蒸镀机的运用流程-1

亚纳科技（深圳）有限公司蒸镀机的运用与流程evaporation的运做可分为10大类一.蒸镀原理二.运用产业三.真空定义 五.机械的运用六.電腦操作四.結構系统十.注意事项九.机台保养 八.异常与处理七.運作流程一.真空蒸镀原理 蒸镀蒸镀 是指将蒸镀源是指将蒸镀源（镀层镀层的材料的材料來源來源）加加热热蒸蒸发发直接凝直接凝结于结于工件表面而形成工件表面而形成镀层镀层。1)1)应应用用 n n金属金属與元與元素素半半导体导体的的镀镀膜膜 n n合金的蒸合金的蒸镀镀n n砷化砷化镓镓，娣娣化銦等化合物的化銦等化合物的蒸蒸镀镀 2)2)蒸蒸发发 n n金属金属蒸蒸发发或氣化的方法很多或氣化的方法很多，包括利用包括利用热电热电阻阻，輻射輻射，感感应应，电电子束子束，电电弧等方式加弧等方式加热热。蒸蒸镀时镀时，基材則基材則属于属于基基能能。蒸镀试图如下：蒸镀试图如下：二.蒸镀所运用产业光学眼镜车载导行电脑手机三.真空定义一个容器内空间的压力小于大气压就是真空一个容器内空间的压力小于大气压就是真空,也可以说若容器内气体也可以说若容器内气体分子密度小于分子密度小于2.5*10Torr/CM3(2.5*10Torr/CM3(一大气压分子的密度一大气压分子的密度)侧该容器内为真侧该容器内为真空空,简单的表示为简单的表示为:压力压力大气压力大气压力;真空度代表真空系统中压力的程度真空度代表真空系统中压力的程度,一般分为一般分为:粗略真空粗略真空:760-1Torr:760-1Torr 超高真空超高真空:107-1010:107-1010 极高真空极高真空:1010:1010 TorrTorr以以上上 高真空高真空 :103-107:103-107 TorrTorr 中度真空中度真空:1-103:1-103 TorrTorr自然真空人造真空四.結構系统1.1.电源供应系统：电源供应系统：开机前确认电源是否正开机前确认电源是否正常开启（常开启（330V330V），系），系统务必适当接地（统务必适当接地（1010欧姆）欧姆）4.4.镀源系统：镀源系统：系统封合真空前，确认电系统封合真空前，确认电源是否接妥，冷却水的水源是否接妥，冷却水的水压是否正常（压是否正常（3Kg/CM23Kg/CM2）水温是否正常。水温是否正常。2.2.制冷（水）系统：制冷（水）系统：系统需要制冷机，帮浦使系统需要制冷机，帮浦使冰水循环，水温需要在冰水循环，水温需要在（18201820）水压要在）水压要在（3KG/CM23KG/CM2以上）冰水使以上）冰水使用在扩散帮浦及真空腔壁，用在扩散帮浦及真空腔壁，电子枪之冷却；电子枪之冷却；5.5.抽气系统：抽气系统：检查（检查（DPDP）温度是否达到）温度是否达到220 220，RPRP动作动作FVFV动作动作DPDP动动作作3.3.空压系统：空压系统：空压压力需在（空压压力需在（4KG/CM24KG/CM2以上）以上）6.6.供气系统：供气系统：系统制程使用超高纯系统制程使用超高纯度氩气度氩气 氧气；氧气；纯度：（纯度：（99.999%99.999%）；）；五.