Track工艺设备培训资料专题培训课件

BOE Copyright 2010Track工艺工艺设备培训设备培训资料资料BOE Copyright 2010Glossary(before you read this article)下文中可能使用到的基本术语和缩写表：下文中可能使用到的基本术语和缩写表：Equipment controllerEC主控电脑，主控电脑，Track机设备的控制根节点机设备的控制根节点Block controllerBC每个每个PLC（block）的控制器，共三个，）的控制器，共三个，1.SCR，2.I/F，3.DEVBlock Controller TerminalBCT控制器的显示屏（触摸式）控制器的显示屏（触摸式）Cell Motion console(位于位于Coater)CMCCoater机的涂布及其附属设备的控制单元机的涂布及其附属设备的控制单元Handy Operation PanelHOP手持式操作屏手持式操作屏,与与UCT 或或CMC的固定屏幕同的固定屏幕同Programable Logic ControllerPLC请请Baidu或或GoogleInterfaceI/F与与EXP的连接部分的连接部分ScrubberSCR清洗单元清洗单元Head coater HCT或或HC涂胶及其附属设备，同时也常常指代涂胶机的整体涂胶及其附属设备，同时也常常指代涂胶机的整体AP plasmaAPP清除有机物的设备，取代清除有机物的设备，取代5代线的代线的UVSlit coaterSlit-CT涂胶机，与涂胶机，与HCT，HC等名称经常混用，等待正式等名称经常混用，等待正式Manual 中。中。Dry PlateDP减压干燥单元减压干燥单元DeveloperDEV显影单元显影单元Heat Treatment UnitOven烘干单元，与烘干单元，与COL往往一起讲。设备也是连在一起的。往往一起讲。设备也是连在一起的。CoolingCOL冷却单元冷却单元Rotary PassR/P旋转单元旋转单元Elevator conveyorELV垂直升降垂直升降Buffer单元单元ConveyorCV在某些单元间的起到连接作用的搬运单元（有特殊用途或协调单元间长度）在某些单元间的起到连接作用的搬运单元（有特殊用途或协调单元间长度）Sub ArmS/ACoater旁的机械手旁的机械手Double/Twin PassTwin PassS/A 旁的双层旁的双层 BufferBOE Copyright 2010本报告书的结构：1.ExcelinerTM 1800 设备简介设备简介（2.ExcelinerTM 1800 安全教育）安全教育）3.ExcelinerTM 1800 软件界面软件界面4.ExcelinerTM 1800 控制控制&电力系统电力系统5.ExcelinerTM 1800 的维护的维护Index(before you read this article)BOE Copyright 20101.ExcelinerTM 1800设备简介设备简介BOE Copyright 2010LD/ULD(Robot)AOIELVCVPOST-BAKE&COLDEVSLITTrack产线布局(请放映动画)：IN PassAPPSCRTitlerDHP&COLCVBlock 3 控制区域控制区域Block 0 控制区域控制区域Block 2 控制区域控制区域Block 1 控制区域控制区域ECECELV：Elevator panel BufferDP：Dry plateR/P：Rotary PassBufferI/FS/ABuffer/PassDPPRE-BAKE&COLCVR-PassEXP放入buffer动画stop 1Sec如有Titler，在Titler中转向，没有在此位置为Rotary单元LD/ULD 和 APP,AOI 都不是TEL的设备，由各自研修小组负责讲解。BAKE 和 COL合并在中讲解。Coater,EXP,AOI 前都有BUFFER,在讲特殊的ELV时其他会提到并讲解。注意玻璃缺口方向的变化。Robot运动与Recipe有关，不一定按此运行。Track产线BOE Copyright 2010SCR的参数：Air curtain 高度 81mmBrush 转速：300-400rpmBrush 可在0-5mm范围上下调整。BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压。