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第6章 压电式传感器 第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料压电效应及压电材料 6.2 压电式传感器测量电路压电式传感器测量电路6.3 压电式传感器的应用压电式传感器的应用 第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料 1第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料压电效应及压电材料 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。这种现象称压电效应。当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转换为电能的现象，称为“正压电效应”。相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生几何变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机电能量的相互转换，如图6-1所示。6.1 压电效应及压电材料 某些电介质，当沿着2第6章 压电式传感器 图6-1压电效应可逆性图6-1 压电效应可逆性 3第6章 压电式传感器 在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。压电材料的主要特性参数有：压电常数:压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出灵敏度。弹性常数:压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效4第6章 压电式传感器 介电常数:对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。机械耦合系数：它的意义是，在压电效应中，转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根，这是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。电阻:压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。居里点温度:它是指压电材料开始丧失压电特性的温度。介电常数:对于一定形状、尺寸的压电元件5第6章 压电式传感器 表表6-1 常用压电材料性能参数常用压电材料性能参数 表6-1 常用压电材料性能参数 6第6章 压电式传感器 6.1.1 石英晶体石英晶体石英晶体化学式为SiO2，是单晶体结构。图6-2（a）表示了天然结构的石英晶体外形，它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。6.1.1 石英晶体7第6章 压电式传感器 图6-2石英晶体(a)晶体外形；(b)切割方向；(c)晶片图6-2 石英晶体8第6章 压电式传感器 若从晶体上沿y方向切下一块如图6-2（c）所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力Fx时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷，其大小为(6-1)式中,d11为x方向受力的压电系数。若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为(6-2)若从晶体上沿y方向切下一块如图6-2（c）所9第6章 压电式传感器 式中：d12y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性，有d12=-d11；a、b晶体切片的长度和厚度。电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定。石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。图6-3是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。图中“”代表硅离子Si4+，“”代表氧离子O2-。当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120夹角的电偶极矩P1、P2、P3。如图6-3（a）所示。式中：d12y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性10第6章 压电式传感器 图6-3石英晶体压电模型(a)不受力时；(b)x轴方向受力；(c)y轴方向受力图6-3 石英晶体压电模型11第6章 压电式传感器 因为P=ql,q为电荷量，l为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3=0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图6-3（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零。在x轴的正方向出现负电荷，电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。因为P=ql,q为电荷量，l为正负电荷之间12第6章 压电式传感器 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形如图6-3c）所示。与图6-3（b）情况相似，P1增大，P2、P3减小。在x轴上出现电荷，它的极性为x轴正向为正电荷。在y轴方向上仍不出现电荷。如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变。当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形13第6章 压电式传感器 6.1.2 压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质,如图6-4（a）所示。在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性,如图6-4（b）所示。6.1.2 压电陶瓷14第6章 压电式传感器 图6-4压电陶瓷的极化(a)未极化;(b)电极化图6-4 压电陶瓷的极化 15第6章 压电式传感器 极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转，从而引起剩余极化强度的变化，因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成如下的正比关系：(6-3)式中：d33压电陶瓷的压电系数；F作用力。