XPS分析及软件应用.ppt

X射线光电子能谱 （XPS）分析及软件应用,报告人： 汪 鹏,环境学院,1. XPS,X射线光电子能谱 （X-ray Photoelectron spectroscopy）：以一定能量的X射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，通过对光电子的能量分布进行检测，获取的电子能谱图。,获取信息： 电子结合能 （元素定性） 原子结合状态 （化学价态） 半定量分析 （峰面积比例）,技术特点： 样品用量少 （ 0.1g） 分析范围广（3-92号元素） 不需要预处理,XPS分析示意图,2. XPS数据分析,2.1 数据处理,在分析的所有元素中，选择C 1S,在284.6 ev附近找到最大的峰，将其标定为284.6 ev，对结合能进行修正,峰值,背景值,结合能,以O元素为例，将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中，保存,2.2 峰拟合,打开XPS Peak 软件，在XPS Peak Fit对话框中选择Data-Import （ASC ），输入上步骤保存的TXT文件,点击Background，弹出对话框，调整High/Low BE值，Type，然后Accept-Close,背景起止数值,背景类型 （Shirley，Linear，Tougaard）,加背景后,点击Add Peak，弹出对话框，调整Position （峰位置），点击Accept后对话框消失，选择 Optimise Region自动拟合，,峰位置,拟合后,拟合结果不满意，继续上一步骤（添加峰），点击Add Peak，弹出对话框，调整Position （峰位置），点击Accept，选择 Optimise Region自动拟合（可多次点击）,添加峰拟合后,添加峰拟合前,自动拟合结果不满意，那就自己动手吧！调整不同添加峰的Position （峰位置），FWHM（半峰宽），Area（峰面积）,切换不同的拟合峰,峰位置，、半峰宽和峰面积,拟合后的结果,选择存为xps文件,输出XPS文件,选择Data-Export （Spectrum），输出为dat文件，可用origin重新作图,2.3 半定量分析,通过查阅不同拟合峰的峰面积，算出其相应的比例，得到半定量分析结果,Thank you！,