49-4H8C,光学显微镜成像,1,）不良现象在透光检查的情况下，可见与,ITO,图案之间的,gap,区域有白雾状不良，形状与,gap,一样；,2,）不良品使用无尘布蘸酒精或者石油醚擦拭，雾状不良不可擦拭。,ITO,可视性透射检查示意图,3,、,MO88-8H1C/KO49-4H8C,蚀刻污图解,类别,图例,备注,蚀刻后,ITO,上有耐酸残留,耐酸未完全与,NaOH,反应，,ITO,表面有耐酸油墨残留，导致有,ITO,区域透光时比,ITO,区发雾，产生白雾不良,ITO gap UC,层有损伤产生变化,UC,层被,NaOH,溶液损伤，导致,UC,层特性变化，产生雾状不良,导致白雾状不良主要原因可能为：白雾产生区域有残留异物或者此处的,ITO,被蚀刻后,UC,层有发生变化导致（如下图）,造成白雾状不良的原因分析,3,、,MO88-8H1C/KO49-4H8C,蚀刻污图解,Thank you,THE END,