Brush 上方Rinse：723mm下部Spray距离上方：73mmAir knife：35/heigh(gap):2-3mm(2.50.5mm)SCR：修改挤压用挤压用RollerRoller材质材质VPEVPE容易将玻璃变形，在Brush抬起时 SCR SCRAPPBrushWash StageDry StageOUT StageFinal RinseAir KnifeBrushAir Curtain1.19%TMAH1.19%TMAHDI WaterDI WaterBubblingGlass 方向方向BOE Copyright 2010 SCRSCR 1：RinseRinseAir CurtainAir Curtain玻璃搬运方向玻璃搬运方向Air CurtainAir Curtain从APP进入SCR实际上是有一个坡度的。In PASS和APP比SCR高7mm。也就是说，水无法流向APP和in pass，SCR整体比其他的要低。Air Curtain是在距离玻璃大概高度 81mm的位置。如左图所示，利用气体的隔断，从而保证1.19%TMAH的Rinse和DI Water的Rinse间互相不影响，可以在有限的设备流水线长度上放置密集的Rinse，减少了设备的长度，使设备更紧凑。同时也防止了药液互相混合，有利于回收再利用。Air Curtain1.19%TMAH1.19%TMAHDI WaterDI Water首先，使用1.19%的TMAH进行预湿润处理(Pre Wet)。设置风刀从而隔断液体的流向。紧接着是DI Water水洗。其中的水来自下方的 DI Water Tank 1BOE Copyright 2010 SCRSCR 2：此处双向Rinse，在BCT管路图上标记为两个,其DI Water供应软管数目为其他的两倍。分别向Upper Brush 和 Lower Brush喷水。RinseRinseBrushBrush2 21 11 1Brush RinseBrush Rinse2 2BrushBrushBrush下部的Rinse，图中的Brush还没有装上，所以看得比较清楚。从下往上喷水，清洁Brush。使用Brush的目的主要是为了清除比较大颗粒的Particle。Brush是可以调节高度的。不同的厚度的玻璃可以调节不同的上下间距。从而调节Brush上的软毛对极板的压力。BOE Copyright 2010 SCRSCR 3：RinseRinse防止喷溅板防止喷溅板 AK DRYAK DRYRinseRinseFinal RinseBubblingAir Knife基板经过HP Bubbling和 HP Rinse后到达Final Rinse。为了保证在没有基板的情况下下部的Rinse喷射出的水不会飞溅到上部的chamber盖上。在这里使用了一个防止喷溅的挡板。在经过这些以后，使用Air Kinfe 干燥。基板传送方向基板传送方向Final Rinse的Water来自于DI Water Tank 2，Tank2的水流到Tank1 重复利用。BOE Copyright 2010SCR的排气部分Exhaust管增加气泵加速排气。为了弥补排气量的不足。气液分离器，可以分离液体和气体。在其靠近通往1楼的排气侧有过滤器。利用气体的浮力和液体会自然分开，在中间形成一个可以静置的空间，气体向上浮出。从而分离水和气泡。AirAir气液分离器上方的手动调节排气量的一个简易阀门，通过旋转里面的薄圆形铁片。可以调节排气量的大小。铁片遮挡的部分越小则排气量越大。BOE Copyright 2010OVENOVENPre-HeatPre-HeatBAKEBAKECOLCOLPre-COLPre-COLT.C.COLT.C.COLA A。Pre-Heat用于升温，Bake用于保温，COL用于降温。B B。OVEN从上面打开进行PM清理。下部的螺丝拧松后可以取出掉落的碎玻璃。20mm20mmHeater反射板反射板FFUPre-COLCool AirUnitT.C.COLCool Air冷却水冷却水Pre-HeatBake玻璃基板运动方向Heater的温度大于玻璃基板需要达到的目标温度。而且，由于在靠近入口和出口的位置的散热量大，所以Heater块温度的设置常常是：温度距离玻璃板目标温度在此中玻璃基板升温至目标温度在此中玻璃基板保持目标温度不变在此中直接吹冷风，温度下降在此中可控制冷风的温度，冷却玻璃基板 OVENOVEN（动画）（动画）（动画）（动画）BOE Copyright 2010 OVEN：Heat&BakeHeat&Bake：设备外侧的观测窗上部的加热板下部加热板温度sensor由于设备是密闭的，玻璃在里面的状态是看不到的所以在两侧靠近Parts（梯子和脚手架）的地方每隔一段距离设置了一个观察用的窗口。