离子渗氮1课件

表面改性技术表面改性技术表面改性技术1概述概述定义定义：采用某种工艺手段使材料表面获得与其基体表面材料的组织结构、性能不同的一种技术。传统表面改性技术有喷丸强化、表面热处理、化学热处理；优质清洁表面工程技术包括等离子体、激光、电子束、高密度太阳能表面处理和离子注入表面改性。概述定义：采用某种工艺手段使材料表面获得与其基体表面材料的组2离子渗氮离子渗氮（等离子体表面处理技术）（等离子体表面处理技术）离子渗氮（等离子体表面处理技术）3离子渗氮的意义离子渗氮的意义提高零件表面的提高零件表面的硬度硬度、强度强度和和耐磨损耐磨损性能。性能。齿顶面齿顶面齿面齿面离子渗氮的意义提高零件表面的硬度、强度和耐磨损性能。齿顶面齿4什么是等离子体什么是等离子体等离子体：等离子体：是一种电离度超过是一种电离度超过0.1%的气体，由离的气体，由离子、电子、中性粒子（原子和分子）的组成。子、电子、中性粒子（原子和分子）的组成。气体加热或放电气体加热或放电中性粒子中性粒子中性粒子、离子和电子中性粒子、离子和电子什么是等离子体等离子体：是一种电离度超过0.1%的气体，由离5什么是等离子体什么是等离子体等离子体等离子体是一种物质能量极高的物质状态，被称为是一种物质能量极高的物质状态，被称为物质第四态。物质第四态。固固 液液 气气 等离子体等离子体什么是等离子体等离子体是一种物质能量极高的物质状态，被称为物6等离子体获得等离子体获得高温下高温下：利用粒子碰撞等产生；利用粒子碰撞等产生；等离子体获得高温下：利用粒子碰撞等产生；7等离子体获得等离子体获得低温下：低温下：主要方法是气体放电（电流通过主要方法是气体放电（电流通过气体的现象）气体的现象）。等离子体获得低温下：主要方法是气体放电（电流通过气体的现象）8等离子体表面处理分类等离子体表面处理分类分类分类 离子渗碳 离子渗氮 离子碳氮共渗 离子渗金属C元素离子渗碳N元素离子渗氮C、N元素离子碳氮共渗金属元素离子渗金属工件工件等离子体表面处理分类分类C元素离子渗碳N元素离子渗氮C、N元9离子渗氮离子渗氮定义定义：在压力为在压力为10-3-10-2Torr的渗氮气氛（的渗氮气氛（N2-H2或或NH3或纯或纯N2）中，利用工件（阴极）和阳极）中，利用工件（阴极）和阳极间稀薄含氮气体产生辉光放电进行渗氮的工艺。间稀薄含氮气体产生辉光放电进行渗氮的工艺。必要条件必要条件 1）真空；）真空；2）稀薄含氮气体；）稀薄含氮气体；3）辉光放电。）辉光放电。离子渗氮定义：在压力为10-3-10-2Torr的渗氮气氛（10离子渗氮炉离子渗氮炉离子渗氮炉11离子渗氮炉控制柜离子渗氮炉控制柜离子渗氮炉控制柜12工件的摆放工件的摆放工件的摆放13工件工件工件14炉体密闭炉体密闭炉体密闭15离子渗氮过程离子渗氮过程离子渗氮过程16离子渗氮过程离子渗氮过程离子渗氮离子渗氮.AVI离子渗氮离子渗氮.MPG离子渗氮离子渗氮.WMV离子渗氮过程离子渗氮.AVI17离子渗氮的溅射和沉积理论离子渗氮的溅射和沉积理论渗氮层的形成渗氮层的形成：反应阴极溅射。反应阴极溅射。详细过程详细过程：渗氮炉中渗氮炉中,稀薄气体在阴极、阳极间稀薄气体在阴极、阳极间的直流高压下形成等离子体，的直流高压下形成等离子体，N+、H+、NH3+等等正离子轰击阴极工件表面，轰击的能量可加热阴正离子轰击阴极工件表面，轰击的能量可加热阴极，工件发生二次电子发射，同时阴极溅射，从极，工件发生二次电子发射，同时阴极溅射，从工件上打出工件上打出C、O、Fe等。等。Fe与阴极附近活性氮与阴极附近活性氮原子形成原子形成FeN，又沉积到工件阴极表面，又沉积到工件阴极表面，FeN分分解，解，FeN-Fe2N-Fe3N-Fe4N，分解出的氮原子大，分解出的氮原子大部分渗入工件表面内，一部分返回到离子区。