ITO腐蚀分析报告

报告编号FX03-合 同 号FX044-0791总 页 数15页 分 析 报 告样品名称：LCD组件（手机显示）型号规格：10154 1082分析类别：委托分析委托单位：世成电子（深圳）有限公司 信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心 分 析 报 告 产 品 名 称LCD组件（手机显示组件）商 标 生 产 单 位南太电子世成公司型 号 规 格10154（彩色）1082（单色） 委 托 单 位南太电子世成公司分 析 类 别委托分析委托单位地址深圳市保安区西乡镇固戌工业村邮政编码518126联系人篮珂电话0755274958183840传真075527494013Emaillanke样品来源方式 委托单位送样收 样 日 期2004.05.10样品数量编号彩色1只：1；单色1只：2。样 品 描 述无外观异常。 分 析 时 间2004.05.102004.05.27 分 析 项 目ITO腐蚀点分析分析环境条件温度1535，湿度4575%RH，气压86106Kpa(通常大气条件) 分 析 依 据 GJB54896微电子器件试验方法和程序 方法5003。 FX01-JE2-5电子组件失效分析程序与方法。 分析 结 论1、2样品ITO发生腐蚀，1ITO腐蚀的主要过程是电化学腐蚀，2样品ITO腐蚀的主要过程是化学腐蚀；两种样品ITO腐蚀的根本原因是氯的存在。1、2样品均无钠存在，氯的存在不是工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD制造工艺或LCD清洗工艺的残留。以下空白 信息产业部电子第五研究所 元器件可靠性研究分析中心 附件 仪器设备清单 签 名主 检编 制审 查批 准 职务： 日 期 2004年 月 日 2004年 月 日 2004 年5月31日 2004年 月 日 1、 样品描述样品为手机显示组件，LCD上ITO发生腐蚀，分析腐蚀点腐蚀原因。2、 分析过程2.1、项目观察样品外观见图1。1（彩屏）样品腐蚀项目见图2，2样品（单色屏）见图3。图中可见： 1（彩屏）样品腐蚀有电化学腐蚀的特征1腐蚀点位于ACF与硅橡胶交接处的相邻的两条ITO上，腐蚀从两条ITO相邻边往外发展，具有电化学腐蚀的特征，见图2。 1样品腐蚀部位附近颜色异常 1样品腐蚀部位呈现银白色，腐蚀部位附近呈现乳白色，与离腐蚀部位较远的地方有明显的差别，见图2。 2（单色屏）样品腐蚀点具有化学腐蚀的特征2样品腐蚀发生在多条ITO上，腐蚀点的外围形成包围状图形，具有化学腐蚀的特征。 2（单色屏）样品腐蚀点有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征 2（单色屏）样品腐蚀部位有形成包围的特征，具有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征。2.2、腐蚀点成份分析1、2样品腐蚀点均位于两种材料的界面处，为了对腐蚀部位开展成份分析，必须将腐蚀部位完全暴露在最表面。制样中难以确保腐蚀产物暴露在最表面，因此，将腐蚀点上的ACF或硅橡胶去除干净：先用机械的方法，将ACF、硅橡胶刮除，再用有机溶剂擦除腐蚀点表面的ACF和硅橡胶，采用物理分析方法对腐蚀微区进行特征成份分析。本次分析采用二次离子质谱分析（SIMS）仪开展分析，SIMS分析图谱见图4图15，图16是2样品1个腐蚀点的氯的分布图形。从SIMS分析图谱可见： 1样品（彩屏）、2样品（单色屏）腐蚀点存在氯图4、图6、图10、图12是腐蚀部位SIMS分析的负离子图谱，可见，1样品、2样品腐蚀部位存在氯。 1样品（彩屏）、2样品（单色屏）腐蚀点无钠存在图5、图7、图11、图13是腐蚀部位SIMS分析的正离子图谱，可见，腐蚀部位无钠存在。证明氯不属于人体的汗水污染。 