太阳能单晶硅片的制备技术简介

太阳能单晶硅片制备技术太阳能单晶硅片制备技术简介简介马恩高马恩高20062006中科院物理所嘉兴工程中心目目 录录一、一、引言引言 二、原料及其准备二、原料及其准备三、单晶硅棒的生长三、单晶硅棒的生长四、硅棒的切片技术四、硅棒的切片技术五、物理所工程中心简况五、物理所工程中心简况 一、引一、引 言言 中科院嘉兴中心物理所分中心 太阳能级硅片太阳能级硅片太阳能级硅片太阳能级硅片太阳能电池结构 电池制备流程电池制备流程国内主要厂商 二.原料及其准备:多晶硅料多晶硅料坩坩 埚埚浓度单位 Si浓度浓度%杂质浓度杂质浓度(TMI)atoms/cm3电子级电子级99.99999999N99.999999999-11N1ppba1ppta5101351011太阳能级太阳能级99.9999-6N1ppma51016高纯金属硅高纯金属硅99.9-3N1000ppma51019金属硅金属硅98.5-9910000ppma51020注：单晶硅中原子数约为注：单晶硅中原子数约为5102atoms/cm3 ppma:原子数百万分比例原子数百万分比例,ppba;原子数十亿分比例原子数十亿分比例,硅中的杂质浓度 杂质杂质(ppm)金属硅金属硅高纯金属硅高纯金属硅太阳能级硅太阳能级硅B15-50301P10-50155O3000200010C100-25025010Fe200015010Al100-200502Ca100-6005002Ti20051Cr50151 废料回收技术 废电池废电池IC废料废料埚底料埚底料头尾料头尾料废料处理程序废料粗分废料粗分砍砂砍砂磨削磨削浸泡浸泡超声清洗超声清洗电阻分检电阻分检D.I水清洗水清洗烘干烘干酸洗酸洗NY废料处理设备吹砂机吹砂机磨削机磨削机腐蚀机腐蚀机清洗机清洗机 三、单晶硅棒的生长：籽晶籽晶晶颈晶颈晶肩晶肩晶身晶身晶尾晶尾CZ直拉法直拉法区溶法区溶法掺杂与电阻率的控制:CZ直拉法长晶技术生长炉结构:长晶过程:籽晶熔炼籽晶熔炼引晶引晶放肩放肩等径生长等径生长收尾收尾 长 晶 太阳能级硅棒性能指标:三、硅棒的切片技术：切头滚方 多线切割机 清洗 分检 供水系统 车间布局车间布局 应 用 四、物理所工程中心简介四、物理所工程中心简介 目前有常驻人员：25人实验室与工作场地:约3000M2 实验室一：动力电池重点实验室 研究方向：1.锂电新颖电极材料2.动力电池单体与模组3.超级电容器实验室建设实验室建设实验室建设实验室建设实验室二：新能源材料实验室 研究方向：1.太阳能晶硅材料2.太阳能晶硅电池 谢谢谢谢 各位各位！