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ASM设备中几种常见马达介绍,陈廷劲 2014.10.06,前言：对马达 的认识,马达的称呼： 马达，电机，Motor 马达的作用： 运动的执行机构，把电能转化为机械能。 马达的分类： ？,目录,一）简要说明； 二）步进马达； 三）一般伺服马达； 四）线性伺服马达； 五）DC马达； 六）AD8912机台马达概况。,一.简要说明,ASM设备中常见马达分类： COB ASM主要设备： D B: AD898,AD8912,ISLinDA,COE139,IBE139; WB: Eagle60,Eagle Xtreme,LBE139,LTE139; H A: AD868,868LA2,868LA3。,二.步进马达,2.1 步进马达(Stepper Motor)机台上的应用: Sanyo Denki Stepping Motor是ASM设备中常用的步进马达,AD8912 Stepping Motors Output Elevator Y，Z Output Convey Input Elevator Y，Z Input Convey Wafer Table Theta Track Width Down Set Bond Anvil Dispense Anvil Dispense Window Clamp Bond Window Clamp,步进马达作一般电机用，精度一般,二.步进马达,2.2 步进马达(Stepper Motor)精度控制：,Elevator Input Kicker Motor,Workholder Down Set Motor,三.一般伺服马达,3.1 一般伺服马达(Servo Motor)在设备中应用： Tamagawa Denki Servo Motor是ASM设备中常用的一般伺服马达,AD8912 Bondhead Y,Z Epoxy Writer X,Y,Z Ejector Pin AD868 LA,LA2 Bondhead X,Z Pickhead X,Z,一般伺服马达： 1，精度非常高； 2，马达自带Encoder。,三.一般伺服马达,3.2 一般伺服马达(Servo Motor)精度控制： 一般伺服马达自带Encoder，与马达形成闭环系统，精度可达微米级。,四.线性伺服马达,4.1 线性伺服马达(Line Motor)在设备中的应用： 线性伺服马达在ASM设备中应用广泛。,四.线性伺服马达,4.2 线性伺服马达(Line Motor)基本结构： 线性伺服马达是一个组合体，由几大块组成。,四.线性伺服马达,4.3 线性伺服马达(Line Motor)精度： 以下DB AD898线性伺服马达一些基本情况。,五.DC马达,5.1 Tsukasa DC马达在ASM设备中的应用很多：,Elevator DA WB AD868,LA2,LA3 IBE139 LBE139,COE139部分传动马达 IBE139部分传动马达 LBE139部分传动马达,Tsukasa DC 马达,COE139,IBE139,LBE139,五.DC马达,5.2 DC马达性能特点：,DC马达特点 A,效率高，便于控制，在ASM Hipec系统中，与Solenoid归为一类； B,一般由Sensor或继电器控制其位移，也有的连接Encoder进行实行信息反馈。,COE139中的DC马达，标注DC/SOL,AD8912 DCM/SOL驱动箱线路图中，DCM与SOL归为一类,六.AD8912机台马达概况,参见AD8912马达分布报告：,
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