ESD基础知识培训教材-OFILM201304

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,#,1,ESD Basic Knowledge Training,ESD,防护基础知识培训,欧菲光科技股份有限公司,随着,IT,业的突飞猛进,特别是电子信息化和微电子迅速发展,.,元件线路越来越精细,功耗越来越低,.,精细和低功耗的微结构对,ESD,承受力越来越差,对工艺控制提出新的要求,.,前言,1206,0805,0603,0402,0201,第一章 静电的定义和产生途径,?,第三章,EPA,区域基本要求。,第四章 个人防静电装备检测方法。,第五章 异常处理和报告流程。,第二章,ESD,定义和,ESD,的危害。,课程大纲：,4,静电的定义,能长时间停留在某一对象上相对静止的电荷,特点：,单极性,-,正电荷或负电荷,分布不均匀。通常边角静电更大,5,5,静电产生的第一种途径,:,摩擦带电,+4,-4,Net=0,+3,-3,Net=0,+4,-3,Net=+1,+3,-4,Net=-1,摩擦带电产生原理,:,接触摩擦,接触分离,6,静电产生的第二种途径,:,接触带电,接触带电过程,接触带电特点,:,-,带电绝缘体仅能小面积释放电荷,-,带电导体能释放大量的电荷给另一 个导体,带电绝缘体,未接地导体,7,静电产生的第三种途径,:,感应带电,-,发生于带电体接近导体时,:,-,带电的物体,(,如绝缘物体或,CRT,显示器,),吸引导体中的电子,-,导体内的局部电荷分布不均匀,8,ESD,定义,ESD(Electrostatic Discharge-,静电放电,),它指的是静电电荷在两个不同电势物体上快速转移的现象,.,静电电荷快速转移到另一对象上,.,9,静电放电三种模型,:,人体放电模型,-HBM,机器模型,-MM,带电器件模型,-CDM,说明：类似于人体指尖对器件放电，放电路径从人体到敏感器件,说明：模拟设备金属部分带电后对敏感器件放电，由于放电电阻要比人体模型小许多，因此破坏性更大,说明：由于器件本身带电，在接触低电势时，器件内电荷快速转移到接触面,0.067:1.75:0.9,10,60 75%,EOS/ESD,其他,30 50%,EOS/ESD,8 33%,ESD alone,损失是巨大的！,欧洲调查数据,其他,其他,美国,ESD,协会调查数据,日本调查数据,ESD,对电子业造成的损失,11,ESD,损伤类型,:,1.,完全损坏,:,元器件功能完全失效,介质层被击穿,.,引脚电阻呈现短路或开路,电磁质性能反转,.,2.,局部损坏,(,也称潜在损伤,):,电性能参数弱化,介质层局部被破坏,.,元件多数在老化工序或用户使用一段时间后失效,.,12,局部损坏,的风险会逐级放大,价值,$5,元器件在,IC,厂发生,ESD,局部损坏，由于元器件只是局部,ESD,损伤,在后续工序检测中不易发现，被组装到一台设备中导致故障损失可能是,$5000,13,导入,ESD,防护的效益,:,3.,满足客户要求,提高市场分额。,1.,提高产品的质量,降低不良率,.,2.,保证产品的可靠性,.,14,EPA,区域基本要求,IQC,Inspect,Manufacture,Process,ESDSWarehouse,OQC,Inspect,在静电敏感元器件的检查,存储和制造过程设置静电防护区域（,EPA,）并进行标示识别,.,15,EPA,区域应在入口地方或,EPA,区域明显地方张贴悬挂,ESD,警示标示和,ESD,防护区域标示,16,1.,人员,进入,EPA,区域前，应在入口处检测手腕带或鞋人体综合电阻，检测合格后再进入。,17,2.,上班,前点检工作区域的接地连接，,坐着,作业前需使用手腕带与接地系统连接。,18,3.,配备,离子风机工位应检查离子风机正常开启，并对准产品或作业区域。,19,4.,所有,不必要的绝缘物品如饮料杯，食品包装袋及个人物品应该从,EPA,工作台清除。,20,5.,必要的辅料，,物品划定一个区域定位存放，与静电敏感器件保持,30cm,以上距离。,记录表放置区,辅料放置区,作业区,21,6.EPA,工具，治具等绝缘塑料外壳应定期使用静电喷涂液喷涂，做消静电处理。,22,7.,静电,敏感器件应避免杂乱堆放或直接放在金属,台面或纸板上，,应使用防静电托盘定量定位存放。,23,8.,静电,敏感器件没有防静电材料覆盖或屏蔽包装的，需在,EPA,区域内作业或存放，在非,EPA,作业区域禁止随意取拿。,24,9.,工序,负责人按要求定时点检环境温湿度并记录，绘制温湿度走势图，异常及时通知相关人员调整。,25,10.,工作人员,进入,EPA,区域前需接受,ESD,防护知识培训，没有经过培训需进入,EPA,的人员，要求由受培训过的人员陪同。,26,个人防静电装备检测方法,Step1:,穿防静电鞋，佩戴手腕带,Step2:,人站在脚印踏板上，手腕带插入测试仪器插孔,Step3:,手按测试按钮金属板，观察左侧三个指示灯亮绿灯即测试,“Pass”,27,人员静电防护装置佩戴,测试,进入静电防护区域,静电防护区域,设施定期检查,ESD,得到控制,改善处理,Pass,NG,Pass,NG,异常处理和报告流程,不符合要求的请及时纠正或汇报上级处理,28,Thank You!,Q&A,