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按一下以編輯母片標題樣式,按一下以編輯母片文字樣式,第二層,第三層,第四層,第五層,CC Q90,#,COMPEQ,SPC執行辦法訓練教材,1,經由制,程,程管制,系,系統的,執,執行,,可,可隨時,監,監控制,程,程是否,穩,穩定,,并,并經由,統,統計手,法,法的活,用,用,降,低,低制程,中,中的變,異,異,提,升,升制程,能,能力,目的,2,CCQ90,相關定,義,義,1.SPC,為,為Statistic ProcessControl之,縮,縮寫,,統,統計制,程,程管制,2.CaCapabilityofAccuracy,,,,準,確,確度或,正,正確度,,,,用以,衡,衡,量制程,平,平均值,與,與規格,中,中心值,偏,偏差的,程,程度,,評,評價等,級,級,Ca越,小,小越好,。,。,3.CpCapability of Precision,,精,精密度,,,,用以,衡,衡量制,程,程標準,差與規,格,格公差,比,比之程,度,度,即,制,制程符,合,合規格,之,之能力,,,,,評價等,級,級,Cp越大,越,越好。,4.Cpk,綜合,能,能力指,標,標,用,以,以衡量,制,制程之,實,實際積,效,效,評,價,價等,級,Cpk越,大,大越好,。,。,3,CCQ90,相關定,義,義,5.RFC,:,:Response FlowChecklist,回,應,應流程,查,查檢表,用以使,不,不穩定,的,的制程,回,回復成,穩,穩定狀,態,態的工,具,具,當制程,管,管制處,于,于不穩,定,定狀態,時,時,透,過,過一系,列,列,的診斷,確,確認程,序,序,以,判,判定制,程,程不穩,定,定的原,因,因,并對每,個,個可能,原,原因,,列,列出解,決,決對策,,,,最後,驗,驗,證原因,已,已確實,解,解決,,制,制程已,回,回復至,穩,穩定狀,態,態。,4,CCQ90,相關定,義,義,6.Station Monitor,用以監,控,控制程,狀,狀態的,工,工具。Station,monitor之管制,特,特性不,受,受產品,種,種類、,規,規格的,影,影響,完全反,映,映制程,的,的品質,,,,制程,中,中Station monitor範圍,主要為,制,制程之Output,;,;如S/M濕種,,氧,氧化線weight,gain。,7.In-line monitor,則為一,個,個製程,的,的Input參數。,如,如:SPS之濃度,、,、溫度,、,、Cu2,+,+含量,等,等屬於In-line Monitor,,,,是目前PCS監控範,圍,圍。,5,CCQ90,作業流,程,程圖,作業流,程,程圖見,附,附件流,程,程圖,6,CCQ90,內容說,明,明,1.制,程,程StationMonitor項目,的,的變更,1-1,新,新增,工程單,位,位依下,列,列原則,考,考慮建,立,立管制,項,項目,,經,經核准,後,後實施,(1),工,工程理,論,論上探,討,討認為,需,需要建,立,立管制,項,項目者,(2),重,重要參,數,數未被,列,列入控,制,制者,(3),經,經常發,生,生品質,問,問題之,項,項目,(4),客,客戶特,別,別要求,之,之項目,(5),新,新制程,之,之重要,控,控制參,數,數,新增項,目,目由工,程,程單位,提,提出“Station Monitor新增申,請,請說明,表,表”同,時修改,“,“制程Station Monitor項目匯,整,整表“,,,,并提,出,出新管,制,制項目,的”管,制,制圖履,歷,歷表“,。,。,7,CCQ90,內容說,明,明,1-2,刪,刪除,各制程,管,管制項,目,目欲刪,除,除,應,考,考慮下,列,列幾項,(1),是,是否是,因,因無此,產,產品而,刪,刪除相,關,關之管,制,制項目,若,若確定,已無生,產,產此種,產,產品則,可,可刪除,相,相關之,管,管制項,目,目。