磁栅容栅传感器

第十一章：第四节第十一章：第四节 磁栅传感器磁栅传感器 磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可于安装，测量范围宽可超过十几米超过十几米，抗干，抗干扰能力强。磁栅可分为扰能力强。磁栅可分为长磁栅长磁栅和和圆磁栅圆磁栅。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。尺、磁头和信号处理电路组成。5/5/20241磁栅的外形及结构磁栅的外形及结构磁尺磁尺静态磁头静态磁头去信号处理电路去信号处理电路固定孔固定孔5/5/20242磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示5/5/20243鉴相型磁栅数显表的原理框图鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁尺与磁头接触，使用寿命磁尺与磁头接触，使用寿命不如光栅，数年后易退磁。不如光栅，数年后易退磁。设置两个磁头的设置两个磁头的意义何在？意义何在？5/5/20244磁栅测量系统磁栅测量系统压板压板磁头磁头磁尺磁尺5/5/20245磁栅在磨床测长系统中的应用磁栅在磨床测长系统中的应用磁尺磁尺磁头安装在何处？磁头安装在何处？5/5/20246第五节第五节 容栅传感器容栅传感器 容容栅传感器是基于感器是基于变面面积工作原理工作原理的的电容容传感器感器，它的它的电极排列如同极排列如同栅状状。与其他大位移与其他大位移传感器，如光感器，如光栅、磁、磁栅等相等相比，比，虽然精度稍差，但然精度稍差，但体体积小、造价低、小、造价低、耗耗电省省，广泛，广泛应用于用于电子数子数显卡尺、千分卡尺、千分尺、高度尺、高度仪、坐、坐标仪等等几百毫米以下几百毫米以下行程行程的的测量中。量中。5/5/20247结构及工作原理结构及工作原理 容容栅栅传传感感器器可可分分为为三三类类：直直线线型型容容栅栅、圆圆容容栅栅和和圆圆筒筒形形容容栅。其其中中，直直线型型和和圆筒筒形形容容栅传感感器器用用于于直直线位位移移的的测量量，圆形形容容栅传感感器器用用于于角角位位移移的的测量量。5/5/20248各种容栅测量装置各种容栅测量装置5/5/20249各种容栅数显表各种容栅数显表5/5/202410各种容栅数显卡尺各种容栅数显卡尺5/5/202411各种容栅数显卡尺（续）该卡尺的分辨力为多少微米？该卡尺的分辨力为多少微米？5/5/202412各种容栅卡尺（续）各种容栅卡尺（续）5/5/202413各种容栅数显卡尺（续）各种容栅数显卡尺（续）外卡尺外卡尺汽车专用卡尺汽车专用卡尺5/5/202414各种容栅数显卡尺（续）各种容栅数显卡尺（续）内卡尺内卡尺5/5/202415容栅数显卡尺的结构容栅数显卡尺的结构5/5/202416容栅数显卡尺内的数据容栅数显卡尺内的数据和信号处理组合功能块和信号处理组合功能块5/5/202417数显千分尺数显千分尺该千分尺的分辨力为多少微米？该千分尺的分辨力为多少微米？5/5/202418数显千分尺（续）数显千分尺（续）5/5/202419数显外径测量台数显外径测量台5/5/202420数显内螺孔深度尺数显内螺孔深度尺5/5/202421容栅数显百分表容栅数显百分表红宝石红宝石测头测头5/5/202422其他容栅数显百分表其他容栅数显百分表5/5/202423容栅数显千分表容栅数显千分表 可以显示可以显示1 m位位移量的千分表移量的千分表 千分表与百分表的千分表与百分表的本质区别在哪里？本质区别在哪里？5/5/202424容栅数显测高仪量程量程 750mm分辨率分辨率 0.001mm示值误差示值误差 0.0075mm示值重复性示值重复性 0.002mm(3)测量力测量力 13N 可调可调测量滑架的最大速度测量滑架的最大速度1 米米/秒秒 底座底座测测头头5/5/202425容栅数显测高仪容栅数显测高仪1.测力调节测力调节2.测头导轨测头导轨3.测头测头4.坐坐垫垫5.液晶屏显示液晶屏显示6.触摸开关触摸开关7.RS-232 输出输出8.打印机打印机9.驱动开关驱动开关10.气泵开关气泵开关11.电源线电源线 5/5/202426作业作业p201:p201:3 3、5 55/5/202427休休 息息 一一 下下5/5/202428