气路系统原理图(确定版本).ppt

2020/8/12,1,气路系统命名,朱丽 大会议室 20100125,2020/8/12,2,命名规则Gas Box,什么阀 第几路 第几个阀 字母 数字 数字 8路分别为： 1，2 ，3，4，5，6，7，8,2020/8/12,3,2020/8/12,4,2020/8/12,4,N2 30SLM,预留,预留,P,P,P,P,P,P,P,SiH4 2SLM,NF3 5SLM,Ar 15SLM,NH3 2SLM,N2O 2SLM,He 15SLM,N2 2SLM,P,预留,A,B,C,互锁,互锁,Gas Box系统原理,第三版,MV1,RV1,P1,F1,AV11,AV12,MFC1,PV1,MV2,MV3,MV5,MV4,MV6,MV7,MV8,RV2,RV3,RV4,RV5,RV6,RV7,RV8,PT2,P3,P4,P5,P6,P7,P8,F2,F6,F7,F8,F3,F4,F5,MFC2,MFC3,MFC4,MFC5,MFC6,MFC7,MFC8,AV21,AV22,AV51,AV61,AV71,AV81,AV31,AV41,AV32,AV42,AV52,AV62,AV72,AV82,PV3,PV6,2020/8/12,5,2020/8/12,6,PUMP,cleanroom,Gas Box,A,B,C,ABV,BBV,CBV,互锁,互锁,foreline,TV,GV,PUMP,N2回填,RC,RPS,BFV,Loadlock,LLV,LLBV,RCBV,LLAV,LLMFC,F,第二版,命名规则：位置 用途 什么阀,PG,RCAV,AFV,CFV,