上部和下部加热板的多少取决于具体的情况。温度sensor在加热板中央的位置BOE Copyright 2010 OVEN：ColCOL设备：COL上方的FFU。为了防止CDA（Cool Dry Air）直接吹向基板，同时也为了更加均匀的受到CDA的冷却。可以看到上部为了改变风向而使用的遮挡板。下部的带孔板在拧掉四角的固定螺栓后，可以向下取出，在里面的碎玻璃可以从下面取出。COL in部分COL的温度控制单元FFU使用CDA冷却从Bake中出来的玻璃基板。里面使用冷却水循环来控制温度。BOE Copyright 2010Coater的结构：A A：Head DHead D：Mounting SectionMounting SectionB B：Table ETable E：Running SectionRunning SectionC C：lines Section Flines Section F：Auxiliary part of productionAuxiliary part of production气垫脚 SLIT COATERSLIT COATERCDACDABOE Copyright 2010Position View(几个常用位置点)：1 Release1 Release，拆卸，拆卸HeadHead时的位置时的位置2 Home2 Home，Dry-preventionDry-prevention的位置的位置3 Filling3 Filling，ThinnerThinner清洗清洗HeadHead时的排空位置时的排空位置4 Head washing4 Head washing的位置。的位置。5 5 UniformerUniformer的位置的位置6 Head 0 set 6 Head 0 set 的探针的位置的探针的位置7 Head-Table Gap7 Head-Table Gap的的 1 1 号位置号位置8 Head-Table Gap8 Head-Table Gap的的 2 2 号位置号位置9 Head-Table Gap9 Head-Table Gap的的 3 3 号位置号位置10 10 挡板调节的压力计位置。挡板调节的压力计位置。1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10涂胶方向 排出废液 SLIT COATERBOE Copyright 2010 SLIT COATER在HCT的控制电脑旁边，悬挂有下图。操作时可以对照此图进行操作。注意的是操作过程，必须先向上到达较高位置，再前后移动，防止Nozzle头被突出物体磕坏。BOE Copyright 2010Head：50mmPR PR 胶胶排气排气100um1 21 23 3B BA A4 41 调整螺栓2 调整螺栓3 固定螺栓4 垫片两个排气口阀门轮流交替打开。从而使Head中的气泡振荡。有利于排出。Head上通过螺栓1，2 可调节Nozzle口的大小（1缩小Nozzle 开口，2扩大）。为保证Nozzle口压力，Nozzle 口（唇）中间稍微狭小，两侧稍微宽。唇Gap距离调节螺栓时，要观察紧固螺栓拧紧和松弛下两相比较的数值差。因为往往你拧到目标值后，再拧紧紧固螺栓时数值会变化。需要事先估计预留出此部分的量。SLIT COATERBOE Copyright 2010 SLIT COATER调节Nozzle口的大小螺栓1 为缩小Nozzle口的螺栓较大，所以插不入2的螺栓孔当拧紧时，会将缝隙顶开，从而缩小Nozzle涂胶的开口。已经安装了调整螺栓的Nozzle的调节螺栓处2 增大Nozzle口的螺栓小，通过螺帽提拉作用当拧紧时,会将缝隙变小。从而加宽开口Nozzle涂胶的开口。1 12 2BOE Copyright 2010Obstruction detection unit:Thickness measurement Thickness measurement Unit:Unit:77mm（型号1500，B3的可能不同）25um光学传感器涂胶方向 SLIT COATER玻璃厚度的测试单元使用光学传感器，获取玻璃的厚度，在涂胶前进行如果测定值与Recipe中的值不一样，则系统将报警。Obstruction的检测使用一个距离Nozzle 25um的检测板如果partical大小大于75um将导致检测板倾斜，从而触发上部的光学sensor，系统报警。BOE Copyright 2010 SLIT COATERCoater的导轨，螺杆和附属设备：光标尺，用于设备运行过程中得到直线电机的坐标导轨，Head在此轨道上运行，进行涂胶直线电机，内部为磁铁。