部分渗入工件表面内，一部分返回到离子区。离子渗氮的溅射和沉积理论渗氮层的形成：反应阴极溅射。18冲入含氮气体冲入含氮气体冲入含氮气体19气体电离气体电离N气体电离N20离子轰击离子轰击N离子轰击N21工件表面（阴极）溅射工件表面（阴极）溅射N工件表面（阴极）溅射N22Fe、N化和化和NFeFe、N化和NFe23生成生成FeN生成FeN24FeN沉积沉积NFeN沉积N25FeN分解分解NFeN分解N26N沉积沉积NN沉积N27Fe2N分解分解NFe2N分解N28N沉积沉积NN沉积N29Fe3N分解分解NFe3N分解N30N沉积沉积NN沉积N31氮化层生成氮化层生成N氮化层生成N32动画动画动画33离子渗氮的优点离子渗氮的优点1、离子渗氮形成的氮化层可以大大提高零件的、离子渗氮形成的氮化层可以大大提高零件的表面硬度表面硬度和耐磨损性能和耐磨损性能,从而延长零件寿命从而延长零件寿命,防止其磨损失效；防止其磨损失效；2、优质、低耗、洁净、优质、低耗、洁净；离子渗氮的优点1、离子渗氮形成的氮化层可以大大提高零件的表面34离子渗氮的优点离子渗氮的优点3、离子轰击离子轰击有净化表面作用，能去除工件表面钝有净化表面作用，能去除工件表面钝化膜，可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮化膜，可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮；4、实现、实现局部渗氮局部渗氮；5、工件变形、工件变形小小；6、离子氮化是在、离子氮化是在真空真空中进行，因而可获得无氧化中进行，因而可获得无氧化的加工表面。的加工表面。离子渗氮的优点3、离子轰击有净化表面作用，能去除工件表面钝化352.激光表面处理激光表面处理2.激光表面处理36概述概述目的目的：改变表面层的成分和显微结构，以改变表面层的成分和显微结构，以提高表面性能，适应基体材料的需要提高表面性能，适应基体材料的需要。激光表面处理工艺包括：激光表面处理工艺包括：激光相变硬化；激光相变硬化；激光熔覆；激光熔覆；激光合金化；激光合金化；激光非晶化；激光非晶化；激光冲击硬化等。激光冲击硬化等。概述目的：改变表面层的成分和显微结构，以提高表面性能，适应基37概述概述设备设备：CO2激光器激光器激光与金属相互作用激光与金属相互作用 光能光能-热能热能-熔点（熔点（us、ns、ps）激光处理前表面预处理激光处理前表面预处理 激光波长激光波长 ，吸收率，吸收率 磷化、黑化和涂覆红外能量吸收材料（如石墨、磷化、黑化和涂覆红外能量吸收材料（如石墨、含炭黑的涂料等）含炭黑的涂料等）磷化工艺繁琐，黑化简单，激光吸收率高达磷化工艺繁琐，黑化简单，激光吸收率高达90%。概述设备：CO2激光器38激光表面合金化激光表面合金化激光表面合金化39概述概述定义定义：用镀膜或喷涂等技术把所需合金元：用镀膜或喷涂等技术把所需合金元素涂敷在金属表面，利用激光照射使敷层素涂敷在金属表面，利用激光照射使敷层合金元素和基体表面薄层融化、混合，而合金元素和基体表面薄层融化、混合，而形成新的表层，从而改善表层耐磨性、耐形成新的表层，从而改善表层耐磨性、耐蚀性和高温抗氧化性等。蚀性和高温抗氧化性等。概述定义：用镀膜或喷涂等技术把所需合金元素涂敷在金属表面，利40分类分类根据工艺不同，激光表面合金化可分为：根据工艺不同，激光表面合金化可分为：激光粉末涂覆合金化激光粉末涂覆合金化激光硬质粒子喷射合金化激光硬质粒子喷射合金化激光气体合金化激光气体合金化分类根据工艺不同，激光表面合金化可分为：41铸造铝合金预置铸造铝合金预置Si粉激光表面合金粉激光表面合金化研究化研究研究背景研究背景 1、A357、A319 等铝合金中等铝合金中Si 的质量分数约为的质量分数约为6%,-A l软软相是该类合金中的主要组成相，在发动机组中作为摩擦副相是该类合金中的主要组成相，在发动机组中作为摩擦副零件使用时存在硬度低、摩擦系数高、磨损大、容易拉伤零件使用时存在硬度低、摩擦系数高、磨损大、容易拉伤等缺陷等缺陷,不能直接用于发动机气缸内壁等缺陷。