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Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,11/7/2009,#,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,绝对精度滤芯在半导体中的应用,第一页，共22页。,绝对精度折叠滤芯介绍,半导体哪些地方用到绝对精度,竞争分析和推广话术,CONTENT,第二页，共22页。,何谓绝对精度,Absolute rating,Meaning that 99.9%,（,or essentially all,）,of the particles larger than a specific micro rating will be trapped on or with in the filter.,Why use absolute rating,Provide the ultimate in economical filtration for even the most critical process fluids.,第三页，共22页。,绝对精度的表征,第四页，共22页。,PolyPure-AB,绝对精度,日本进口,Nano,纤维材料,纳米级纤维直径,99.9%,原料截留效率,纤维交织没有死结点,原料特性,不含硅油检测,所有膜和配件通过检测,硅油,SGS,检测,自主滤效检测,滤芯焊接完整性检测膜片颗粒截留检测,液体滤效,第五页，共22页。,第六页，共22页。,第七页，共22页。,半导体哪些地方用到绝对精度,绝对精度折叠滤芯介绍,竞争分析和推广话术,CONTENT,第八页，共22页。,WET,湿法清洗,应用点详解,ITO Etching (,草酸系或盐酸系）,PHT,显影制程,第九页，共22页。,ITO Etching,蚀刻：,蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击技术而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻，在湿蚀刻中使用化学溶液，经由化学反应达到蚀刻的目的，而干蚀刻通常是一种等离子体蚀刻，其作用是等离子体撞击芯片表面的物理作用，或者是等离子体活性基与芯片表面原子间的化学反应。,随着集成电路中组件尺寸越做越小，由于化学反应没有方向性，而湿蚀刻是等向性的，当蚀刻溶液做纵向蚀刻时，侧向蚀刻同时发生，从而导致图案线宽失真，因此湿蚀刻在,3,微米以下组件的制程中已逐渐被干蚀刻取代。,第十页，共22页。,草酸系,VS,盐酸系,ITO,规格的不同，蚀刻液的选择和浓度配比都不同,ITO,是,Indium Tin Oxides,的缩写，,纳米级铟锡金属氧化物,，有良好的导电性，有效切断电子辐射,非晶系：草酸系（,3.4%,）经典配方,晶系：盐酸系（,FeCl+HCl,或者王水）,3.4%,的草酸属于弱酸，可以用,PP,材质预过滤,PP,材料无法耐受强酸，建议使用,PTFE,或,PVDF,第十一页，共22页。,PHT,第十二页，共22页。,PHT,碱性溶液适用于,PP,材质过滤，,PP,材料耐热性高，耐碱,pH,范围广,第十三页，共22页。,RCA,清洗法,=,+,WET,稀释化学法,+,IMEC,清洗法,+,单晶片清洗,湿法清洗,采用液体化学溶剂和,DI,水氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染,依靠溶剂、酸、表面活性剂和水在不破坏晶元表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化和溶解晶元表面污染物。在每次使用化学品后都要在超纯水中彻底清洗,在,RCA,清洗的基础上，对,SC1,，,SC2,混合物采用稀释化学法可以大量节约化学品和,DI,水的消耗量。并且,SC2,混合物中的,H,2,O,2,可以完全去除,科普：,SC1,：,APM,称为,SC1,清洗液，配方为：,SC2,：,HPM,称为,SC2,清洗液，配方为：,HCL:H,2,O,2,：,H,2,O=1,：,1,：,61,：,2,：,7,第一步生成薄层化学氧化物；第二步去除氧化物，同时去除颗粒和金属污染物；第三步在沉积了金属氧化物的硅表面产生亲水性，防止干燥出现水印,大直径晶片的清洗，清洗过程采用,DI,水及,HF,的循环再利用,第十四页，共22页。,由于集成电路内个元件及连线相当细微，因此制造过程中如果遭到尘粒、金属的污染，很容易造成晶片内电路功能的损坏，形成短路或断路等，导致集成电路失效以及影响几何特征的形成。因此在制作过程中除了要排出外界的污染源外，集成电路制造步骤如高温扩散、离子植入前均需要进行清洗工作。所以半导体制造清洗效果的好坏，较大程度的影响芯片制程及电路特性等质量问题。清洗液使用的各种化学品处理不当就会严重污染环境，清洗次数繁多消耗大量的化学品和,DI,水，面对更细，集成度更高的制程，对化学品以及清洗液的纯度要求也越来越高，超纯化学品的需求越发广泛。,清洗制程总结,第十五页，共22页。,竞争分析和推广话术,绝对精度折叠滤芯介绍,半导体哪些地方用到绝对精度,CONTENT,第十六页，共22页。,PolyPure-AB,竞争分析表,第十七页，共22页。,PolyPure-AB,竞争分析表,第十八页，共22页。,流量对比,第十九页，共22页。,效率对比,第二十页，共22页。,销售话术总结,Absolute ratings for consistent and reliable performance(99.98%;=5000),2.Abso-Mate catridges are non-fiber releasing and contain minimal extractables,3.All materials of construction are FDA listed as acceptable for potable and edible liquid contact according to CFR Title 21,4.All-polypropylene construction offers wide chemical compatibility with most chemicals,acids,bases and solvents,5.Absolute cartridges are produced withoutadhesives that can ptoentially contaminate fluids.,6.+.,第二十一页，共22页。,THANKS,G O O D B Y E,迈博瑞生物膜技术南通,第二十二页，共22页。,
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