电磁动力下，运行更加稳定。对导轨和支持的轴承加润滑油的管道使Head上下移动的螺杆,和旁边的上下方向的导轨和加润滑油的管道.BOE Copyright 2010Head wash unit:上部有N2的针管，下部为Thinner喷管。类似于B1的EBR的设备。喷口离head 5-6mmUniformer unit:喷Thinner抽气废液 Dry-prevention unit:橡胶垫Thinner涂胶方向涂胶辅助单元涂胶辅助单元 SLIT COATERBOE Copyright 2010Panel damage detection unit:反射镜sensorTable当玻璃破碎，lift pin 支撑起玻璃时，如果有碎片挡住光路，则会产生报警 当支撑起来时，中央lift pin 比四周的稍微矮一点。以保证玻璃不会滑落。SLIT COATERBOE Copyright 2010Coater chemical lines:PR supply Tank PR supply Tank ThinnerThinnerCT pump使用步进电机来控制压缩量程。从而控制PR胶的供应量。每次设备维护，需要在面板中切换药液，让Thinner进入管道，而Head停留在Head wash unit 与 Dry-prevention unit 之间（此位置已保存在电脑中）。清洗出的废液经过Nozzle流入Head wash unit 下方的Drain管中。SLIT COATERThinnerThinnerPRPR胶的胶的Buffer tankBuffer tankThinnerThinner的的tanktankThinnerThinnerPRPRThinnerThinner，PRPR切换选切换选择，电磁阀择，电磁阀废气管的气液分离箱。位于废气管的气液分离箱。位于TableTable下方。下方。BOE Copyright 2010Coater机的状态间的切换最后，为了保证安全，三种状态，Maintence（M）Teach（T）Run/Ready（R）。是共用一把钥匙的。在Run时想更改为Teach必须先将状态更改为Maintence ON，再拔出钥匙，插入Teach，更改为ON。然后，按下Teach按钮再次确认，从而进入Teach状态。RMTMaintenceTeach当两个同时是off 时就是Ready/RunBOE Copyright 2010DP 的结构（单层）：Air CylinderSealGlass注：注：Seal 要求要求1年一次更换。年一次更换。共共36根根Pin123Lift Pin1,2,3 容易漏气的地点，容易漏气的地点，漏气需要重点检查漏气需要重点检查 DPDPDP上段上段DPDP下段下段BOE Copyright 2010 DPSeal&Air Cylinder支撑Pin运动的气泵Pin在进入chamber前的seal1 支撑chamber盖打开的气泵2 外部的滑轨，气垫带动chamber上下运动时，在四个角起限制作用。3 下部的控制抽气量的阀门。内部如右图所示：为一个可以翻转的阀门。不同角度控制打开的大小不同。4 检测chamber盖的打开高度的sensor恢复大气压的向chamber冲气的管道1234BOE Copyright 2010BOE HE 将使用的DP有双层chamber,轮流使用。保证Tact time(110/2=55s)PressTime1 atm380Pa26Pa图图：B3的的DP工作曲线工作曲线100S 110S DPBOE Copyright 2010DEV 单元：Gap 1mm2mm1mm抽气抽气PS：在玻璃基板进入前 涂显影液的Nozzle 提前供液（预喷），以排尽空气泡。DEV30L/min23L/min1cm2最大最大AKDI WaterSpray NozzleAKFinal NozzleBOE Copyright 2010 DEV两次显影液的涂布液刀和中间坡度部分：RinseRinseAir Knife Air Knife 抬高数值，单位抬高数值，单位mmmm在这个地方形成一个上坡下坡的结构。Nozzle2Nozzle2Nozzle1Nozzle1BOE Copyright 2010 DEVSpray Nozzle&Final NozzleRinseRinse防止喷溅板防止喷溅板 RinseRinse防止喷溅板防止喷溅板 Spray Nozzle Final Nozzle为了防止，下部的nozzle 在没有玻璃的情况下喷溅到上部的chamber玻璃盖上。设置了一个遮挡用的玻璃板。