真空炉及真空熔炼炉常用的真空计有哪些

真空炉及真空熔炼炉常用的真空计有哪些？真空测量是真空技术中的一个重要组成部分。用于测量真空度的仪 器称为真空计。真空炉及真空熔炼炉常用的真空计有：热偶真空计电离真空计等。它 们的工作原理如下：（一）热偶真空计热偶真空计由敏感元件、热偶规管和测量仪器组成。热偶规管与被测 真空系统相通，外壳为玻璃管，管内有加热丝和热偶丝。热偶丝的冷 端和热端温度不同时，由于温差效应，在回路中有热电势产生。如加 热丝电压保持恒定，则热偶丝的电势限决于加热丝的温度，而加热丝 的温度与被测气体的压强有关。压强低，气体热导率小，被气体带走 的热量少，加热丝温度升高，热偶丝的热电势增大；反之，则热电势 减少。回路中的热电势用毫伏表测量，表中的毫伏数即反映出真空度 的高低。为了保证加热丝的电压稳定，而接入了稳压电源。所以测量 仪器是由测量热电势的毫伏表和规管加热丝稳压电源两部分组成。（二）电离真空计这种真空计主要用于测量高真空度。在低压强气体中，气体分子被电 离生成的正离子数与气体压强成正比按照离产生的方法不同，利用热 阴极发射电子使气体电离的真空计叫热阴极电离真空计；其中，热阴 极电离真空计由热阴极规管和测量仪器组成。测量仪器由规管工作电 源、发射电流稳压器、离子流测量放大器等部分组成。热阴极电离规 管与被测真空系统相通。热阴极电离规管是一个三极管，管内有阴极、 栅及和收集极。收集极电位相对于阴极电负电位；栅极相对于阴极电 正电位。当电离规管通电加热后，阴极发射电子，在电子到达栅极的 过程中，与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电离现象。当发射电 流一定时，正离子数日与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集 后，经测量电路放大，可由批示电表读出所要测量的真空度（箱式炉）。（三）复合真空计通常，对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用 复合真空计，应用较多的是电离与热偶式复合真空计。它的测量范围 为 13.33-666.6x10-8Pa。热偶真空计测量（10-1-10-3）x133.32Pa 的低 真空；电离真空计测量133.32x10-3-666.6x10-8Pa的高真空。复合真 空计附有一个热偶规管、一个电离规管，分别接在真空系统上，通过 旋钮可分别给两个规管加热，并选择使用。