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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,第五章,Chemical Solution Deposition/,溶液镀膜法,定义,薄膜制备过程中，基片与溶液接触，利用化学反响或电化学反响等在基片外表沉积薄膜的制备方法，包括化学镀，Sol-Gel，MOD ， 阳极氧化，电镀，LB膜等，又称湿法镀膜,5.1 化学反响沉积,又名化学镀-实际上是指自催化化学镀,定义,在复原剂的作用下，使溶液中的金属离子复原成原子而沉积在基板上的方法。,催化剂正是膜层物质本身。无电源，自身化学反响，它与一般的化学沉积法同属不通电而靠化学反响沉积金属的方法。区别在于，是否要催化剂。,自催化化学镀的特点：,(1)可在复杂的镀体外表形成均匀的镀层。,(2)镀层的孔隙率较低。,(3)可以直接在塑料、陶瓷、玻璃上沉积 镀膜。,(4)镀层具有特殊的化学物理性质。,(5)不要电源，没有电极。,应用,应用有限,并非所有金属都具有催化活性,Fe、Cr、Ni、Cu、Ag、Au、Co,复原剂电极电位稍低于沉积金属,次磷酸盐、甲醛、硼氢化物、阱,反响过程,5,.,2,溶胶凝胶法,金属化合物分解的方法来获得所需的薄膜。,步骤：,将前驱物溶于适宜的溶液中成为溶胶镀液。前驱物可以是碱性氧化物、金属有机化合物、或无机盐，应含有所需的金属离子。溶胶应具有适宜的粘度和较高的浓度，以提高沉积薄膜的致密度和均匀性。,采用浸渍、离心甩胶、或喷涂的方法涂在基体外表，形成溶胶膜。,液态的溶胶膜经过枯燥脱水生成凝胶膜。,经过热处理和晶化处理然后而形成固体薄膜。,(1)溶胶的制备,A.有机途径醇盐法，可以用局部无机物代替醇盐。能互溶，通过有机醇盐的水解与溶聚而形成溶胶 .,缺点：在枯燥过程中容易开裂，由大量溶剂蒸发引起的剩余应力引起,B.无机途径胶体法,通过某种方法制得的氧化物小颗粒稳定的悬浮在某种溶剂之中形成溶胶。,特点：无裂纹，但附着力较差，不易找到适当的溶剂来溶解氧化物，特别是多组分氧化物。,制备方法,1. 浸渍提拉法,浸渍提拉法热处理,液膜由于溶剂大量迅速蒸发，枯燥形成凝胶膜，然后进展热处理，得一层氧化物膜，每次循环可控制膜厚530nm。可以屡次循环，但是必须充分枯燥和热处理。,涂胶方法,2.,旋覆法,浸渍法膜厚控制不易，不适合于小衬底，特别是小圆衬底。而旋覆正好适合于小圆衬底，但大面积均匀膜困难。,所需条件,前驱体充分溶解，形成稳定的溶液；,前驱体热分解时不会产生剩余物； 例如，在钙钛矿相形成时， 除阳离子外其他元素都在热处理时变成气态释放；,前驱体热分解过程中，无宏观的相别离；例如，溶剂蒸发时单独组分的结晶应该防止，必须保持原子尺度的均匀性。,基板充分浸润,根据沉积方法调整溶液流变性，控制沉积工艺参数，防止出现厚度变化条纹；,热分解和结晶时薄膜无裂纹或成分不均匀；,薄膜和基板互扩散较小；薄膜制备过程中基板性能无明显衰减；,溶液可保持长期稳定，防止老化导致薄膜性能的不可重复性。,MOD/,金属有机沉积,6,2,阳极氧化法,在电解液中，使铝、镁等金属或者合金作阳极，并加上一定的直流电压，利用电化学反响在阳极金属外表形成氧化物薄膜的方法。,存在两个过程，一个是金属氧化物的形成，一个是金属溶解。,金属的氧化反响：,M + nH2O MOn + 2nH+ + 2ne,金属的溶解反响：,MMn+ +ne,溶解反响水合金属离子氢氧化物或者氧化物。,氧化膜覆盖外表后，金属的溶解反响停顿，而氧化反响继续。由金属离子合电子穿过氧化膜层在膜外表继续生长，因此需要外加电压，1.0-1.4nm/v。,膜的形态：多孔形和屏蔽形,Al,为例，六角形柱状晶柱。各柱中有通过中心的细孔。在含有二氯基酸的硫酸、草酸、磷酸中形成多孔形膜。而在硼酸盐，磷酸盐等中性溶液中生成薄的致密的屏障形薄膜。,机理：膜局部溶解多孔形膜,不发生溶解屏蔽形膜。,用途：,多孔形膜，防金属腐蚀，磨损，装饰。,屏蔽形膜，电解电容器。,6,3,电镀法,电镀：在含有被镀金属离子的水溶液中通过直流电，使得正离子在阴极上放电，得到金属薄膜。,化学镀：不从外部供电，利用氧化复原反响或者置换反响，使得金属盐水溶液中得金属离子在基片外表析出的方法。Fe片插入Cu2+ 。置换反响价值不大，更多的是氧化复原反响。