BOE Copyright 2010ELV：Elevator panel Buffer动画电动机先进先出。后进后出。ELVBOE Copyright 20102.ExcelinerTM 1800 安全教育安全教育讲完系统结构后，在此插入一章，讲述安全，本来是放到第一位的，但是在没有讲述系统结构前是很难讲清楚具体那个地方有危险的。所以放到此处。以此记录之BOE Copyright 2010警示标签的分类在Track设备的各个可能对人体和设备产生危害的部分均贴有警示标签，基本用到的如下表所示：危险标示，可能无康复可能的伤残或死亡的场合警告标示，可能导致伤残或死亡的场合注意标示，可能轻度伤残的场合禁止操作重要信息要点参考注意事项BOE Copyright 2010警示图形的分类另外，还有比较直观的警示标志如下（有些在设备上已经翻译为中文标签）：触电危险机械手臂等挤压危险需要配戴护目镜重物压下注意高温注意压手还有几个没有提及的标志将在下面给出现场的照片具体的讲述。BOE Copyright 2010设备存在的危险传送轴，机械伤害：位置：遍及Track 机由于设备使用了较多的齿轮皮带传送装置。而在设备维护时，必须要注意防止夹手。平时不要放下护盖，遵循操作手册进行维护操作。软X光伤害：位置：Coater有安全栅保护，未经许可，不可入内。BOE Copyright 2010设备存在的危险机械手臂位置：Index,S/A，I/F移动区域，注意防止机械手臂对人体的伤害，在需要维护前，必须两人进行，同时切断电源，才可以进入安全围栅内。EMOEMO：紧急停止按钮。如发生事故，按下可立即停止机械的运行高处跌落：位置：所有需要梯子和支架作业的区域腐蚀化学药剂喷溅危险：位置：TMAH SCR&DEVBOE Copyright 2010设备存在的危险易燃/有毒化学品：位置：Coater主要为PR胶和Thinner，装有灭火装置，维护时请配戴护目镜（喷溅危险）和防腐蚀手套。防漏托盘高温位置：OVEN重物压下位置：OVEN，DP维护时，必须按照维护手册进行，安装防止腔体掉下装置后。进入维护。BOE Copyright 2010防护的措施:1 在可能产生机械挤压伤害的地方，安装安全栅,设置Interlock（安全保护连锁开关）等隔断区域。2 在可能产生重物压下伤害的地方，设置防止掉下装置3.在可能易燃物品处设置火警报警和消防措施。4.在有毒腐蚀性化学品管道下方设置防漏托盘drain管在维护中：注意佩戴 手套（耐热，防腐），眼罩，安全帽等安全劳保物品。Interlock 防漏槽和检测sensor 灭火器 进入robot前，进入者拿上此控制手柄。而另一个人在外面使用HOP。只有两个都同时允许，机械手才会运动。不论握太紧还是松开都会切断电源。BOE Copyright 20103.ExcelinerTM 1800 软件界面软件界面只能粗略的讲下界面。不可能准确到每一项，还是自己实际操作为好BOE Copyright 2010系统的权限EC系统使用不同等级权限的分配：等级不同，看到和可以操作的界面/选项也不同。OPPEEQSV,依次等级升高BOE Copyright 2010EC 界面EC 是控制整条Track产线的控制器，操作系统为Win xp，同时，在In pass和DEV in 侧设有两个显示器，都可以进行操作。界面如下所示与CIM的通信时间 关于 当前画面内容 操作权限 蜂鸣 报警灯菜单栏设备状态设备状态 报警具体内容报警具体内容 Home Home 消息消息 CIMCIM信息信息 书签书签 装置画面基板画面消息：将在屏幕上出现滚动条，通知看到屏幕的其他人员，一般使用于PM，例如可以打上：“请勿动”。防止你离开时的问题。同时，由于在设备两端有俩个显示器，双方可以互相交流。不需要跑来跑去（设备比较长）。书签（原文为此 Book mark）：切换菜单用BOE Copyright 2010EC.菜单栏下面为OP权限界面：下面是菜单栏界面：主菜单启动/停止CIM连接状态表示Recipe历史记录接口信息进入下一级菜单时，返回Home。在运行状态下，按下本键，包括本EC所在电脑在内所有设备全部关机停止。与CIM系统的联系。像网络连接吧。当前设备的状态编辑，修改，增加，删除Recipe。报警日志，玻璃日志等等的纪录。EC与各个BC等的接口的I/O信息BOE Copyright 2010EC.菜单栏.RecipeRecipe的分类结构和设置：Flow RecipeProcess RecipeProcess Recipe用于控制用于控制具体的每个单元具体的每个单元 例如：例如：SCR,DP这些单元这些单元 编写Recipe时，先写好针对每个具体单元的Process Recipe，Process Recipe 中包含具体的控制参数：时间，流量，温度，压力等。