极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，16第6章 压电式传感器 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化，从而使其压电特性减弱。最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡（BaTiO3）。它是由碳酸钡和二氧化钛按11摩尔分子比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石英的50倍，但居里点温度只有115，使用温度不超过70，温度稳定性和机械强度都不如石英。压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采17第6章 压电式传感器 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT）系列，它 是 钛 酸 铅（PbTiO2）和 锆 酸 铅（PbZrO3）组 成 的（Pb（ZrTi）O3）。居里点在300以上，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数（性能指标见表6-1）。铌镁酸铅是20世纪60年代发展起来的压电陶瓷。它由铌镁酸铅、锆酸铅（PbZrO3）和钛酸铅（PbTiO3）按不同比例配出不同性能的压电陶瓷。具有极高的压电系数和较高的工作温度，而且能承受较高的压力。目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT18第6章 压电式传感器 6.1.3 压电式传感器压电式传感器压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的压电效应这个特性，即当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷（或电压）输出。由于外力作用而在压电材料上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的，因此压电式传感器不能用于静态测量。压电材料在交变力的作用下，电荷可以不断补充，以供给测量回路一定的电流，故适用于动态测量。6.1.3 压电式传感器19第6章 压电式传感器 单片压电元件产生的电荷量甚微，为了提高压电传感器的输出灵敏度，在实际应用中常采用两片（或两片以上）同型号的压电元件粘结在一起。由于压电材料的电荷是有极性的，因此接法也有两种。如图6-5所示，从作用力看，元件是串接的，因而每片受到的作用力相同，产生的变形和电荷数量大小都与单片时相同。图6-5（a）是两个压电片的负端粘结在一起，中间插入的金属电极成为压电片的负极，正电极在两边的电极上。从电路上看，这是并联接法，类似两个电容的并联。所以，外力作用下正负电极上的电荷量增加了1倍，电容量也增加了1倍，输出电压与单片时相同。图6-5（b）是两压电片不同极性端粘结在一起，从电路上看是串联的，两压电片中间粘接处正负电荷中和，上、下极板的电荷量与单片时相同，总电容量为单片的一半，输出电压增大了1倍。单片压电元件产生的电荷量甚微，为了提高压电传感20第6章 压电式传感器 图6-5压电元件连接方式(a)相同极性端粘结；(b)不同极性端粘结图6-5 压电元件连接方式21第6章 压电式传感器 在上述两种接法中，并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。而串联接法输出电压大，本身电容小，适宜用于以电压作输出信号，并且测量电路输入阻抗很高的场合。压电式传感器中的压电元件，按其受力和变形方式不同，大致有厚度变形、长度变形、体积变形和厚度剪切变形等几种形式，如图6-6所示。目前最常使用的是厚度变形的压缩式和剪切变形的剪切式两种。在上述两种接法中，并联接法输出电荷大，本身电22第6章 压电式传感器 图6-6压电元件变形方式厚度变形(TE);(b)长度变形(LE)；(c)体积变形(VE)；(a)面切变形(FS)；(e)剪切变形(TS)图6-6 压电元件变形方式23第6章 压电式传感器 压电式传感器在测量低压力时线性度不好，这主要是传感器受力系统中力传递系数为非线性所致，即低压力下力的传递损失较大。为此，在力传递系统中加入预加力，称预载。这除了消除低压力使用中的非线性外，还可以消除传感器内外接触表面的间隙，提高刚度。特别是，它只有在加预载后才能用压电传感器测量拉力和拉、压交变力及剪力和扭矩。压电式传感器在测量低压力时线性度不好，这主要24第6章 压电式传感器 6.2 压电式传感器测量电路压电式传感器测量电路 6.2.1 压电式传感器的等效电路压电式传感器的等效电路由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时，它也是一个电容器，晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质，则其电容量为(6-4)6.2 压电式传感器测量电路 6.2.1 压电式传感器的25第6章 压电式传感器 式中：A压电片的面积；d压电片的厚度；r压电材料的相对介电常数。因此，压电传感器可以等效为一个与电容相串联的电压源。如图6-7（a）所示，电容器上的电压Ua、电荷量q和电容量Ca三者关系为压电传感器也可以等效为一个电荷源。如图6-7（b）所示。式中：A压电片的面积；压电传感器也可以等效为一个电26第6章 压电式传感器 图6-7压电元件的等效电路（a）电压源;（b）电荷源图6-7 压电元件的等效电路27第6章 压电式传感器 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻Ri,输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra。这样，压电传感器在测量系统中的实际等效电路，如图6-8所示。压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量28第6章 压电式传感器 图图6-8 压电传感器的实际等效电路压电传感器的实际等效电路（a）电压源电压源;（b）电荷源电荷源 图6-8 压电传感器的实际等效电路 29第6章 压电式传感器 6.2.2 压电式传感器的测量电路压电式传感器的测量电路压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗前置放大器。其作用为：一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗；二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷信号，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和电荷放大器。6.2.2 压电式传感器的测量电路30第6章 压电式传感器 1.电压放大器（阻抗变换器）电压放大器（阻抗变换器）图6-9（a）、(b）是电压放大器电路原理图及其等效电路。在图6-9（b）中，电阻R=RaRi/(Ra+Ri)，电容C=Cc+Ci，而ua=q/Ca，若压电元件受正弦力f=Fmsint的作用，则其电压为（6-6）式中：Um压电元件输出电压幅值，Um=dFm/Ca；d压电系数。