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关于关于 CLEAN ROOM 是区分洁净室的等级的基准。 以美联邦规格（FED-STD-209C）作为标准使用， 长、宽、高各为1Feet(30.48cm)体积内的空气中， 包含的一定大小以上的灰尘数。所谓CLEAN-CLASS?比比0.5大的大的灰尘会有几个灰尘会有几个呢？呢？?1FT=30.48cm1FT=30.48cm1FT=30.48cm CLEAN-ROOM 等级 划分GLASS 区区分分灰尘量灰尘量 最大最大 容许数容许数备注备注 1 0.5以上以上 1个个以下以下100 1 10 0.5以上以上 10个个以下以下101 10 100 0.5以上以上 100个个以下以下102 100 1，000 0.5以上以上 1，000个个以下以下103 1，000所谓灰尘（所谓灰尘（PARTICLE DUST）? 存在于空气或GAS、液体上的固体性物质。 比1 大的称为微粒子（DUST）， 比1 小的称为灰尘（PARTICLE）, 但我们出于便利，通用为灰尘（ PARTICLE ）。 作为我们管理对象的粒子的大小呢？作为我们管理对象的粒子的大小呢？0.5 粒子太小，用廓大镜粒子太小，用廓大镜都难看到都难看到 真是！真是！ 这可怎么找啊？这可怎么找啊？100 ？（0.5 ）烟雾烟雾 （1.0 ）微细微细Spray的的 最小粒子（最小粒子（1.0 ）头发头发 （100） 清洁管理 4大原则各位知道我们管理0.5的粒子的理由吗？那是因为，第一,对洁净室等级的规格是按照美联邦规格基准适用的评价基准，第二，灰尘（PARTICLE）测定方法中，光散射式记数法粒子基准在0.5的粒子的评价的信赖性最高 想必各位应该知道吧? 管理管理0.5的粒子的理由的粒子的理由? AIR-SHOWER 实际去除的实际去除的灰尘数灰尘数?灰尘灰尘直直径径没有进行风淋时没有进行风淋时经过风淋后经过风淋后风淋风淋+Ionizer0.3 571,000121,00035,0000.5 367,000 75,00026,000(实验值实验值)去除灰尘的比较去除灰尘的比较感应器(SENSOR)是为了AIR-SHOWER自动动作,感应人进入到风淋室的机能进入到风淋室的机能。预滤器(PRE-FILTER)是AIR-SHOWER动作中, 去除去除从人的身体或衣服上掉下来的大灰尘给大灰尘给 HEPA- FILTER影响的机能。影响的机能。进入进入AIR-SHOWER 时时,要在有要在有SENSOR地方等待地方等待HEPA-FILTER的寿命在于对的寿命在于对PRE-FILTER的管理的管理 HEPA-FILTER的寿命在于PRE-FILTER的管理 预滤器（预滤器（PRE-FILTER）的清扫方法？）的清扫方法？第一第一.每周清扫一次每周清扫一次. 清扫用清扫用真空清扫器去除真空清扫器去除FILTER上沾上的灰尘上沾上的灰尘.第二第二.隔周清扫（隔周清扫（2周周1次）次） 中性洗涤（中性洗涤（5）与水（）与水（95）混合）混合后，后， 将将FILTER浸泡在里面，左右浸泡在里面，左右10次、上下次、上下10次次 晃动之后，晃动之后，在纯水中清洗在纯水中清洗， 最后在通风良好的地方最后在通风良好的地方干燥干燥，清扫，清扫 即即OK! AIR-SHOWER(风淋风淋)的机能简的机能简述的话述的话！ AIR-SHOWER的目的的目的.！ AIR-SHOWER去除去除出入洁净室人出入洁净室人的衣服上的衣服上 或身上或身上附着的灰尘附着的灰尘 形成形成洁净室的洁净室的 AIR LOCK.(AIR-LOCK)？设置出入口两扇门，设置出入口两扇门，不让两扇门同时开起，不让两扇门同时开起，来切断空气的机能来切断空气的机能. 在AIR-SHOWER去除灰尘的效率.？灰尘大小灰尘大小 5 以下以下520205050以上以上去除效率去除效率80859095AIR-SHOWE?将清净化的强风对人进行吹袭，来去除将清净化的强风对人进行吹袭，来去除人身上或衣服上附着的灰尘的洁净室的人身上或衣服上附着的灰尘的洁净室的辅助设备。辅助设备。风力一般为风力一般为20M/Sec(初速初速20M),接近于接近于B级型台风的风速。级型台风的风速。从HEPA-FILTER出来的Air supply的风速 给气流带来怎样的影响?风速与气流的关系? HEPA-FILTER （高效微粒空气过滤器）风速差异多发生情况（高效微粒空气过滤器）风速差异多发生情况如上图中，产生向风速弱的地方倾斜倾斜的倾向.这样的现象称为偏流现象偏流现象。风速风速: 1.0M/S风速风速: 0.7M/SDEAD ZONE HEPA-FILTER（高效微粒空气过滤器）风速低的情况时（高效微粒空气过滤器）风速低的情况时如上图中，因风速弱，空气向两个壁面的通风口漏出去.因此DEAD ZONE的空间将变宽。风速风速: 0.3M/S风速风速: 0.3M/SDEAD ZONEDEAD ZONEDEAD ZONE HEPA-FILTER （高效微粒空气过滤器）风速高的情况时（高效微粒空气过滤器）风速高的情况时如上图中，风速冲击到洁净室地面或生产设备洁净室地面或生产设备产生逆流上升的现象逆流上升的现象。洁净室地面以及设备上的异物（灰尘）与气流一同飞散污染洁净室中央污染洁净室中央。另外严重发生涡流现象。涡流现象。风速风速: 1.5M/S风速风速: 1.5M/SDEAD ZONEDEAD ZONE有关风速与气流有关风速与气流器具的风速差异大时，器具的风速差异大时， 产生偏流现象，产生偏流现象， 风速快时，有涡流现象，风速快时，有涡流现象， 风速慢时，污染地方多。风速慢时，污染地方多。 太有难度了太有难度了！ 风速与气流有怎样的关系？风速与气流有怎样的关系？从洁净室地面测定的风速要从洁净室地面测定的风速要 选定为选定为0.1M/S20% 程度。程度。洁净室内通风口的风速，在洁净室内通风口的风速，在选定的值的基础上调整选定的值的基础上调整 20% 范围。范围。0.120 怎样选定风速最好呢？怎样选定风速最好呢？ 选定恰当风速的洁净室的选定恰当风速的洁净室的高度别灰尘量是什么程度的？高度别灰尘量是什么程度的？2M1M 序号越低序号越低,灰尘量越少。灰尘量越少。
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