真空泵选型方法

真空泵选型方法选用真空泵时，需要注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空 度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数 量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-310-7mmHg，在这样 宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因而，泵的工作点 应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但 其工作压强应小于110-5mmHg为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵 组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的 真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前 级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、 溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、 挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道 气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进 气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气 排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取 防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，需要注意以下两个方面：尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的 区域内运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作 很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现 象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工 作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压 力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高 真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在一710mmHg以上，可选用水环一大气泵或水环一罗茨 真空机组作为抽真空装置。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽 速选择及抽气时间计算可参照我公司网页真空计算公式。面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型：代号主蓦待点根制直空度mmHg工作百立度抽速范剖nniri寄封形式MlWg迎国内设计学级水评真空鬲墉钩尚单，推停方髭 .回苛国肉主海的低直空来彝武巨空慕#-700-3006500.】S技。盘报、机枫穗打国肉设计裁级水环真空宛，福肯于荫合邻州.秆瓶 串联使用比粒革球环荥具有点至度高漫高真 空下抽废轮大的持点。国前国内主流木环我直空-735-300-7C0l.EO聋根、机秘茫斯采用函门亍光讲拉木，和兼明L结构紧稿裁 率旬 真室曝咨 性&翳定，将迷渐替伐邻- W5K毛歹M 4%廿/成11植谚的水祁再空系口-35-3Q0-lC0口，如乱33机林宿封迎1来用西门予先进技木，慧莘商苒空度高性能 静定，将逐帝替代苒留济刊抽速 的it环藏空系，-735顽旷-皿rw盘根.-640-300-600机旭密封:举与旃代苏底妆术，推率破.诚检大.即年代初已 彼阁疏，主要底朋于毛用尸。-64&*-700-300-550】MF皿S并代成底技术，兹卒饮琵ft大，W年代物已 愤淘法主荽直用节梯奇水，目前巳械邻察列-600-500-550L3寸。样宜很2SL宝要成用于水环屋蜻札揪火薜富屋强为。.域刑祖城安封2YK结构甚本与我岸列相瓯 可以用幽航质作为 工作液，粮眼夏生溪随被抽弁般前饱在慕三压而改变土我1P板眼真空虔为工忤角质为变隹都油时 的根眼直主度-755-300-7201.5*30机械室封真空泵一览表名称型号抽气速率L/s极限真空Pa配用功率 kW旋片真空 泵2X(Z)型旋片式真 空泵0.5706 10-20.555.5XD、X单级旋片真 空泵2.81502 10-20.3715X型单级旋片真空 泵301506411往复真空 泵W型往复真空泵323002000430556005.545罗茨真空 泵ZJ型罗茨真空泵3050005 10-20.75557030001.130滑阀真空 泵H型滑阀真空泵860011.155706007.5552H型滑阀真空泵81500.14152BE1、CBF水环式真空泵2450 m3/min3.3 1037.5710真空表读数与真空度(Pa)该如何换算?我们经常接到电话，一些用户询问，真空表读数所反映的究竟是多少Pa。能不能用直观的数字来显示？(1)真空表上“0”表示正一个大气压，“-0.1 ”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝2BE1型双级水环 式真空泵5320 ms/min11380液环真空泵2BV型水环式真 空泵0.38.3 ms/min0.81152SK型双级水环式真空泵0.430 ms/min3.5 1032.255S、SK型水环式真 空泵0.6725 m3/min(3.54)1031.555SK型水环式真空 泵0.4120 m3/min(815)1031.1185SZ、SK型水环式真空泵1.527 m3/min(514)1035.575SK、2YK型水环式真空泵5280 m3/min10422380FSK型水环式真空 泵39 m3/min(514)1037.522YL型液环式真空 泵525 m3/min9 10430132真空泵 机组JZJ型罗茨、旋片 真空泵机组301200(15) 10-21.326JZJ1型罗茨、旋 片真空泵机组701200(510)10-24.322.5JZJS型罗茨、水 环真空泵机组7060025650739.5JZJ1S型罗茨、水 环真空泵机组1506009.724.7JZJH型罗茨、滑 阀真空泵机组300120010-111.5262BW4型水环真空泵成套机组1095 m3/min10345185对值，只表示了真空度的相对值。真空度的换算；根据本表的刻度示值范围，真空度的绝对值与相对值可用下式换算：P=1X105(1-8/0.1) P -真空度的绝对值(Pa)8-真空表的刻度示值绝对值例一：表的示值为O,则P=1X105(1-O/0.1)=1X105 Pa = 1个大气压例二：表的示值为0.1,则P=1X105(1-0.1/0.1) = 0 Pa为绝对真空。(绝对真空是不存在的)例三：表的示值为 0.08，则 P=1X105 (1-0.08/0.1) = 2X104 Pa本产品的真空度指标值为V267Pa，表示本产品在267Pa(表面示值约为0.0997，接近于-0.1)时的低真空度状态下仍能保证正常工作。产品的真空度主要取决于配套真空泵的性能。真空度计量单位换算如下：0.1Mpa =1X105 Pa = 760mmHg = 1 个大气压1 乇=1mmHg = 133.33Pa2 乇=0.00026666Mpa 267Pa(2)真空表读数可以用直观的数字来显示。但价格比较昂贵，一般适用于科研单位。