,(2),此,此項管,制,制項目,是,是否屬,于,于可靠,度,度Monitor,,原,原則上,可,可,靠度Monitor,不,不應刪,除,除。,(3),此,此項管,制,制項目,若,若過去,三,三個月,有,有超過,管,管制界,限,限或規,格界限,之,之情形,,,,則不,應,應刪除,此,此項管,制,制項目,。,。,(4),過,過去3,個,個月計,算,算Cpk值均,應,應大于1.33,此,項,項管制,項,項目,可考慮,刪,刪除。,(5),若,若該制,程,程或下,制,制程有,其,其它管,制,制項目,可,可達相,同,同監控,目的者,,,,可考,慮,慮刪除,8,CCQ90,內容說,明,明,1-2,刪,刪除,(6),原,原則上,,,,制程Output,之,之管制,項,項目不,應,應刪除,。,。,決定刪,除,除之管,制,制項目,,,,應由,現,現場單,位,位填具,”,”製,程,程管制,項,項目變,更,更申請,單,單”,說,說明刪,除,除項目,及,及理由,,,,並檢,附,附相關,資,資料,,經,經部門,主,主管審,核,核,並,由,由J00PE以工程,理,理論說,明,明並判,斷,斷是否,可,可刪除,,,,再經,工,工程、,品,品保單,位,位會簽,,,,Q00核准後,刪,刪除該,管,管制項,目,目。J00PE應同時,更,更新相,關,關POR,、,、SOP及製,程,程Station Monitor項目彙,整,整表或,產品Station Monitor項目彙,整,整表,。,。,9,CCQ90,內容說,明,明,1-3,加,加嚴,當在管,制,制圖上,連,連續5,點,點(批,),)中有2點(,批,批)超,出,出管制,界,界線者,,,,應於QIS發出通,知,知後,,加,加嚴(,頻,頻率增,加,加或抽,樣,樣量增,加,加)檢,驗,驗;由J00提出,管,管制項,目,目變更,申,申請單,並以,工,工程理,論,論上判,斷,斷是否,有,有加嚴,之,之需求,,,,若認,定,定有加,嚴,嚴之需,求,求,則,需,需修改,該,該項之,管制,圖,圖履歷,表,表。,10,CCQ90,內容說,明,明,1-4,減,減量,每月月,初,初QIS檢討前30點,資,資料,,並,並發出,彙,彙整之,月,月報表,,,,若沒,有,有超出,管,管制界,線,線的情,形,形,且Cpk1.33,可由PD發起進,行,行進一,步,步之減,量,量分析,,,,並由,現,現場提,出,出管,制,制項目,變,變更申,請,請單,。,。各製,程,程管制,項,項目欲,減,減少抽,樣,樣量或,抽,抽樣頻,率,率時,,應,應考慮,下,下列事,項,項過去3個月,是,是否有,超,超出管,制,制界線,之,之情形,,,,若有,此,此情形,則,則不適,宜,宜減量,。,。,11,CCQ90,內容說,明,明,2.制,程,程加嚴,減,減量程,序,序實施,原,原則,對制程,加,加嚴減,量,量之原,則,則如下,,,,在變,更,更同時,應,應由相,關,關單,位提出,管,管制項,目,目變更,申,申請單,及,及修改,管,管制圖,履,履歷表,。,。,加嚴,1次/4hr1次/1,班,班1次/1天1次/1週1次/2週,減量,當管制,頻,頻率為,每,每批低,于,于4小,時,時即執,行,行一次,取,取樣,,則,則不執,行,行加嚴,程,程序,,當,當發現,有,有超出,規,規格界,限,限之情,形,形,應,依,依異常,處,處理相,關,關規範,處,處理,,當,當發現,有,有超出,管,管制界,限,限之情,形,形,則,有,有現場,填,填據管,制,制圖異,常,常回復,單,單,12,CCQ90,內容說,明,明,3.管,制,制圖履,歷,歷表中,抽,抽樣頻,率,率即數,量,量之決,定,定,(1),依,依重要,藥,藥液分,析,析頻率,(2),依,依重要,藥,藥液換,槽,槽頻率,(3),依,依客戶,要,要求,(4),依,依品質,重,重要程,度,度,(5),依,依管理,要,要求,(6),依,依制程,能,能力優,劣,劣(變,異,異大者,抽,抽樣頻,率,率大于,變,變異小,者,者),(7),依,依相關,單,單位決,議,議,原則上,,,,若該,制,制程由,不,不同機,型,型之機,台,台,則,每,每一機,型,型都要,有,有一張,管,管制圖,,,,不能,以,以一張,管,管制圖,代,代表全,部,部機台,。