而Flow Recipe 只是在每个单元上挑选一个已经存在的Process Recipe，形成一个组合。注意的是：SLIT和AOI只能在Flow选择它们已经有的自己的Recipe编号。而无法在EC打开Process Recipe编辑具体参数。存在四种特殊用途存在四种特殊用途Recipe：Dummy Recipe：Dummy时使用时使用Default Recipe：维护结束，升高：维护结束，升高Bake温度准备生产前的预动作温度准备生产前的预动作Collect Recipe：Glass停留，后直接送出停留，后直接送出Chamber用用Maintenance Recipe：维护前用于降低：维护前用于降低Bake温度等预动作。温度等预动作。BOE Copyright 2010EC.装置画面下面是菜单栏界面：基板的详细信息各个单元的当前使用的Recipe的信息Port口玻璃的信息表示完整装置构成图（从左到右）Layout显示方式反转装置构图是否在图形中显示正在搬运的基板工作单元信息按下出现BOE Copyright 2010EC.基板画面下面是基板界面：点击将出现相应的详细地信息在下面的列表中。选择的筛选范围基板信息装置的状态报警的履历BOE Copyright 2010SCR BCT 界面清洗单元（BC1）的控制面板，与HOP一致：关于本程序登录用户权限报警信息，有信息时闪烁红色状态，进入子界面后按下会退回主界面Inline/Local切换屏幕画面保存时间日期菜单主界面子菜单当前显示的画面内容提示运行/停止设备包括CPU，CC-Link在内的状态，可用于检测故障在此中设置PM维护状态系统设置：包括语言等点击主界面中的单元块可以进入相应的详细地信息界面。BOE Copyright 2010SCR BCT 界面在主界面下的子菜单：只说这一级，每进入不同界面，下面的菜单会有变化。监视信息 基板信息 sensor状态 声明颜色 BOE Copyright 2010SCR BCT 界面Inline/Local&Alarm画面：状态点击选中切换状态记得从这个进入这个画面注意：必须在解除导致警报的原因后再到BCT上解除警报详细信息解除警报BOE Copyright 2010I/F BCT 界面I/F BCT（BC2）界面（结构和SCR一致）：切换语言BOE Copyright 2010I/F BCT 界面Maintenance 界面：2 21 1选择进行维护的单元切换状态切换运行速度，很重要，维护时要使用低速，保证安全，一般不要用Normal Speed3 3Panel info是用来核对基板信息，例如删除，增加。如果碎了一块，就有用了。BOE Copyright 2010Coater CMC HOP界面Coater的界面对比以前有了很大的改进。更加直观：运行直接点击可进入相应的单元的详细界面所选单元的可能的操作，可以手动控制。Maintenance,维护时的一些操作设定速度等等。Monitor，监视器，看到各种sensor得到的值系统，可设置语言，当前颜色表示选择了Alarm，报警。打开报警界面Help，辅助菜单分别对应设备的三个部分分别对应设备的三个部分的操作：的操作：Table(设备主体设备主体)Head(涂胶涂胶Nozzle部分部分)Coater Tank(供胶部分供胶部分)BOE Copyright 2010Coater CMC HOP界面HL的操作菜单（Operation，手动）：当前操作的是那个单元：Head，Table，Tank当前进入的菜单如有不满足开始的条件，将弹出此菜单。必须解决这些问题后才可以操作运行。动作时间。可以控制的参数选择，具体的还是等manual，左上角是head 移动目的地位置选择（见硬件概要的Coater部分），右上是在选择Head-Table Gap的几号位置。BOE Copyright 2010Coater CMC HOP界面HL的操作菜单（Operation）：CMC中已经存储了一些常用动作的命令程序。只需要在此菜单中选择，运行。系统将按照预定设好的顺序执行，一气呵成的完成一连串的动作，得到你想要的结果。动作可以连续反复的进行（很少用到，只为了测定运行多次后，设备是否是稳定性），可设定结束条件为：时间，回数。选择此处BOE Copyright 2010Coater CMC HOP界面设定：选择Head运动时的速度，必须注意，在维护手动操作时，要更改速度尽可能慢，防止Head碰到Table或其他东西磕坏。选择模式,是否忽略一些机能。