不能直接用于发动机气缸内壁等缺陷。2、为了提高铸造铝合金气缸的耐磨性、为了提高铸造铝合金气缸的耐磨性,一种方法是在铸造一种方法是在铸造铝合金气缸内表面内衬缸套，内衬缸套增加了缸体的重量，铝合金气缸内表面内衬缸套，内衬缸套增加了缸体的重量，且铸铁缸套与铝合金热膨胀系数不同，在使用过程中也存且铸铁缸套与铝合金热膨胀系数不同，在使用过程中也存在问题在问题;另一种方法是采用铝硅合金气缸，以合金中的另一种方法是采用铝硅合金气缸，以合金中的Si作作为主要相。而铝硅合金有较好的耐磨性，但其铸造成本高，为主要相。而铝硅合金有较好的耐磨性，但其铸造成本高，且合金中出现粗大的板条状且合金中出现粗大的板条状Si相，使合金基体受到严重割裂，相，使合金基体受到严重割裂，容易形成裂纹，破坏基体的连续性，显著降低合金的强度、容易形成裂纹，破坏基体的连续性，显著降低合金的强度、韧性。韧性。铸造铝合金预置Si粉激光表面合金化研究研究背景42研究内容研究内容低低Si含量的含量的A357合金为基，采用激光表面合金为基，采用激光表面合金化技术，选用合金化技术，选用Si粉末作为合金化涂层材粉末作为合金化涂层材料，适当提高基体合金中的料，适当提高基体合金中的Si含量，制备高含量，制备高硅硅Al2Si合金涂层，研究了激光表面合金化合金涂层，研究了激光表面合金化涂层的组织和性能。涂层的组织和性能。研究内容低Si含量的A357合金为基，采用激光表面合金化技术431试验材料及方法试验材料及方法材料材料：基体材料为基体材料为A357铸铝合金，主要化学成分铸铝合金，主要化学成分(质量分质量分数数,%)为为7.63Si、0.54Mg,其余其余Al。试样尺寸为。试样尺寸为70 mm 10 mm的圆片。的圆片。表面预处理：表面预处理：1、首先采用、首先采用100 目到目到400 目的砂纸将试样表面磨平；目的砂纸将试样表面磨平；2、采用、采用5wt%的的NaOH溶液浸泡溶液浸泡5 min用以去除试样表面用以去除试样表面的油迹的油迹,破坏铝合金表面致密的破坏铝合金表面致密的Al2O3 氧化膜氧化膜,并且可以起并且可以起到黑化的作用到黑化的作用,提高试样表面对激光光束的吸收率；提高试样表面对激光光束的吸收率；3、用工业酒精和丙酮溶液清洗表面；、用工业酒精和丙酮溶液清洗表面；4、将、将Si粉粉(纯度为纯度为99.95%,粒度为粒度为200目目)用用4 wt%的聚的聚乙烯醇有机粘结剂调成糊状乙烯醇有机粘结剂调成糊状,然后均匀地涂刷到基板合金然后均匀地涂刷到基板合金表面表面,涂刷厚度为涂刷厚度为0.5 mm左右。左右。1试验材料及方法材料：基体材料为A357铸铝合金，主要化学441试验材料及方法试验材料及方法激光器激光器：激光器为激光器为5 kW的的CO2 横流激光器横流激光器,激光表面合金化所用激光功率为激光表面合金化所用激光功率为3.5 kW,光光斑直径斑直径3.0 mm,扫描速度为扫描速度为15 mm/s,搭搭接率接率33%。1试验材料及方法激光器：激光器为5 kW的CO2 横流激光45试验结果及分析试验结果及分析涂层的表面形貌涂层的表面形貌 金相试样沿涂层横向截取。图金相试样沿涂层横向截取。图1是预置是预置Si粉末激光表面合粉末激光表面合金化高硅金化高硅Al2Si合金涂层的大面积搭接表面宏观照片。由合金涂层的大面积搭接表面宏观照片。