机械的运用与原理1.RP(1.RP(回转帮浦）原理：回转帮浦）原理：油封式真空帮浦是以油体当做油封式真空帮浦是以油体当做活塞，叶轮转动时，油体被抛向外活塞，叶轮转动时，油体被抛向外围形成移动的油封环，油封环内部围形成移动的油封环，油封环内部中空，因为叶轮相对於机体是偏心中空，因为叶轮相对於机体是偏心运转，因此叶轮转动时，在吸入口运转，因此叶轮转动时，在吸入口位置逐渐离开油封环，两叶片间空位置逐渐离开油封环，两叶片间空间逐渐增大而吸入气体，当页轮转间逐渐增大而吸入气体，当页轮转到排气口位置时，再度进入油封环，到排气口位置时，再度进入油封环，两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体并由排气口排出，如此周而复始。并由排气口排出，如此周而复始。注注注注（RPRP与与BPBP组合运用，可将抽组合运用，可将抽气范围延伸至中真空）气范围延伸至中真空）压力范围：压力范围：760-103 Torr760-103 Torr 抽气速度：抽气速度：50-3000/M50-3000/M组合运用机械的运用与原理2.BP2.BP（鲁氏帮浦）原理：（鲁氏帮浦）原理：油封式真空帮浦是以油体当做油封式真空帮浦是以油体当做活塞，叶轮转动时，油体被抛向外活塞，叶轮转动时，油体被抛向外围形成移动的油封环，油封环内部围形成移动的油封环，油封环内部中空，因为叶轮相对於机体是偏心中空，因为叶轮相对於机体是偏心运转，因此叶轮转动时，在吸入口运转，因此叶轮转动时，在吸入口位置逐渐离开油封环，两叶片间空位置逐渐离开油封环，两叶片间空间逐渐增大而吸入气体，当页轮转间逐渐增大而吸入气体，当页轮转到排气口位置时，再度进入油封环，到排气口位置时，再度进入油封环，两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体并由排气口排出，如此周而复始。并由排气口排出，如此周而复始。压力范围：压力范围：5010450104 TorrTorr 抽气速度：抽气速度：200100.000K1/H200100.000K1/H机械的运用与原理3.DP3.DP(扩散帮浦扩散帮浦)原理原理:当扩散帮浦油锅中的真空油当扩散帮浦油锅中的真空油被加热到沸腾温度时被加热到沸腾温度时,便产生大便产生大量的油蒸气量的油蒸气,油蒸气经导管由喷油蒸气经导管由喷嘴高速喷出嘴高速喷出,被抽分子一旦落入被抽分子一旦落入射流范围射流范围,便可以从射流中获得便可以从射流中获得向出口方向运动的动量向出口方向运动的动量,射流在射流在在往下运动过程中在往下运动过程中,有冷却水冷有冷却水冷却却,油分子就被冷凝下来油分子就被冷凝下来,沿泵沿泵壁流回泵的底部壁流回泵的底部,继续循环使用继续循环使用;压力范围压力范围:103:103-1010 1010 TorrTorr 抽气速度抽气速度:10/sec-100.000/sec:10/sec-100.000/sec七.电脑操作（抽气画面）电脑操作（流程画面）1.1.粗抽灯亮，表示粗抽流程已完成粗抽灯亮，表示粗抽流程已完成,且主画面且主画面“细抽灯亮细抽灯亮 起起,表示细抽流程正在运行，表示细抽流程正在运行，PolycoldPolycold冷却自动启动冷却自动启动2.2.当桶身真空度达到电子枪真空度时，电子枪面板当桶身真空度达到电子枪真空度时，电子枪面板“VACVAC灯灯3.3.电子枪高压被启动电子枪高压被启动,开始蒸镀开始蒸镀4.4.当蒸镀完成后当蒸镀完成后,根据电脑之设定参数根据电脑之设定参数,进行泄气流程进行泄气流程5.5.泄气灯亮起泄气灯亮起,ROTA OFFROTA OFF6.HV OFF6.HV OFF系统画面系统画面“HV”HV”灯熄灯熄,待阀门关闭定位后待阀门关闭定位后,坩面坩面 面面polycoldpolycold除霜自动开启除霜自动开启7.7.