扩散操作规程讲解课件

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,扩散操作屏作,扩散操作屏作,1,磷扩散工艺过程,清洗,扩散,饱和,关源,退舟,回温,装片,卸片,送片,方块电阻测量,磷扩散工艺过程,2,清洗,初次扩散前,扩散炉石英管首先连接TCA,装置,当炉温升至设定温度,以设定流量,通TCA6h清洗石英管。做ICA前先要确认管,路的正确,清洗开始时,若在手动状态下要先开O,再开TCA;清洗结束后,先关TCA,再关,清洗结束后,进行饱和,待扩散,清洗,3,饱和,每班生产前或长时间不生产时,须对石英,管进行饱和。,炉温升至设定温度时,以设定流量通小N,(携源)和O2,使石英管饱和,约60分钟,后,关闭小N和O2。,初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产,时,需使石英管在1050通CA2小时后通,源饱和1小时以上。(2+1),饱和,4,装片,戴好防护口罩和干净的乳胶手套,将清洗,甩干的硅片从传递窗口取出,放在净化装,片台上,用石英吸笔依次将硅片从硅片盒中取出,插入石英舟。,每一槽装2片,若发现硅片表面脏将干净的,面做扩散面,装片,5,送片,用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂,浆上,保证平稳,缓缓推入扩散炉,注意不要把扩散和钝化的石英制品混用,送片,6,回温,打开适当的工艺号进行扩散,石英浆暴露,在空气中的时间尽量短。,回温,7,扩散,注意监视屏幕上的气体流量图,发现异常第,时间通知相关人员处理,扩散,8,关源,退舟,扩散结束后,计算机自动关闭小N2和O2,将石英舟缓缓退至炉口,降温以后,用舟,叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的,石英舟,进行下一轮扩散,如没有待扩散的硅片,将臂浆推入扩散炉,尽量缩短臂桨暴露在暴露在空气中的时间。,关源,退舟,9,卸片,等待硅片冷却后,用石英吸笔均匀的取5片,进行方块电阻的测试,将合格的硅片从石英舟上卸下并放置在硅,片盒中,放入传递窗,将返工的硅片单独放置下班后一起交清洗,间处理.,卸片,10,扩散操作规程讲解课件,11,扩散操作规程讲解课件,12,扩散操作规程讲解课件,13,扩散操作规程讲解课件,14,扩散操作规程讲解课件,15,扩散操作规程讲解课件,16,扩散操作规程讲解课件,17,扩散操作规程讲解课件,18,扩散操作规程讲解课件,19,扩散操作规程讲解课件,20,扩散操作规程讲解课件,21,扩散操作规程讲解课件,22,扩散操作规程讲解课件,23,扩散操作规程讲解课件,24,扩散操作规程讲解课件,25,扩散操作规程讲解课件,26,扩散操作规程讲解课件,27,扩散操作规程讲解课件,28,扩散操作规程讲解课件,29,扩散操作规程讲解课件,30,扩散操作规程讲解课件,31,扩散操作规程讲解课件,32,扩散操作规程讲解课件,33,扩散操作规程讲解课件,34,扩散操作规程讲解课件,35,扩散操作规程讲解课件,36,扩散操作规程讲解课件,37,扩散操作规程讲解课件,38,扩散操作规程讲解课件,39,扩散操作规程讲解课件,40,扩散操作规程讲解课件,41,扩散操作规程讲解课件,42,扩散操作规程讲解课件,43,