1.电压放大器（阻抗变换器）在图631第6章 压电式传感器 图6-9电压放大器电路原理及其等效电路图（a）放大器电路;（b）等效电路图 6-9 电压放大器电路原理及其等效电路图32第6章 压电式传感器 由此可得放大器输入端电压Ui，其复数形式为.(6-7)Ui的幅值Uim为.(6-8)输入电压和作用力之间相位差为(6-9)由此可得放大器输入端电压Ui，其复数形式为.(6-7)U33第6章 压电式传感器 在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即(Ca+Cc+Ci)R1，那么由式（6-8）可知，理想情况下输入电压幅值Uim为(6-10)式（6-10）表明前置放大器输入电压Uim与频率无关，一般在/03时，就可以认为Uim与无关，0表示测量电路时间常数之倒数，即 在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输34第6章 压电式传感器 这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（=0）时，前置放大器的输出电压等于零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以压电传感器不能用于静态力的测量。当(Ca+Cc+Ci)R1时，放大器输入电压Uim如式（6-10）所示，式中Cc为连接电缆电容，当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Uim也随之变化。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换，否则将引入测量误差。这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作35第6章 压电式传感器 2.电荷放大器电荷放大器电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。由于运算放大器输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，故可略去Ra和Ri并联电阻。（6-11）式中：uo放大器输出电压；ucf反馈电容两端电压。2.电荷放大器（6-11）式中：36第6章 压电式传感器 图6-10电荷放大器等效电路图6-10 电荷放大器等效电路37第6章 压电式传感器 由运算放大器基本特性，可求出电荷放大器的输出电压（6-12）通常A=104108，因此,当满足(1+A)CfCa+Cc+Ci时，式（6-12）可表示为（6-13）由运算放大器基本特性，可求出电荷放大器的输出电压（6-38第6章 压电式传感器 由式（6-13）可见，电荷放大器的输出电压uo只取决于输入电荷与反馈电容Cf，与电缆电容Cc无关，且与q成正比，这是电荷放大器的最大特点。为了得到必要的测量精度，要求反馈电容Cf的温度和时间稳定性都很好，在实际电路中，考虑到不同的量程等因素，Cf的容量做成可选择的，范围一般为100104pF。由式（6-13）可见，电荷放大器的输出电压39第6章 压电式传感器 6.3 压电式传感器的应用压电式传感器的应用 6.3.1 压电式测力传感器压电式测力传感器图6-11是压电式单向测力传感器的结构图，主要由石英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。图6-11压力式单向测力传感器结构图6.3 压电式传感器的应用 6.3.1 压电式测力传感器40第6章 压电式传感器 传感器上盖为传力元件，它的外缘壁厚为0.10.5mm，当外力作用时，它将产生弹性变形，将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy切型，利用其纵向压电效应，通过d11实现力电转换。石英晶片的尺寸为81mm。该传感器的测力范围为050N，最小分辨率为0.01N，固有频率为5060kHz，整个传感器重为10g。传感器上盖为传力元件，它的外缘壁厚为0.141第6章 压电式传感器 6.3.2 压电式加速度传感器压电式加速度传感器图6-12是一种压电式加速度传感器的结构图。它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。整个部件装在外壳内，并由螺栓加以固定。图6-12压电式加速度传感器结构图6.3.2 压电式加速度传感器图6-12 压电式加速度42第6章 压电式传感器 当加速度传感器和被测物一起受到冲击振动时，压电元件受质量块惯性力的作用，根据牛顿第二定律，此惯性力是加速度的函数，即F=ma（6-14）式中：F质量块产生的惯性力；m质量块的质量；a加速度。此时惯性力F作用于压电元件上，因而产生电荷q，当传感器选定后，m为常数，则传感器输出电荷为q=d11F=d11ma 与加速度a成正比。因此，测得加速度传感器输出的电荷便可知加速度的大小。当加速度传感器和被测物一起受到冲击振动时，压43第6章 压电式传感器 6.3.3 压电式金属加工切削力测量压电式金属加工切削力测量图6-13是利用压电陶瓷传感器测量刀具切削力的示意图。由于压电陶瓷元件的自振频率高，特别适合测量变化剧烈的载荷。图中压电传感器位于车刀前部的下方，当进行切削加工时，切削力通过刀具传给压电传感器，压电传感器将切削力转换为电信号输出，记录下电信号的变化便可测得切削力的变化。6.3.3 压电式金属加工切削力测量44第6章 压电式传感器 图6-13压电式刀具切削力测量示意图图6-13 压电式刀具切削力测量示意图 45第6章 压电式传感器 6.3.4 压电式玻璃破碎报警器压电式玻璃破碎报警器BS-D2压电式传感器是专门用于检测玻璃破碎的一种传感器，它利用压电元件对振动敏感的特性来感知玻璃受撞击和破碎时产生的振动波。传感器把振动波转换成电压输出，输出电压经放大、滤波、比较等处理后提供给报警系统。BS-D2压电式玻璃破碎传感器的外形及内部电路如图6-14所示。传感器的最小输出电压为100mV，最大输出电压为100V，内阻抗为1520k。6.3.4 压电式玻璃破碎报警器46第6章 压电式传感器 图6-14BS-D2压电式玻璃破碎传感器（a）外形;（b）内部电路图6-14 BS-D2压电式玻璃破碎传感器47第6章 压电式传感器 报警器的电路框图如图6-15所示。使用时传感器用胶粘贴在玻璃上，然后通过电缆和报警电路相连。为了提高报警器的灵敏度，信号经放大后，需经带通滤波器进行滤波，要求它对选定的频谱通带的衰减要小，而频带外衰减要尽量大。由于玻璃振动的波长在音频和超声波的范围内，这就使滤波器成为电路中的关键。只有当传感器输出信号高于设定的阈值时，才会输出报警信号，驱动报警执行机构工作。玻璃破碎报警器可广泛用于文物保管、贵重商品保管及其它商品柜台保管等场合。报警器的电路框图如图6-15所示。使用时传感48第6章 压电式传感器 图6-15压电式玻璃破碎报警器电路框图图6-15 压电式玻璃破碎报警器电路框图 49
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