正常部位（无腐蚀部位）未见氯或氯含量远比腐蚀点低图8、图9、图14、图15分别是1、2样品ITO正常部位（无腐蚀部位）的SIMS分析图谱，可见，正常部位（无腐蚀部位）不含氯或氯的含量远比腐蚀部位低。3、综合分析腐蚀部位的形貌特征及成份特征可见：1样品腐蚀主要是电化学腐蚀，电化学腐蚀的主要原因是该部位存在氯，在水的情况下电离形成电解液，由于电场的存在，发生电化学腐蚀。腐蚀部位附近呈现乳白色，可能是ITO电化学腐蚀的产物。2样品的腐蚀主要是化学腐蚀，其腐蚀是由于氯和水(潮湿)对ITO作用的结果。1、2样品SIMS分析中，未见钠的存在，证明腐蚀部位氯不是来自组件工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD组件ITO工艺或LCD组件清洗工艺的残留。氯和水(潮湿)的存在是1、2样品化学腐蚀或电化学腐蚀的根本原因，氯在ITO的腐蚀过程中充当中间媒质，过程中氯不消耗，因此，一旦存在水汽，ITO的化学腐蚀或电化学腐蚀将不停断地进行。4、结论1、2样品ITO发生腐蚀，1ITO腐蚀的主要过程是电化学腐蚀，2样品ITO腐蚀的主要过程是化学腐蚀；两种样品ITO腐蚀的根本原因是氯的存在。1、2样品均无钠存在，氯的存在不是工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD制造工艺或LCD清洗工艺的残留。A 彩屏样品（1）外观B 单色屏样品（2）外观图1 样品外观（腐蚀位于箭头处ITO上）A 1 样品（彩屏）腐蚀点形貌B 1 样品（彩屏）腐蚀点放大形貌C 剥离ACF后，腐蚀点形貌图2 1样品（彩屏）腐蚀点处剥离ACF后的形貌A 2（单色）样品腐蚀点1形貌B 2（单色）样品腐蚀点1放大形貌C 2（单色）样品腐蚀点2形貌2（单色）样品腐蚀点2放大形貌图3 2（单色）样品腐蚀点形貌1# defect area point 11# defect area point 1图4 1（彩色）样品腐蚀点SIMS负离子图谱1图5 1（彩色）样品腐蚀点SIMS正离子图谱11# defect area point 21# defect area point 2图7 1（彩色）样品腐蚀点SIMS正离子图谱2图6 1（彩色）样品腐蚀点SIMS负离子图谱21# nomal area 1# ，nomal area 图8 1（彩色）样品无腐蚀处点SIMS负离子图谱图9 1（彩色）样品无腐蚀处点SIMS正离子图谱2#,defect area point 12#,defect area point 1图10 2（单色）样品腐蚀处点SIMS负离子图谱1图11 2（单色）样品腐蚀处点SIMS正离子图谱1图13 2（单色）样品腐蚀处点SIMS正离子图谱22#,defect area point 22#,defect area point 2图12 2（单色）样品腐蚀处点SIMS负离子图谱22#,nomal area 2#,nomal area图15 2（单色）样品无腐蚀处点SIMS负离子图谱图14 2（单色）样品无腐蚀处点SIMS负离子图谱图162（彩色）样品腐蚀点氯分布形貌注 意 事 项报告无分析单位公章无效。复制报告未重新加盖分析单位公章无效。报告无主检、编制、审核、批准人签字无效。报告涂改、自行增删无效。只对委托样品的分析结果负责,样品保存三个月。6 如对报告有异议可按申诉程序要求执行。信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心地 址： 广州市天河区东莞庄路110号通 讯 处： 广州市信箱分箱 邮政编码： 510610联系电话： (020) 87237173 87237161传 真： (020) 87237185投诉电话： (020) 87236036 （研究分析中心） (020) 87236789 （赛宝总部） email ： liujwebsite :