,。,13,CCQ90,內容說,明,明,不定期,執,執行時,機,機主要,考,考量當物料,更,更換時當藥液,換,換槽時停機後,或,或其他,特,特殊狀,況,況,應,考,考量這,些,些變動,對,對製程,之,之衝擊,,,,並以,此,此管制,項,項目之,測,測試確,定,定製程,在,在管制,狀,狀態下,。,原則上,,,,若該,製,製程有,不,不同機,型,型之機,台,台,則,每,每一機,型,型至少,都,都要有,一,一張管,制,制圖,,不,不能以,一,一張管,制,制圖來,代,代表全,部,部機台,。,。所有,類,類似的NoisyFactor均需經4功能,(,(PE、PD、生產,單,單位90、PEE,),)考量並,決,決定管,制,制範圍,,,,並於,管,管制圖,履,履歷表,中,中提出,選,選定理,由,由,14,CCQ90,內容說,明,明,4.管,制,制圖之,制,制作,4-1,管,管制類,型,型,管制圖,依,依取樣,數,數量多,寡,寡及資,料,料類型,分,分為計,量,量值和,計,計數值,兩,兩類:,計量值,:,:,X-R(每組樣,本,本數10,個,個),X-S,(,(每組樣,本,本數10,個,個),X-Rm(每組,樣,樣本數,1,個,個),15,CCQ90,內容說,明,明,4-2,制,制程能,力,力分析,X=,(,(X,1+,X,2,+X,3,+Xn)/nR=,(,(R1+R2+R3Rn)/n,Cp=(USL,-,-LSL)/6S,(,(雙邊規,格,格時),Cp=(USL-製程平,均,均值),/,/3S或(製,程,程平均,值,值-LSL)/3s(單邊規,格,格時),Ca=(平均值,規,規格中,心,心),/,/(,(,(USL,-,-LSL)/2)(不要取,絕,絕對值,),),Cpk=Cp*(1-Ca),16,CCQ90,內容說,明,明,4-2,制,制程能,力,力分析,R=當次抽,樣,樣之最,大,大值,最,小,小值,(,若每次,抽,抽樣一,個,個時,,則,則取R=,|,|後一個,值,值-前,一,一個值,|,|),17,CCQ90,內容說,明,明,4-3,管,管制圖,之,之畫法,(1)管,制,制圖上,下,下管制,界,界限及,中,中心線,計,計算公,式,式,(2),數,數值表,18,CCQ90,內容說,明,明,(3),管,管制,圖,圖上下,管,管制界,限,限用紅色虛,線,線表示,,管,管制中,心,心線用藍色實,線,線表示。,(4),有,有點超,出,出界限,時,時需加以圈,註,註。並由現,場,場單位,填,填寫“,管,管制圖,異,異常(OOC,),)回覆單,”,”,說,明,明處置,方,方式。,(5),管,管制界,限,限之檢,討,討:當,每,每張管,制,制圖點,繪,繪滿30點時,(,(即30個抽,樣,樣值),,,,應重,新,新以此30點,計,計算管,制,制界限,,,,並以,此,此管制,界,界限作,為,為下一,張,張管制,圖,圖之管,制,制界限,。,。,(6)當製程參,數,數或原物料或操作方,法,法有變更,時,時,其,管,管制界,限,限皆需,重,重新計,算,算,(2),19,CCQ90,內容說,明,明,4-4,管,管制圖,之,之判圖,只要符,管,管制圖,判,判圖原,則,則1,2,5,,,,6就,判,判定制,程,程處于,不,不穩定,狀,狀態,1.有,點,點超出,管,管制界,限,限,2.連,續,續9點,在,在管制,中,中心線,的,的同一,邊,邊,5.連,續,續三點,中,中兩點,超,超過同,一,一邊2,個,個標準,偏,偏差以,上,上,6.連,續,續五點,中,中四點,超,超出同,一,一邊一,個,個標準,偏,偏差以,上,上,20,CCQ90,內容說,明,明,4-5,管,管制圖,異,異常處,理,理,利用管,制,制圖的,判,
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