磁控溅射技术和透明导电薄膜课件

磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n薄膜的种类及应用n磁控溅射技术原理及应用n透明导电薄膜性能及应用磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n薄膜：在固体表面上镀上一层于基体材料不同的薄层材料。n厚度通常在几微米以下。磁控溅射技术和透明导电薄膜课件薄膜的种类及应用n电子工业：电极、电阻膜、电介质膜、绝缘膜、透明导电膜、超导膜等。n光学工业：荧光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。n机械工业：硬化膜、耐热膜、耐腐蚀膜等。n能源工业：聚热膜、防反射膜、透射膜等。n传感器：热敏、气敏、压敏、氧气传感器、红外线传感器等。n其它：装饰膜等。磁控溅射技术和透明导电薄膜课件电学薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜课件光学薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜课件机械薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜课件装饰薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜课件薄膜的制备手段n气相法：化学气相沉积（CVD）物理气相沉积（PVD）热蒸发 溅射 离子镀 分子束外延n液相法：化学镀、电镀、浸渍镀等。n其他方法：喷涂、涂敷等。磁控溅射技术和透明导电薄膜课件溅射原理磁控溅射技术和透明导电薄膜课件溅射示意图磁控溅射技术和透明导电薄膜课件成膜示意图磁控溅射技术和透明导电薄膜课件薄膜的生长磁控溅射技术和透明导电薄膜课件电子在正交电磁场中的运动磁控溅射技术和透明导电薄膜课件磁控溅射靶材结构图磁控溅射技术和透明导电薄膜课件磁控溅射仪器结构图磁控溅射技术和透明导电薄膜课件磁控溅射仪器外观磁控溅射技术和透明导电薄膜课件 大型多弧离子/磁控溅射镀膜机。可在较大体积的工件表面镀制厚度均匀的金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、导电透明等多种功能薄膜。磁控溅射技术和透明导电薄膜课件磁控溅射技术的优点n薄膜与基底的结合力强。n镀膜均匀，可镀大面积薄膜。n镀膜种类丰富：各种金属(合金)薄膜 各种金属氧化物、碳化物、氮化物、硼 化物等薄膜 其它(如类金刚石薄膜等)基底种类丰富：金属、玻璃、陶瓷、有机玻璃(薄膜)等磁控溅射技术和透明导电薄膜课件透明导电薄膜n厚度：几十几百纳米n透明性：与玻璃接近n导电性：与金属接近磁控溅射技术和透明导电薄膜课件透明导电薄膜种类n氧化铟锡（ITO）n掺铝氧化锌（ZAO）n多层结构：ITO/Ag/ITO、TiO2/Ag/TiO2、ITO/ZnO、SiO2/ITO磁控溅射技术和透明导电薄膜课件ITO薄膜电学性能n电阻率710-510-4cm与金属铅导电能力接近。磁控溅射技术和透明导电薄膜课件ITO薄膜光学性能磁控溅射技术和透明导电薄膜课件其他性能n反射红外线（热镜）n反射电磁波（80%）n吸收紫外线磁控溅射技术和透明导电薄膜课件透明导电薄膜的应用n液晶显示器（LCD）磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n触摸屏磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n太阳能电池磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n除霜防雾磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n保温、隔热磁控溅射技术和透明导电薄膜课件磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n电磁屏蔽磁控溅射技术和透明导电薄膜课件n军事领域：雷达隐身磁控溅射技术和透明导电薄膜课件透明导电薄膜发展前景n材料的选择：开发新材料n应用：拓展新领域磁控溅射技术和透明导电薄膜课件 谢谢！谢谢！磁控溅射技术和透明导电薄膜课件