当你在调试时，往往需要忽略一些检测报警的机能，例如，检测是否有玻璃。正常模式，与生产时一样有所有机能。忽略下面列表的机能。BOE Copyright 2010Coater CMC HOP界面Monitor，监视器的菜单：运动单元信息运动单元的sensor状态状态各种Sensor的状态是否准备完毕动作，包括动作指示和记忆状态Tank1的状态信息Tank2的状态信息外部辅助设备的信息，包括Thinner供应状态等BOE Copyright 2010Coater CMC HOP界面Monitor，系统设置,报警,帮助和系统信息的菜单：轴，马达数据。测定值，上面三项：当当前前sensorsensor测定值测定值，高度高度测定值测定值，玻璃厚度测定玻璃厚度测定值值。上图中没有放玻璃，而且菜单为显示当前sensor测定值，所以较小。左图可看到以前测定为0.7mm系统设置报警列表系统信息，现在这一页显示的是硬件信息，CPU等BOE Copyright 20104.控制控制&电力电力系统系统BOE Copyright 2010设备控制EC(Equipment Controller)的作用1.可以手动对可以手动对Panel进行管理进行管理2.与与CIM系统的通信系统的通信:处理处理Panel的的Recipe Alarm的管理的管理 监测数据监测数据3.参数的管理参数的管理:Recipe的参数设定的参数设定 Coater Teaching数据数据装置概要图装置概要图EthernetEthernet上图中的BC为Block Control,模块控制,所有的1包含一个BCT和一个HBCT.HBCT是手动操作用的,在每个1上有个插口,可以插上手动的控制板.1 1：ADPCoater有独立的CMC系统。BOE Copyright 2010BlockBC1，BC2，BC3：位于SCR BCT 下方维护通道旁边BC1位于I/F旁边BC2位于DEV BCT下方的BC3U-Hub,插在上面淡蓝色的都是BC1控制的各个单元PLC传上来的数据线(网线)Keyence KV-5000 PLCCC-LinkKeyence KV-CL20BOE Copyright 2010HBCTHBCT 接口：ADP，插入，打开开关，HBCT马上初始化。等待片刻就可以使用了插入插入O O 关关-开开BOE Copyright 2010Service stop和C/V stop在设备的每个单元的进入部分有些有此两个按键。Service stop：停止接受新的玻璃，但是已有的玻璃继续处理流出。服务停止。C/V Stop：立即停止传送，所有玻璃都将被停留在chamber中。实际中，尽可能不要C/V Stop，因为这样会导致停留在chamber内的基板的Rework。BOE Copyright 2010设备电力设备的电力来自楼下两个Power Box。同时，在每一个BCT下方都有一个各个单元的电源控制按钮面板。对应单元的电源按钮。在BCT旁，比较方便，每个都是控制各个单元的AC Power BOXSCR下方的AC Power Box，ACPower Box和I/O Box 往往在一起。楼下的总控制柜BOE Copyright 20105.ExcelinerTM 1800 的的维护维护BOE Copyright 2010日常维护：SCR，DEV，OVEN，Buf的维护主要是以清洁工作为主：SCR 和DEV单元都配有用于清洗的高压水枪。Buff和OVEN需要定期擦拭表面。保证particle量不要超标。同时，在打开OVEN，DP时，需要做好保护措施，防止chamber盖瞬间掉下。各处的轴承，皮带的松紧，液体和气体的压力都需要经常地进行checkBOE Copyright 2010Coater的Head 拆卸操作拆卸和安装HEAD的步骤:1.首先，先移动到”洗净/干燥待机位置”，Pumb入Thinner 液体将HEAD里的PR排净.注意：系统已经保存有连续完成这些命令的动作，不需要手动进行，选择相应的操作可以排出PR,HEAD从home位置到洗净/干燥待机位置,排完之后会自动的回到home外置。上面图中标出的位置点可作为参考。2.再把THINNER排净.3.在filling位置将连接在Nozzle上的所有配管拆掉之后,回到home位置,主要是中间的PR胶的配管和两侧的排出气泡的配管，还有冷却水的接口。了无牵挂了，才可以卸下来。其中，注意不要将卸下的软管接头随便乱放，以免污染管线内部。做好了这一切，将Head移动到Home位置，然后上升到“取替退避位置”。拆拆除除BOE Copyright 2010Coater的Head 拆卸操作4.HEAD上升到“取替退避位置”后,.