除霜完成后除霜完成后,执行桶身泄气动作执行桶身泄气动作运转准备完成粗抽细抽蒸镀准备完成蒸镀泄气开机电脑操作（泄气画面）六.evaporation运做流程一、一、1.1.开启总电源开关开启总电源开关 2.2.开启电子枪电源；开启电子枪电源；确认：确认：开启冰水时，确认水压开启冰水时，确认水压 表压力在表压力在4KG4KG以上以上确认水和气体是否到位亮确认水和气体是否到位亮 灯灯,温度须在温度须在1818-25-25 二、二、1 1.开启冰水开关开启冰水开关 2.2.先开回水先开回水,在开进水在开进水 3 3.开总进水阀开总进水阀注意：注意：开启电源时，注意安全开启电源时，注意安全!小心触电！小心触电！三、三、1.1.开启冰水机帮浦电源开启冰水机帮浦电源 2.2.开启冷冻机运转电源开启冷冻机运转电源evaporation运做流程四、四、1.1.开启机台电源键开启机台电源键 2.2.选择接口主机启动键选择接口主机启动键 注意事项：注意事项：1.1.开机前开机前,确认所以电源确认所以电源 是否接好是否接好,开启开启 2.2.检查（检查（DPDP）进水回）进水回 水压力是否正常水压力是否正常 （4 4-6 6k kGG)回水阀有无开回水阀有无开 3.3.开启（开启（DPDP)需要预热需要预热 3030分钟，温度需要分钟，温度需要 达到达到210210,才可以进才可以进 行抽气行抽气 4.4.检查检查PD RP PD RP 油位是否油位是否 正常，有无变质正常，有无变质五、五、1.1.开启制冷机电源开启制冷机电源 PS:PS:温度须在温度须在-120-120以以上上 六、六、1.DP1.DP（扩散帮浦）温度须在（扩散帮浦）温度须在 210210 2.POLYCOLD2.POLYCOLD溫度须在溫度须在120120 3.3.暖机暖机100100需要需要6060分钟分钟 八.异常与处理异常问题点异常问题点 异常原因异常原因 解决方案解决方案 预热流程中，预热流程中，FVFV无法开启无法开启 1.1.检查检查FVFV之之PLCPLC输出灯是否起输出灯是否起2.RSV2.RSV。RVRV阀门未关闭定位阀门未关闭定位3.FV3.FV之电磁阀未动作之电磁阀未动作1.PLCModule NP1X3206A1.PLCModule NP1X3206A,是否灯是否灯.2.2.检查检查RSV/RVRSV/RV阀门磁簧开关指示灯阀门磁簧开关指示灯 是否亮起是否亮起,若无若无,表示磁簧开关已移表示磁簧开关已移 位位,调整位置调整位置,让磁簧开关亮灯让磁簧开关亮灯.3.3.检查检查FVFV电磁阀线圈是否有电磁阀线圈是否有DC24V DC24V 入力入力.DPDP无法加热无法加热 1.1.水压力开关未动作水压力开关未动作2.2.却水压力开关信号未输却水压力开关信号未输PLCPLC3.3.电磁阀接触器未动作电磁阀接触器未动作4.DP4.DP加热盘内部加热线短路加热盘内部加热线短路 1.1.检查冷却水压力开关接头是否检查冷却水压力开关接头是否 道通道通2.2.查看查看PLC ModulePLC Module是否亮灯是否亮灯3.3.检查检查DPDP阀线圈是否有阀线圈是否有AC24V AC24V 入力入力4.4.拆除连接至加热盘电源线拆除连接至加热盘电源线,进进 行测量行测量 电子枪无法产生动作电子枪无法产生动作 1.1.冷却水压力不够冷却水压力不够2.2.电子枪冷却水流量电子枪冷却水流量運運作异常作异常3.PLC3.PLC接点异常接点异常1.1.