,Electroplating,Various metal (Au, Ni, etc),Fast, 10,m,Hydrogen bubble generation,Difficult for sub-,m,features,Needs seed layer,J.W. Judy, Magnetic microactuators with polysilicon flexures, Masters Report, Department of EECS,University of California, Berkeley, August 29, 1994,Cathodic behavior of Nickel,Cathodic reactions:,Ni,2+,+2e,Ni,2(H,+,+ e,),H,2,Ni,2+,+ e,Ni,+,ads,Ni,+,ads,+ e, Ni,Ni,+,ads,+ H,+,+ e,Ni,+,ads,+ H,*,ads,2H,*,ads, H,2,4.,Ni,+,ads,+ H,*,ads,+H,+,+e, Ni + H,2,NiH,ads,Ni(H,ads,),H.W. Pickering et al., J. Electrochem. Soc. 144 (1997) L58,电镀液：,a),水溶液，金属盐溶于其中，广泛应用。,b),非水溶液，有机或无机溶剂溶解金属，几乎无工业应用。,c),熔盐，熔融铝盐为工业采用。,阳极： 阳极为被镀的金属，提高阳极电位，使阳极溶解。,特点：膜层致密，光滑，无针孔但是膜层厚度受镀件外形的影响扩散不均。,6,4,LB,膜的制备,定义：将水一汽界面上形成的单分子膜层，转移到基板上，形成单层和多层薄膜的方法。,单分子层的形成,Prof. Langmuir Prof. Blodgett,薄膜的制备方法 ：,A.垂直浸渍法,浸润与不浸润现象,单分子层与基板间的液面凸凹情况，视插入与提起的操作而定。,将基片在单分子层上下移动，每上下移动一次可得到12层膜。,假设基片是疏水性的，膜层的疏水端就会吸附在基板上。只能在插入的过程中附着一层膜。,假设基片是亲水性的，只能在提起的过程中附着一层膜。,附着一层膜的，可连续附着另一层膜的，称Y型膜,疏水基板：只能在插入过程中附着一层膜，称X型膜不稳定up 0,亲水基板：只能在提出过程中附着一层膜，称Z型膜 (不稳定) down 0,水平附着法,外表平滑，水平的基板从上向下缓慢下降，可制得理想的X型膜。,LB膜的特点：,A.可制得高结晶度的有机薄膜。,B.可制得超薄，均匀，厚度及分子层数可控的薄膜,C.可方便制取各种异质LB膜,D.通过聚合反响可改善共热稳定性、机械稳定性、并可能改变某些电学、光学性能,应用,外表催化、电磁波的吸收与衰减、敏感薄膜、光电开关、双稳态、超导、非线性光子学,65 液相外延LPE,定义,一种从饱和溶液中，在单晶衬底上生长外延层的方法。,原理,溶质的溶解度随高温降低而减少，因此饱和溶液，它与单晶衬底接触后被冷却，假设条件适合，析出的溶质就外延在衬底上。,LPE的优点：,A.生长设备比较简单,B.纯度比较高，生长速率较快,C.组分和厚度可较准确控制，重复性好,D.掺杂剂选择范围比较广,E.外延层位错密度较低,F.操作平安,缺点：,外表形貌大都不如气相外延的好。,生长方法：,A.倾斜法,缺点：溶液和生长晶体外表别离不完全，有局部溶液粘附在生长层外表，并且生长层厚度和均匀性难以控制,B.浸渍法,与倾斜法相似，设备简单，外延层厚度不易均匀,C.滑动舟法主要使用方法,可进展多层液相外延源片GaAs的作用是使溶液到达饱和。,VLS,VaporGasLiquidSolid Films,基片,催化剂,气相,溶解,薄膜,催化剂,气相,溶解,基片,人有了知识，就会具备各种分析能力，,明辨是非的能力。,所以我们要勤恳读书，广泛阅读，,古人说“书中自有黄金屋。,通过阅读科技书籍，我们能丰富知识，,培养逻辑思维能力；,通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平，,培养文学情趣；,通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。,有许多书籍还能培养我们的道德情操，,给我们巨大的精神力量，,鼓舞我们前进。,
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