由图图1可见可见,多道搭接获得的大面积激光表面合金化层表面比多道搭接获得的大面积激光表面合金化层表面比较平整、光滑较平整、光滑,且表面无气孔、裂纹等缺陷且表面无气孔、裂纹等缺陷,宏观表面质量宏观表面质量较好。较好。试验结果及分析涂层的表面形貌46样本横截面样本横截面Si是与是与Al有共晶反应的合金有共晶反应的合金元素元素,预置预置Si粉经激光照射熔粉经激光照射熔化后化后,与基板上的与基板上的Al宏观上形宏观上形成了均匀的合金化层成了均匀的合金化层,其横截其横截面组织如图面组织如图2所示所示,可以看出可以看出,整个激光表面合金化层组织整个激光表面合金化层组织均匀、致密、无气孔、无裂均匀、致密、无气孔、无裂纹纹,且与基体呈冶金结合。相且与基体呈冶金结合。相对于原始基板合金对于原始基板合金,预置预置Si粉粉末激光表面合金化层组织较末激光表面合金化层组织较为细小为细小,合金化层中合金化层中Si含量约含量约20 wt%)。样本横截面Si是与Al有共晶反应的合金元素,预置Si粉经激光47激光表面合金化层的维氏硬度激光表面合金化层的维氏硬度1、对比基体合金，涂层的维氏硬度有一定的提高，且沿涂层层深方向硬度、对比基体合金，涂层的维氏硬度有一定的提高，且沿涂层层深方向硬度分布相对比较均匀。分布相对比较均匀。(VMHT30M型显微硬度计对涂层的硬度分布进行测量型显微硬度计对涂层的硬度分布进行测量)原因：激光表面合金化的快速凝固效应原因：激光表面合金化的快速凝固效应,使得合金化涂层组织均匀细小、具使得合金化涂层组织均匀细小、具有优异的强韧性配合有优异的强韧性配合,故整个涂层硬度分布比较均匀。激光表面合金化层中故整个涂层硬度分布比较均匀。激光表面合金化层中细小的未熔细小的未熔Si颗粒、细小的共晶相颗粒、细小的共晶相,增加了涂层的维氏硬度。激光表面合金增加了涂层的维氏硬度。激光表面合金化高硅化高硅Al2Si合金涂层能在一定程度上提高铝合金的硬度合金涂层能在一定程度上提高铝合金的硬度,进而为一定程度上进而为一定程度上提高铝合金的耐磨性奠定了基础。提高铝合金的耐磨性奠定了基础。激光表面合金化层的维氏硬度1、对比基体合金，涂层的维氏硬度48激光表面合金化层的耐磨性激光表面合金化层的耐磨性试验名称试验名称：室温油润滑磨损试验室温油润滑磨损试验设备设备：在：在SRV型高温磨损试验机上进行型高温磨损试验机上进行激光表面合金化层的耐磨性试验名称：室温油润滑磨损试验49试验前准备及参数设置试验前准备及参数设置 润滑介质润滑介质：L2AN22机油机油 试样尺寸试样尺寸：24.0 mm 7.88 mm 对磨上试样对磨上试样：直径：直径10.0 mm硬度为硬度为55 HRC的的GCr15钢球钢球,法向载荷法向载荷20 N,微动频率微动频率20 Hz,冲程冲程1.2mm,磨损时间为磨损时间为10min。试样和标样试样和标样：选取合金涂层和未经激光处理：选取合金涂层和未经激光处理的原始的原始A357铸造铝合金作为试样和标样铸造铝合金作为试样和标样 体积磨损量测量体积磨损量测量：用：用Taly2surfsp2120表面形表面形貌测量仪测量试样及标样的体积磨损量。貌测量仪测量试样及标样的体积磨损量。试验前准备及参数设置 润滑介质：L2AN22机油50结论结论：与原始：与原始A357合金标样相比合金标样相比,激光表面合金化层的耐磨激光表面合金化层的耐磨性能有较大的提高。这是由于激光表面合金化层中大量细小性能有较大的提高。这是由于激光表面合金化层中大量细小且圆整度好的未熔且圆整度好的未熔Si颗粒具有高硬度及高耐磨能力颗粒具有高硬度及高耐磨能力,且在摩且在摩擦磨损过程中不易脱落擦磨损过程中不易脱落,从而使激光表面合金化层在磨损条从而使激光表面合金化层在磨损条件下表现出优异的耐磨性能。件下表现出优异的耐磨性能。结论：与原始A357合金标样相比,激光表面合金化层的耐磨性能51