检查冷却水压力是否在检查冷却水压力是否在4Kg4Kg以以 上上2.2.检查电子枪冷却水流量开关是检查电子枪冷却水流量开关是 否有动作否有动作3.3.检查检查PLCPLC灯灯,若无亮灯若无亮灯,表示表示 此接点输出已损坏此接点输出已损坏,需更新需更新九.保养事项（日）（日）保养项目保养项目 （周）周）保养项目保养项目 （年）（年）保养项目保养项目 桶身清洁桶身清洁 桶身护板保养桶身护板保养 整机保养及线路检查整机保养及线路检查1.1.每日下班前，需要把每日下班前，需要把 桶身的铝铂纸进行更桶身的铝铂纸进行更 换换2.2.把所以的护板用无尘把所以的护板用无尘 布沾布沾IPAIPA擦拭擦拭3.3.更换离子枪钨丝，检更换离子枪钨丝，检 查发射板，有无凹查发射板，有无凹陷陷 如凹如凹陷陷去去0.5mm0.5mm,需要需要 进行更换进行更换4.4.电子枪护板清洁电子枪护板清洁1.1.桶身所以护板拆下桶身所以护板拆下,进进 行喷沙行喷沙,喷沙后需要用喷沙后需要用 水冲洗水冲洗,凉干凉干2.2.桶身所以地方都要进桶身所以地方都要进 行打磨（砂纸行打磨（砂纸2000M2000M）打磨完使用无尘布沾打磨完使用无尘布沾 IPAIPA擦拭，擦拭，IPAIPA擦拭后擦拭后 在用干在用干布布擦拭一擦拭一次次3.3.离子枪清洁离子枪清洁4.4.电子枪清洁电子枪清洁1.1.更换所以机械帮浦之更换所以机械帮浦之 真空油真空油2.2.清洁冷冻机清洁冷冻机,机箱机箱,水管水管3.3.个个部件个个部件“O”O”型圈检查型圈检查 更新更新4.4.所以线路检查所以线路检查,清洁清洁,保养保养5.5.所以电磁阀检查所以电磁阀检查,更更换换6.6.气管清洁气管清洁,更换更换十.注意事项 注意事项：注意事项：1.1.开机前，确认所以电源是否接好开机前，确认所以电源是否接好,开启开启 2.2.检查（检查（DPDP）进水，回水压力是否正常（）进水，回水压力是否正常（4 4-6KG)6KG)回水阀有无全开回水阀有无全开 3.3.开启（开启（DPDP）时需要预热）时需要预热3030分钟分钟,温度需要达到温度需要达到210210,才可以进行抽气才可以进行抽气 4.4.检查检查PD RP PD RP 油位是否正常油位是否正常,有无变质有无变质 5.5.早晚班交接班時須小清機，全面更換艙內的鋁箔紙早晚班交接班時須小清機，全面更換艙內的鋁箔紙,清潔電子鎗坩鍋清潔電子鎗坩鍋 6.6.電鍍每周需大清機一次電鍍每周需大清機一次(噴砂噴砂高壓水槍沖洗高壓水槍沖洗乾燥乾燥酒精擦拭酒精擦拭)结 论 蒸镀优点：蒸镀优点：1.1.能在金属能在金属、半导体半导体、绝缘体表绝缘体表、金属金属、半导体半导体、绝缘体绝缘体、不同成分不同成分 比的合金，化合物及氮化物等薄膜，其适用范围之广是其它方法无法比的合金，化合物及氮化物等薄膜，其适用范围之广是其它方法无法 与之比似的与之比似的 2.2.可以设定不同的沉积速率可以设定不同的沉积速率,不同的基板温度和不同的蒸气分子蒸镀成不同的基板温度和不同的蒸气分子蒸镀成 膜膜,因而可得到不同的显微结构和结晶形态（单晶，多晶或非晶等）因而可得到不同的显微结构和结晶形态（单晶，多晶或非晶等）的薄膜的薄膜 3.3.薄膜的纯度很高薄膜的纯度很高,易与在线检测和控制膜厚与成分易与在线检测和控制膜厚与成分,膜厚控制精度膜厚控制精度 最高可达分子层级最高可达分子层级 4.4.排出污染物很少排出污染物很少,且基本上没有且基本上没有 谢谢观赏！杨 敏 2009/12/23