由操作者给Nozzle加装保护罩。拧上保护罩的固定螺栓。将Nozzle最脆弱的刀头部分保护好后，才可以进行下一步。虽然有保护罩，但是还是需要小心谨慎的移动。5.将HEAD缓慢降到slider载物台上,首先，要在HOP中将速度调整为原来的10%,快到载物台上时,要停一下,载物台6.取下HEAD上的固定用的大螺栓,注意取下螺栓时要小心垫片丢了。然整个Head就完全靠两个吊环来支撑。7.这时，在HOP中让Head下降，慢慢的放上载物台。要尽可能轻柔。当完全放下时，吊环松开。载物台是可以前后移动的。然后，将Nozzle向外推出载物台。BOE Copyright 2010Coater的Head 拆卸操作7.将吊机推到载物台前面，将HEAD吊起,放到工作台上时要注意轻放,要提着把环。使用的吊机由于只有两根吊绳，容易前后左右晃动，需要有人握稳两侧的吊绳，而另一个人操作吊车，操作吊车者必须轻柔。缓慢的抬起Nozzle。然后移动到操作台那。缓慢的放下。BOE Copyright 2010Coater的Head 拆卸操作8.将HEAD放下，取下吊绳，拆卸吊环，PR软管的接头，排气软管的接头，将吊环保存起来。然后操作台上有一个旋转把手，可以将HEAD放平。这个动作同样需要缓慢进行。向下放下NozzleNozzle放平以后，侧面安装起吊部件。两人配合搬运或再次使用吊车，将Nozzle抬起，放到旁边很接近的位置的更加容易操作的平台上。检查外观。BOE Copyright 2010Coater的Head 拆卸操作将固定A，B面的螺栓一个一个拧开下面的部分不一定要进行，如果下面的部分不一定要进行，如果NozzleNozzle是要进是要进行保修。完成前面的操作后就可以使用专门的箱行保修。完成前面的操作后就可以使用专门的箱子收起来了。然后就可以交给子收起来了。然后就可以交给TELTEL的售后服务人的售后服务人员。员。打开打开HeadHead头：头：将把A和B相连的螺栓取下，取下时，是没有什么规律的。但是在再次安装回来的时候，需要以中心对称的方式，以1N，2N，3N 的方式将Nozzle的A，B面重新固定。全程必须使用力矩扳手。9.将A面翻过来,SIM,A和B的内面都要用药液清洗。10.将A面和B面夹着SIM组装起来,唇边与SIM要相离0.10.5mm,左右相离00.1mm,找好位置之后立即喷上药液使SIM能吸附在HEAD上,SIM有个缺角,要放在BACK面(操作面叫front面,背对面叫back面)将将NozzleNozzle安装的操作和拆卸的完全是逆向的程安装的操作和拆卸的完全是逆向的程序。序。100umB BA A1 调整螺栓2 调整螺栓3 固定螺栓4 垫片43BOE Copyright 2010Coater.Head 的设置：Head的高度设置当每次进行了Head安装后，Head的位置都产生了很大的变化，需要重新进行初始位置的调整。在Table靠近Uniformer侧的边缘有测量Nozzle的探针。首先要进行首先要进行Head的高度探针的重新检查和调节，确定的高度探针的重新检查和调节，确定0点位点位置置1 使用夹具确定使用夹具确定0Set位置：位置：先将夹具在Table边缘倾斜缓慢放平，再缓慢旋转至对角线方向上。通过HOP操作界面下的调节高度探针以确定0Set位置，最终要使测量值在2000dig。上下偏差在10dig范围内，使用六角扳手及固定扳手协调调节。BOE Copyright 2010Head高度的初始化设置1，首先需要将Nozzle移动到探针设置，而这个位置在系统中已经被记忆了，只需要调用就可以：“刃先测定待机位置”，“刃先测定位置”，同时，也有现成的已经被定义的程序可以被调用。在HOP中选择相应的项就可以了。将Nozzle降下。到达刃先测定位置，调节Head两端高度，使两端值在20001dig范围内。这时，设定当前位置为0set，写入该值，A-call。从上下降然后得到数值，多测几次，以观察测定的稳定性。BOE Copyright 2010Uniformer Gap的检查和调节移动到Uniformer Gap调整位置。不要一次性的移动到位，要一步一步，观测是否有妨碍Head运动的东西，随时准备停止移动。使用陶瓷塞片最终调节好Uniformer GapHOP 中移动Head上下运动，得到测定值塞片判断是否需要调整，往哪个方向调整N NY Y设定为Uniformer Gap塞片的测定，和人的感觉有关。最后是同一个人进行测试。需要注意的是塞不进去的时间不要硬塞，以免破坏Nozzle.Company ConfidentialBOE Copyright 201073