《CTPECVD培训》PPT课件

,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,*,*,*,0,To Power Our Future,PECVD,岗位培训教材,电池设备部,上饶晶科光电高科技有限公司,*,1,参数的影响,工艺文件名,型号,沉积时间,用途,5sin900.PRZ,125,单晶,900s,生产,5sinvar.prz,125,单晶,运行时输入 （默认,900,秒）,工艺调试,/,生产,5multi.prz,125,多晶,720,秒,生产,5multiv.prz,125,多晶,运行时输入（默认,720,秒）,生产工艺调试,6sin900.PRZ,156,单晶,900,秒,生产,6SINVAR.PRZ,156,单晶,运行时输入（默认,900,秒）,生产工艺调试,6multi.prz,150,、,156,多晶,720,秒,生产,6multiv.prz,150,、,156,多晶,运行时输入 （默认,720,秒）,生产工艺调试,*,2,沉积时间的不同膜厚也是 不一样的要根据镀膜的颜色来,适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积,时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的,确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印,镀膜不良，应及时挑出做返工处理。,参数的影响,*,3,Handing,界面的介绍,Arm,的位置（,Paddle,，,Middle,storage,）其余显示均为错误,桨的信息：,free,无舟,occupied,有舟,机械臂上石墨舟的感应器,empty,：无舟,occupied,有舟,石英管信息显示,ready,：准备状态,not ready,：运行状态,机械臂运行状态,free,：运行,lock,：锁定,显示存储架的存储信息,机械臂目前所的位置,PECVD,岗位基本操作及注意事项,*,4,BOAT,信息设置方法介绍,BOAT,信息的设置将直接影响机械臂的自动运,行是否正常。,舟号：点击过后可对,BOAT,信息设置,运行状态,桨号,管号,工艺号,PECVD,岗位基本操作及注意事项,*,5,设定实际信息，选择此项后可对信息进行修改,或重新设定。点击取消,后，才可选择,下面一项。,删除此舟的信息,点击进入下一步,PECVD,岗位基本操作及注意事项,*,8,工艺号选项,选择当前需要进行的或者已经,在进行的工艺号,后面,Recipe error,前面若是有红色,X,请点击后取消它,输入操作人员的姓名拼音首写字母,按下,Finish,键后完成所有设定,PECVD,岗位基本操作及注意事项,*,9,如果出现下列的信息,就表明你设定的信息,系统可以接受,但是你必须对你所设定的信息,再次进行确认,如果不能显示此信息,就说明,你设定的是错误的,系统将会自动跳转到你,设定错误的那一步,要求你重新进行设定。,完全确认后，点击,“,ok,”,后设定结束，返回,主界面。,PECVD,岗位基本操作及注意事项,*,10,特殊情况下如何进行手动关门,在特殊情况下有时候为了需要必须,手动关闭炉门,（,1,）检查所有管子都处于等待状态,（,2,）将压缩空气总阀关闭,PECVD,岗位基本操作及注意事项,*,11,3,）打开门，将此炉门气动阀上的两个气管拔下，上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧，防止压力阀开启后漏气。,调节阀,气管,PECVD,岗位基本操作及注意事项,*,12,PECVD,工艺流程,1.processing started,工艺开始,2.fill tube with N2,充氮,-,达到大气压的标准值，机器后面的压力并能准确测,试，得到进舟信号以后炉门才会开启,3.loading boat (paddle in upper position),进舟,-SLS,显示桨位于高位，,若此时桨位于低位，进舟将会失败，舟有撞击到石英管的可能性。,4.paddle moves downwards,桨降至低位,5.move out paddle-lower position,桨在低位退出，此时应注意石墨电极有,可能会桨带出，关炉门时会损毁石墨电极,6.evacuate tube and pressure test,管内抽真空，并进行管内压力测试,-,（空气接触到硅烷会发生爆炸）,7.plasma preclean and check with NH3,通过高频电源用氨气预清理和检查,.,8.purge cycle 1,清洗管路（,1,）,9.leaktest,测漏,*,13,10.wait until all zones are on min.temperature,恒温,11.ammonia plasma preclean,通过高频电源用氨气清理,12.deposition,镀膜,13.end of depposition,结束镀膜,14.evacuate tube and pressure test,抽真空及测试压力,15.purge cycle1,清洗管路（,1,）,-,将特气管内的剩余硅烷和氨气抽走，防止与空气接触发生爆炸,16.fill tube with N2,充氮（同第二步）,17.move in paddle-lower position,桨在低位进入炉内,18.SLS moving to upper positionSLS,移至高位,PECVD,工艺流程,*,14,19.unloading boat,退舟,20.end of process,结束工艺,PECVD,操作注意事项（下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏）,1.SLS,处于,“UP”,位置时，管内有舟时不可手动进桨。,2.SLS,处于,“Down”,位置时，桨上有舟时不得手动进舟。,3.,桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。,4.,进舟，退舟失败报警时，一定要检查舟的位置是否在合理的位置，才可以对报警进行复位。自动,/,手动的切换要谨慎。若舟不在正确位置，,请手动移动到正确的位置后再对报警进行复位（炉门是以桨的位置作为开闭的标准）。图（,4,）（,5,）,PECVD,工艺流程,*,15,5.,舟位于存储架（,storage2,，,storage3,）时，一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。图（,2,）（,3,），否则有可能导致撞舟。,6.,清理碎片时要注意热探针（两根玻璃棒）清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。图（,6,）,7.,从手动切换到自动状态时，机械臂一定要在,Middle,位置，否则机械臂有可能无法正常运行而报警。图（,7,）,8.,进退舟时，小车不得混用，并且务必确认小车有无被缩定。,9.,进舟后，工艺无法正常运行时，先确认舟在桨上的位置，以及,Tube=ready,，,SLS=up,，,TGA=yes,，然后进行其他操作,10.,小车被锁定后，不得转动石墨电极的方向。图（,7,）否则石墨电极会撞到桨或者机械臂,11.,石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错，否则有可能撞坏高频的两根电极。,PECVD,工艺流程,*,16,真空管,炉管,压力,手动开门步骤,10000,最大最小值,*,17,气体,氮气,气体阀,Open/Close,打开,/,关闭,Open/Close,*,18,舟,位置,设置点,进舟,/,开门,2082/10,手动开门步骤,*,19,1,、,Manual Tab Vacuum Tube Pressure,手动,切换,真空管,炉管,压力,Mininum,最小值,2,、,Manual Gas N2NO Valve Open,手动 气体 氮气 气体阀 打开,3,、,Manual Gas N2NO Valve Close,手动 气体 氮气 气体阀 关闭,手动开门步骤,*,20,4,、,Manual Boat Position Setpoint,输入,10,手动 舟 位置 设置点,手动开门步骤,