机电一体化绪论

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机电一体化信息科学机械学电子学 SKXT-1200铣镗钻机床传动系统图 m=3 z=46m=3 z=23m=3 z=58p=12p=12 m=3 z=55d=37 变频调速电机 d=71 m=3 z=23 8 8m=3 z=25 m=3 z=48交流伺服电机交流伺服电机 8m=3 z=25 m=3 z=48 8交流伺服电机回转工作台m=3 z=46 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微机电系统的缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

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