PI设备PM相关介绍.ppt

,2012年1月4日,PI设备PM相关介绍,一、镜头的ZOOM马达注油,二、换灯,三、设备的开关机,目录,四、设备整体清洁,一、给镜头上的ZOOM马达导轨注油,1、先将Stage移到左边，露出Stage下方的导轨和线性马达。,7个扫描镜头,线性马达（具有磁性），其对面是光栅,防止stage异常滑出导轨装置,2、拆下盖子。,3、用油抢将油注入导轨上。,注油位置,4、左右旋转几下，使润滑油均匀分布到导轨上。,5、通过调节小轮底座与ZOOM马达之间的距离，可调节皮带的松紧。一般情况下，每次给ZOOM马达注油时都需检查皮带的松紧，皮带不可过松，也不能过紧，要保持适当的张紧度。,左右旋转几下,1,2,1,6、合上盖子，完成注油。,几点注意事项：1、stage上的位置sensor，镜头上的sensor等各种sensor最好都别触碰，以免使sensor失灵；2、stage上的线性马达具有强磁性，各种小螺丝要小心存放，避免被线性马达吸入其中而使线性马达损坏（如果有小的金属被吸入，一定要想办法取出来）；3、人在设备内部时，最好将设备显示器关闭，防止他人操作，而发生人身伤害。,二、换灯,1、先将如左图上的POWER开关关闭，再将如右图的POWER开关关闭。2、等2分钟左右，待内部风扇停止，拆下右图中两个光源发出装置上部的盖子。3、等30分钟待灯泡冷却下来后，进行灯泡更换。,注意事项：1、刚开始灯泡温度较高，注意有烫伤危险；2、换完灯泡后要将灯泡的Life清零（关闭主控制器的Power,再按白色的MODE按键切换到LAMPLIFETIME,最后同时按下UP与DOWN即可清零）；3、换完后要将镜头处射下的光调为白色（通过多次开关主控制器的Power），否则设备不能正常测试。,先关闭,后关闭,灯泡在盖子下面,三、设备的开关机,有时需对设备断电停机，要按一定的顺序关闭电源：1、先关闭设备的电脑主机；2、再关闭设备各个控制模块的电源；3、最后关闭设备的总电源。开机过程与上述顺序相反。,控制模块开关,设备总开关,四、设备整体清洁,1、设备的Stage上面一般不用无尘布清洁，容易将pin碰偏；用气枪由中间向边缘吹即可。,2、Stage下面的导轨基座可用无尘布沾酒精擦拭，而基座上的导轨以及各种导轨要用干的无尘布擦拭。,3、设备PM时，能擦得到的地方尽量都擦拭一下，以减少设备内部PT。,注意事项：,1、在擦拭时要注意设备内部的各个sensor，避免触碰、损坏；,2、各种镜头不能擦拭；,3、设备内部空间较小，作业时一定要小心谨慎。,ThankYou,